【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示，特别是涉及一种阵列基板、显示装置和阵列基板的制作方法
技术介绍
1、目前，显示面板广泛地应用于不同的显示装置中，例如液晶显示面板(lcd)以及oled显示面板均广泛地应用于不同手机、平板电脑或者其他显示装置中，一般显示面板中均包含有晶体管作为驱动像素元件的驱动元件。但是在实际应用中，作为驱动元件的薄膜晶体管(tft)往往无法按照预设状态为像素元件提供数据信号，从而造成像素元件无法准确显示图像数据，导致显示装置的显示效果不佳。
技术实现思路
1、鉴于前述技术问题，本申请提供一种显示效果较佳的阵列基板、显示装置和阵列基板的制作方法。
2、本申请实施例公开一种阵列基板，包括多个执行图像显示的像素单元，每个像素单元至少包括一个晶体管，所述晶体管包括自基板表面依次层叠设置的辅助金属层、栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中，所述源极和漏极之间的所述有源层形成所述晶体管的导电沟道，所述栅极与所述基板之间包括栅极垫，并且所述源极、所述漏极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影与所述栅极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影无重叠。
3、可选地，所述栅极垫的材料为绝缘材料且整体呈倒梯形结构。
4、可选地，所述栅极垫包括第一平行边、第二平行边，第一斜边和第二斜边，其中，所述第一平行边位于所述基板表面，所述第二平行边平行于所述第一平行边且相对所述第一平行边远离所述基板表面，且所述第一平行边的长度小于所述第二平行边的长度，所述第一斜边和所述第二斜边
5、可选地，所述晶体管包括两个所述辅助金属层，设置于所述基板表面且分别邻近所述第一斜边和所述第二斜边；所述栅极和所述栅极垫沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影重叠；所述栅极和所述辅助金属层沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影不重叠且间隔预设距离，且所述栅极和所述辅助金属层电性断开。
6、可选地，所述栅极垫的材料为负型光阻材料。
7、本申请实施例还公开了一种显示装置，所述显示装置包括前述的阵列基板。
8、本申请实施例还公开了一种阵列基板的制作方法，包括：提供基板，在所述基板表面上形成栅极垫；在所述基板和所述栅极垫表面分别形成辅助金属层和栅极，以及在所述辅助金属层和所述栅极表面形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上形成有源层；在所述有源层表面形成源极和漏极，所述源极和漏极之间的所述有源层形成晶体管的导电沟道；其中，所述源极与所述漏极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影与所述栅极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影无重叠。
9、可选地，在所述基板表面上形成栅极垫包括：在所述基板表面形成负型光阻材料层，对所述负型光阻材料层进行图案化以形成整体呈倒梯形结构的栅极垫。
10、可选地，对所述负型光阻材料层进行图案化以形成整体呈倒梯形结构的栅极垫包括：所述栅极垫包括第一平行边、第二平行边，第一斜边和第二斜边，其中，所述第一平行边位于所述基板表面，所述第二平行边平行于所述第一平行边且相对所述第一平行边远离所述基板表面，且所述第一平行边的长度小于所述第二平行边的长度，所述第一斜边和所述第二斜边相对设置并分别连接于所述第一平行边和所述第二平行边。
11、可选地，在所述基板和所述栅极垫表面分别形成辅助金属层和栅极包括：在所述基板和所述栅极垫上形成第一金属层，图案化所述第一金属层形成栅极和辅助金属层，所述辅助金属层分别设置于所述基板表面且分别邻近所述第一斜边和第二斜边；所述栅极和所述栅极垫沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影重叠；所述栅极和所述辅助金属层沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影不重叠且间隔预设距离，且所述栅极和所述辅助金属层电性断开。
12、相较于现有技术，本申请实施例中，通过在基板和栅极之间设置栅极垫，使得源极、漏极与栅极之间在阵列基板厚度方向上相互隔离开并不存在重叠，防止源极、漏极与栅极之间形成寄生电容，进而降低晶体管的漏电流，有效提高了晶体管的可靠性和提供至像素电极的数据信号的准确性，以及进一步降低阵列基板和显示装置的功耗并提升显示装置的画面质量。
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1.一种阵列基板，包括多个执行图像显示的像素单元，每个像素单元至少包括一个晶体管，所述晶体管包括自基板表面依次层叠设置的辅助金属层、栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中，所述源极和漏极之间的所述有源层形成所述晶体管的导电沟道，其特征在于，所述栅极与所述基板之间包括栅极垫，并且所述源极、所述漏极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影与所述栅极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影无重叠。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极垫的材料为绝缘材料且整体呈倒梯形结构。
3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极垫包括第一平行边、第二平行边，第一斜边和第二斜边，其中，所述第一平行边位于所述基板表面，所述第二平行边平行于所述第一平行边且相对所述第一平行边远离所述基板表面，且所述第一平行边的长度小于所述第二平行边的长度，所述第一斜边和所述第二斜边相对设置并分别连接于所述第一平行边和所述第二平行边。
4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述晶体管包括两个所述辅助金属层，设置于所述基板表面且分别邻近所述第一斜边和所述
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极垫的材料为负型光阻材料。
6.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-5中任意一项所述的阵列基板。
7.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，对所述负型光阻材料层进行图案化以形成整体呈倒梯形结构的栅极垫包括：
10.根据权利要求7-9中任意一项所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，包括多个执行图像显示的像素单元，每个像素单元至少包括一个晶体管，所述晶体管包括自基板表面依次层叠设置的辅助金属层、栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中，所述源极和漏极之间的所述有源层形成所述晶体管的导电沟道，其特征在于，所述栅极与所述基板之间包括栅极垫，并且所述源极、所述漏极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影与所述栅极沿垂直于所述基板方向在所述基板上的投影无重叠。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极垫的材料为绝缘材料且整体呈倒梯形结构。
3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极垫包括第一平行边、第二平行边，第一斜边和第二斜边，其中，所述第一平行边位于所述基板表面，所述第二平行边平行于所述第一平行边且相对所述第一平行边远离所述基板表面，且所述第一平行边的长度小于所述第二平行边的长度，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘振，张合静，张捷，范俊龙，许哲豪，谢俊烽，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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