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本申请公开了一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法，涉及太阳能电池加工技术领域。扩散炉包括炉管本体、石英舟和至少一进气管组；石英舟设置于所述炉管本体内，所述石英舟配置有沿第一方向延伸的放置位；至少一进气管组包括位于所述炉管本体内的进气口段，所述进...
该专利属于甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司授权不得商用。

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