一种热场结构及单晶炉制造技术

本申请提供了一种热场结构及单晶炉，涉及晶体制备设备技术领域。热场结构包括底座、第一隔离件、保温筒、第一加热器及坩埚；第一隔离件设于底座上；保温筒设于第一隔离件远离底座的一端；第一加热器设于保温筒内；第一加热器远离底座的一端具有加热部；坩埚设于第一加热器内，并与加热部相对应。该单晶炉包括热场结构。本申请的热场结构能够减少因第一加热器与保温筒距离过近，或第一加热器与保温筒之间发生卡料而引起的打火。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶体制备设备，尤其涉及一种热场结构及单晶炉。

技术介绍

1、热场是单晶炉的核心部件。目前，由于单晶炉采用连续复投料拉晶工艺制备晶体，在生产过程中需要进行多次复投料；而在投料过程中，物料可能会飞溅至坩埚外，并卡在保温筒与加热器之间，从而导致加热器与保温筒打火；另一方面，当加热器与保温筒之间距离过近时，也会导致加热器与保温筒打火。加热器与保温筒打火，不仅会影响熔料的效率，还容易导致焖炉或漏硅等生产事故。

技术实现思路

1、为克服现有技术中的不足，本申请提供一种热场结构及单晶炉。

2、本申请提供如下技术方案：

3、第一方面，本申请提供了一种热场结构，包括：

4、底座；

5、第一隔离件，设于所述底座上；

6、保温筒，设于所述第一隔离件远离所述底座的一端；

7、第一加热器，设于所述保温筒内；所述第一加热器远离所述底座的一端具有加热部；

8、坩埚，设于所述第一加热器内，并与所述加热部相对应。

9、在一种可能的实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种热场结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的热场结构，其特征在于，所述第一隔离件远离所述底座的一端开设有安装槽；所述保温筒的一端设于所述安装槽内。

3.根据权利要求2所述的热场结构，其特征在于，所述保温筒包括可拆卸连接的第一筒体和第二筒体；所述第一筒体远离所述第二筒体的一端设于所述安装槽内；所述第二筒体与所述加热部相对应。

4.根据权利要求3所述的热场结构，其特征在于，所述保温筒还包括第三筒体和连接件；所述连接件的一端与所述第二筒体远离所述第一筒体的一端连接；所述连接件远离所述第二筒体的一端与所述第三筒体连接。p>

5.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种热场结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的热场结构，其特征在于，所述第一隔离件远离所述底座的一端开设有安装槽；所述保温筒的一端设于所述安装槽内。

3.根据权利要求2所述的热场结构，其特征在于，所述保温筒包括可拆卸连接的第一筒体和第二筒体；所述第一筒体远离所述第二筒体的一端设于所述安装槽内；所述第二筒体与所述加热部相对应。

4.根据权利要求3所述的热场结构，其特征在于，所述保温筒还包括第三筒体和连接件；所述连接件的一端与所述第二筒体远离所述第一筒体的一端连接；所述连接件远离所述第二筒体的一端与所述第三筒体连接。

5.根据权利要求4所述的热场结构，其特征在于，所述第三筒体的直径小于所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹凯，莫磊，张国宏，田栋东，李长营，
申请(专利权)人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司，
类型：新型
国别省市：