下载一种热场结构及单晶炉的技术资料

文档序号:44324063

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本申请提供了一种热场结构及单晶炉,涉及晶体制备设备技术领域。热场结构包括底座、第一隔离件、保温筒、第一加热器及坩埚;第一隔离件设于底座上;保温筒设于第一隔离件远离底座的一端;第一加热器设于保温筒内;第一加热器远离底座的一端具有加热部;坩埚设...
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