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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆传送,更具体地说,本专利技术涉及一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法及系统。
技术介绍
1、晶圆运输时所使用的天车是专门设计用于半导体晶圆搬运和运输的设备,在半导体工业中,晶圆作为制造集成电路的基础材料,其运输过程需要极度谨慎和精确,因此,天车被设计成高精度、高可靠性的运输设备,以满足半导体制造工艺的严格需求;
2、天车在天车运输路线上进行移动,天车运输路线是指天车在半导体制造厂内部洁净室环境中移动晶圆的路径,天车运输路线的设计是半导体制造过程中非常重要的一环,它直接影响到晶圆的安全性、洁净度以及生产效率,由于天车运输路线错综复杂,天车运输路线通常会产生交汇点,为了避免天车在交汇点发生碰撞,现有技术中,通常会在天车上安装有监测装置,或者控制其中一辆天车停止移动,让另一辆天车先行通过,会存在以下问题;
3、例如,公开号为cn114890075a的中国专利公开了一种空中运输小车的行走状态监测装置和方法,该专利对空中运输小车的运行状态进行自动监测,避免了因运行轨道异常而影响晶圆盒运输安全性的问题,但是天车运输晶圆的过程中需要稳定性,而现有技术中,控制其中一辆天车停止移动,无疑会造成天车在减速的过程出现强烈的不稳定性,容易造成晶圆的损伤,进一步地,天车具有两种状态,载荷状态和空载状态,现有技术中,极少存在能够通过天车状态对天车实现精确的控制。
4、鉴于此,本专利技术提出一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法及系统以解决上述问题。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述实时天车状态包括载荷状态和空载状态,所述根据实时天车数量确定监测区域状态的方法包括:
3.根据权利要求2所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述标准速度包括第一速度和第二速度,所述第一速度与载荷状态相对应,而所述第二速度与空载状态相对应,所述基于实时天车状态获取至少两辆天车的标准速度的方法包括:
4.根据权利要求3所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述速度分类模型的构建方法包括:
5.根据权利要求4所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述基于标准速度确定相应的预定时间区间的方法包括:
6.根据权利要求5所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述根据实时行驶长度以及第二行驶长度判断是否生成预定时间区间的方法包括:
7.根据权利要求6所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述基于
8.根据权利要求7所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述天车分类结果包括加速天车和减速天车,所述根据实时天车状态以及预定时间区间确定天车分类结果的方法包括:
9.根据权利要求8所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述标准速度变量包括第一速度变量和第二速度变量,根据实时天车状态以及预定时间区间确定速度变量的方法包括:
10.根据权利要求9所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述速度变量模型的构建方法包括:
11.一种基于天车的晶圆传送自动化调度系统,其用于实现权利要求1-10中任一项所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,包括:
12.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被执行时实现权利要求1-10任一项所述一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法。
...【技术特征摘要】
1.一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述实时天车状态包括载荷状态和空载状态,所述根据实时天车数量确定监测区域状态的方法包括:
3.根据权利要求2所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述标准速度包括第一速度和第二速度,所述第一速度与载荷状态相对应,而所述第二速度与空载状态相对应,所述基于实时天车状态获取至少两辆天车的标准速度的方法包括:
4.根据权利要求3所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述速度分类模型的构建方法包括:
5.根据权利要求4所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述基于标准速度确定相应的预定时间区间的方法包括:
6.根据权利要求5所述的一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法,其特征在于,所述根据实时行驶长度以及第二行驶长度判断是否生成预定时间区间的方法包括:
7.根据权利要求6所述的一种基于天车的晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员:林坚,王彭,吴国明,王栋梁,
申请(专利权)人:泓浒苏州半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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