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本发明涉及晶圆传送技术领域，本发明公开了一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法及系统，包括获取监测区域内实时天车数量以及实时天车状态，根据实时天车数量确定监测区域状态，当监测区域状态为第二状态时，生成预定时间区间，根据两辆天车所对应的预定时间...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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