用于平板显示设备的制造工艺的曝光装置制造方法及图纸

一种用于平板显示设备的制造工艺的曝光装置包括：光源，发射光；光束边角切割器，用于提高来自光源的光的均匀性；曝光掩模，在光束边角切割器下方且包含图案；气体喷射单元，在光束边角切割器和曝光掩模之间且通过光束边角切割器和曝光掩模之间的空间喷射气体；和平台，在曝光掩模下方，放置用于平板显示设备的基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于平板显示设备的制造工艺的曝光装置，尤其涉及一种其中能 够防止在光束边角切割器上的污染的曝光装置。
技术介绍
随着社会开始紧迫地进入信息时代，具有更薄外观、更轻重量和更低功率消耗等 优异性能的平板显示设备替代阴极射线管(CRT)被推行和使用。例如，平板显示设备包括 LCD设备、等离子体显示面板(PDP)设备、电致发光显示(EL)设备和场发射显示(FED)设 备。作为必要组件，这些平板显示设备都包括平板显示面板，该平板显示面板包括一对基板 和含有荧光原料或磷光原料的原料层。 近期，其中像素以矩阵形排列并且作为开关元件的薄膜晶体管被独立控制的有源 矩阵型平板显示设备被广泛地应用。 例如，因为高对比度和适合显示运动图像的特性而广泛地应用于笔记本电脑、监 视器、电视等的LED设备，包括具有第一基板、第二基板和液晶层的液晶面板。第一基板和 第二基板彼此相对，而液晶层插入在两者之间。在第一基板上，栅极线和数据线彼此交叉以 确定像素区域。在栅极线和数据线交叉部分的薄膜晶体管(TFT)与像素区域内的像素电极 连接。第一基板称为为阵列基板。在第二基板上，形成具有格子形状的黑矩阵、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于平板显示设备的制造工艺的曝光装置，包括：光源，发射光；光束边角切割器，用于提高来自所述光源的光的均匀性；曝光掩模，在所述光束边角切割器下方且包含图案；气体喷射单元，在所述光束边角切割器和所述曝光掩模之间且通过所述光束边角切割器和所述曝光掩模之间的空间喷射气体；和平台，在所述曝光掩模下方，放置用于平板显示设备的基板。

【技术特征摘要】
KR 2008-12-5 10-2008-0122878一种用于平板显示设备的制造工艺的曝光装置，包括光源，发射光；光束边角切割器，用于提高来自所述光源的光的均匀性；曝光掩模，在所述光束边角切割器下方且包含图案；气体喷射单元，在所述光束边角切割器和所述曝光掩模之间且通过所述光束边角切割器和所述曝光掩模之间的空间喷射气体；和平台，在所述曝光掩模下方，放置用于平板显示设备的基板。2. 根据权利要求1所述的装置，其中薄膜和光刻胶原料层堆叠在所述基板上。3. 根据权利要求1所述的装置，其中所述气体喷射单元具有长度与所述曝光掩模的侧 边基本相同的条形的形状。4. 根据权利要求1所述的装置，其中所述气体包括氮气和冷干燥空气的其中一种。5. 根据权利要求1所述的装置，其中所述光束边角切割器包括至少一个凸透镜和至少 一个反射镜。6. 根据权利要求1所述的装置，进一步包括光学单元，用于通过调整光的焦点以防止光的散射且位于所述曝光掩模和所述基板之间。7. 根据权利要求6所述的装置，其中所述光学单元包括超...

【专利技术属性】
技术研发人员：金汉熙，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]