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一种用于平板显示设备的制造工艺的曝光装置包括：光源，发射光；光束边角切割器，用于提高来自光源的光的均匀性；曝光掩模，在光束边角切割器下方且包含图案；气体喷射单元，在光束边角切割器和曝光掩模之间且通过光束边角切割器和曝光掩模之间的空间喷射气体...
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