【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅晶圆检测翻片装置，属于硅晶圆外观检测。
技术介绍
1、硅片在制备为光伏组件的电池片前，需要进行前期检测分选，检测合格的硅片才能进入下一工序，硅片前期的检测主要有隐裂检测、外观脏污检测、崩边检测以及电阻率检测等等。
2、硅片的外观脏污检测目前主要是通过线扫相机在电池片流送的过程中对硅片进行较为全面的检测，对于硅片上表面，很容易通过线扫相机观察到硅片的全貌，而对于硅片的下表面，由于需要输送托承所以遮蔽了视野，因此对于下表面进行全面检测具有一定的困难，若直接在其下方设置相机检测则容易导致检测失误率高，难以提升自动化流线中外观判断的准确性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种硅晶圆检测翻片装置，用于在硅晶圆输送的过程中将硅晶圆进行翻面，可以将不能很好检测的硅晶圆的背面翻转至正面以便于线扫相机识别，提升了硅片分选的准确性，有利于提升检测准确率。
2、为实现上述目的，本技术是采用下述技术方案实现的：
3、一方面，包括机架、设置于机架上的第一皮带输送线、第二皮带输送线以及翻片手；
4、所述第一皮带输送线和第二皮带输送线用于输送硅片，所述第一皮带输送线和第二皮带输送线之间设置有高度差；
5、所述翻片手设置于第一皮带输送线的末端且位于第一皮带输送线和第二皮带输送线在竖直方向上之间的位置，所述翻片手用于将输送至第一皮带输送线末端的硅片抓取并通过转动在第二皮带输送线的上方将硅片放下。
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7、所述翻片手包括主真空管、若干真空支管以及若干个吸盘，每个所述吸盘均与对应的真空支管连通设置，若干所述真空支管呈圆周阵列排布在主真空管的外侧并与主真空管相连通，所述吸盘转动设置在两个窄皮带之间的位置，所述吸盘用于在第一皮带输送线的末端将硅片吸起并在转动至第二皮带输送线的上方时放下。
8、具体的，所述吸盘在转动过程中的最低位置恒定高于第二皮带输送线的顶面的输送位置。
9、具体的，所述翻片手还包括与机架相对固定的设置的内供应气管，所述主真空管受驱动作用转动，所述内供应气管转动配合设置在主真空管的内部并在配合处与主真空管相对密封设置，所述内供应气管上开设有出气斜口，所述出气斜口用于在真空支管在跟随主真空管转动的过程中向对应的真空支管供应负压。
10、具体的，所述出气斜口的开设位置用于在吸盘转动至正上方时提供负压，并在吸盘转动至下方时断开负压供应。
11、具体的，所述出气斜口与水平面呈镜像对称。
12、具体的，所述出气斜口用于在吸盘一端的运动至最底部时断开负压供应。
13、具体的，所述第一皮带输送线和第二皮带输送线均包括一个主动辊和两个从动辊，所述主动辊用于驱动皮带在输送的过程中带动从动辊转动。
14、具体的，所述吸盘所在轨迹的最顶端高于第一皮带输送线的顶面输送位置。
15、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果：
16、本技术通过设置翻片手在第一皮带输送线和第二皮带输送线之间，使得被输送至第一皮带输送线末端的硅晶圆可以被翻片手进行拿取并通过旋转在第二皮带输送线上放下，可以实现在硅晶圆自动流送的过程中进行翻面，有利于外观检测硅晶圆的两个侧面，提升检测的准确率。
17、本技术提供的翻片手，利用负压吸附和转动旋转的配合，使得吸盘在转动的过程中可以根据流线的位置状态自动提供断开负压供应，有利于保障翻片的连续性，可以在实现翻片功能的同时尽可能降低因动作时间而导致的影响效率的问题。
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1.一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，包括机架（1）、设置于机架（1）上的第一皮带输送线（2）、第二皮带输送线（3）以及翻片手（4）；
2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述第一皮带输送线（2）和第二皮带输送线（3）均设置有两个窄皮带，硅片的两侧分别被两侧的两个所述窄皮带托起；
3.根据权利要求2所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述吸盘（403）在转动过程中的最低位置恒定高于第二皮带输送线（3）的顶面的输送位置。
4.根据权利要求2所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述翻片手（4）还包括与机架（1）相对固定的设置的内供应气管（406），所述主真空管（401）受驱动作用转动，所述内供应气管（406）转动配合设置在主真空管（401）的内部并在配合处与主真空管（401）相对密封设置，所述内供应气管（406）上开设有出气斜口（407），所述出气斜口（407）用于在真空支管（402）在跟随主真空管（401）转动的过程中向对应的真空支管（402）供应负压。
5.根据权利要求4所述的一种硅晶圆检测翻片
6.根据权利要求5所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述出气斜口（407）与水平面呈镜像对称。
7.根据权利要求5所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述出气斜口（407）用于在吸盘（403）一端的运动至最底部时断开负压供应。
8.根据权利要求2所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述第一皮带输送线（2）和第二皮带输送线（3）均包括一个主动辊和两个从动辊，所述主动辊用于驱动皮带在输送的过程中带动从动辊转动。
9.根据权利要求2所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述吸盘（403）所在轨迹的最顶端高于第一皮带输送线（2）的顶面输送位置。
...【技术特征摘要】
1.一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，包括机架（1）、设置于机架（1）上的第一皮带输送线（2）、第二皮带输送线（3）以及翻片手（4）；
2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述第一皮带输送线（2）和第二皮带输送线（3）均设置有两个窄皮带，硅片的两侧分别被两侧的两个所述窄皮带托起；
3.根据权利要求2所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述吸盘（403）在转动过程中的最低位置恒定高于第二皮带输送线（3）的顶面的输送位置。
4.根据权利要求2所述的一种硅晶圆检测翻片装置，其特征在于，所述翻片手（4）还包括与机架（1）相对固定的设置的内供应气管（406），所述主真空管（401）受驱动作用转动，所述内供应气管（406）转动配合设置在主真空管（401）的内部并在配合处与主真空管（401）相对密封设置，所述内供应气管（406）上开设有出气斜口（407），所述出气斜口（407）用于在真空支管（402）在跟随主...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵智亮，高开中，李德刚，
申请(专利权)人：苏州艺力鼎丰智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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