自动化测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种自动化测试装置，包括具有上基板的支架、安装于上基板上的测试座和活动安装于测试座上方的成像模块，位于测试座外侧的所述上基板的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆，所述活动座上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆，所述测试座包括安装于上基板上的基座和连接于基座上端的圆形载板，所述圆形载板上表面开有若干个同心设置的环形槽，所述成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源，所述光源安装于镜头靠近测试座一端的下方，所述镜头远离测试座的一端上安装有一相机。本实用新型专利技术保证了成像的清晰度和精度，进而保证对晶圆测试的精度。

【技术实现步骤摘要】
自动化测试装置
本技术涉及半导体测试
，尤其涉及自动化测试装置。
技术介绍
半导体测试工艺属于半导体产业的关键领域，半导体测试包括CP（CircuitProbe）测试，CP（CircuitProbe）测试也称晶圆测试（wafertest），是半导体器件后道封装测试的第一步，目的是将晶圆中的不良芯片挑选出来。通常，晶圆指制作集成电路所用的硅片，在晶圆上的集成电路全部制作完成后，晶圆上包含若干个芯片，在半导体的生产中，随着晶圆尺寸的增大和元器件尺寸的缩小，一片晶圆可划分成数千个相同或不同的芯片。由于生产设计或材料本身的特性，生产的晶圆中除了包括有正常芯片外，还可能存在有缺陷芯片。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种自动化测试装置，该自动化测试装置保证了成像的清晰度和精度，进而保证对晶圆测试的精度。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种自动化测试装置，包括具有上基板的支架、安装于上基板上的测试座和活动安装于测试座上方的成像模块，所述测试座安装于上基板的上表面上；位于测试座外侧的所述上基板的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆，套装于此Y向丝杆上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板，一活动座安装于所述Y向丝杆连接板上，并可随Y向丝杆连接板沿Y方向移动；所述活动座上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆，所述成像模块通过一X向丝杆连接板与套装于X向丝杆上的螺母连接，使得成像模块可沿X方向移动；所述测试座包括安装于上基板上的基座和连接于基座上端的圆形载板，所述圆形载板上表面开有若干个同心设置的环形槽，此圆形载板的侧端面上具有一沿径向向内开设的槽口部；所述成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源，所述光源安装于镜头靠近测试座一端的下方，所述镜头远离测试座的一端上安装有一相机。上述技术方案中进一步改进的方案如下：1.上述方案中，所述支撑座为L形支撑座，此L形支撑座的下表面与X向丝杆连接板连接，所述L形支撑座的侧表面上安装有所述镜头和光源。2.上述方案中，所述相机为CCD相机，所述镜头为远心镜头，所述光源为环形光源。3.上述方案中，4个所述环形槽等间隔设置。4.上述方案中，所述测试座可上下移动地安装于上基板上。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1.本技术自动化测试装置，其通过成像的方式，可实现对不同尺寸晶圆的多参数测试，且操作简单、测试精度高、测试稳定性好；另外，其圆形载板上表面开有若干个同心设置的环形槽，此圆形载板的侧端面上具有一沿径向向内开设的槽口部，既可以保证待测试晶圆在载板的位置精度，又可以避免晶圆的偏移，保证测试精度，还在便于对晶圆取放的同时避免对晶圆的损伤。2.本技术自动化测试装置，其成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源，所述光源安装于镜头靠近测试座一端的下方，所述镜头远离测试座的一端上安装有一相机，保证了成像的清晰度和精度，进而保证对晶圆测试的精度。附图说明附图1为本技术自动化测试装置结构示意图；附图2为本技术自动化测试装置的内部结构示意图一；附图3为本技术自动化测试装置的内部结构示意图二；附图4为本技术自动化测试装置的局部结构示意图一；附图5为本技术自动化测试装置的局部结构示意图二。以上附图中：1、上基板；3、支架；4、测试座；5、成像模块；61、Y向丝杆；62、Y向丝杆连接板；7、活动座；81、X向丝杆；82、X向丝杆连接板；10、基座；11、圆形载板；121、环形槽；122、槽口部；13、支撑座；14、镜头；15、光源；16、相机。具体实施方式实施例1：一种自动化测试装置，包括具有上基板1的支架3、安装于上基板1上的测试座4和活动安装于测试座4上方的成像模块5，所述测试座4安装于上基板1的上表面上；位于测试座4外侧的所述上基板1的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆61，套装于此Y向丝杆61上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板62，一活动座7安装于所述Y向丝杆连接板62上，并可随Y向丝杆连接板62沿Y方向移动；所述活动座7上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆81，所述成像模块5通过一X向丝杆连接板82与套装于X向丝杆81上的螺母连接，使得成像模块5可沿X方向移动；所述测试座4包括安装于上基板1上的基座10和连接于基座10上端的圆形载板11，所述圆形载板11上表面开有若干个同心设置的环形槽121，此圆形载板11的侧端面上具有一沿径向向内开设的槽口部12；所述成像模块5包括与X向丝杆连接板82连接的支撑座13和安装于支撑座13上的镜头14、光源15，所述光源15安装于镜头14靠近测试座4一端的下方，所述镜头14远离测试座4的一端上安装有一相机16。上述支撑座13为L形支撑座，此L形支撑座的下表面与X向丝杆连接板82连接，上述L形支撑座的侧表面上安装有上述镜头14和光源15。实施例2：一种自动化测试装置，包括具有上基板1的支架3、安装于上基板1上的测试座4和活动安装于测试座4上方的成像模块5，所述测试座4安装于上基板1的上表面上；位于测试座4外侧的所述上基板1的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆61，套装于此Y向丝杆61上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板62，一活动座7安装于所述Y向丝杆连接板62上，并可随Y向丝杆连接板62沿Y方向移动；所述活动座7上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆81，所述成像模块5通过一X向丝杆连接板82与套装于X向丝杆81上的螺母连接，使得成像模块5可沿X方向移动；所述测试座4包括安装于上基板1上的基座10和连接于基座10上端的圆形载板11，所述圆形载板11上表面开有若干个同心设置的环形槽121，此圆形载板11的侧端面上具有一沿径向向内开设的槽口部12；所述成像模块5包括与X向丝杆连接板82连接的支撑座13和安装于支撑座13上的镜头14、光源15，所述光源15安装于镜头14靠近测试座4一端的下方，所述镜头14远离测试座4的一端上安装有一相机16。上述相机16为CCD相机，上述镜头14为远心镜头，上述光源15为环形光源；4个上述环形槽121等间隔设置；上述测试座4可上下移动地安装于上基板1上。采用上述自动化测试装置时，其通过成像的方式，可实现对不同尺寸晶圆的多参数测试，且操作简单、测试精度高、测试稳定性好；另外，既可以保证待测试晶圆在载板的位置精度，又可以避免晶圆的偏移，保证测试精度，还在便于对晶圆取放的同时避免对晶圆的损伤；另外，保证了成像的清晰度和精度，进而保证对晶圆测试的精度。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动化测试装置，其特征在于：包括具有上基板（1）的支架（3）、安装于上基板（1）上的测试座（4）和活动安装于测试座（4）上方的成像模块（5），所述测试座（4）安装于上基板（1）的上表面上；/n位于测试座（4）外侧的所述上基板（1）的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆（61），套装于此Y向丝杆（61）上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板（62），一活动座（7）安装于所述Y向丝杆连接板（62）上，并可随Y向丝杆连接板（62）沿Y方向移动；/n所述活动座（7）上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆（81），所述成像模块（5）通过一X向丝杆连接板（82）与套装于X向丝杆（81）上的螺母连接，使得成像模块（5）可沿X方向移动；/n所述测试座（4）包括安装于上基板（1）上的基座（10）和连接于基座（10）上端的圆形载板（11），所述圆形载板（11）上表面开有若干个同心设置的环形槽（121），此圆形载板（11）的侧端面上具有一沿径向向内开设的槽口部（122）；/n所述成像模块（5）包括与X向丝杆连接板（82）连接的支撑座（13）和安装于支撑座（13）上的镜头（14）、光源（15），所述光源（15）安装于镜头（14）靠近测试座（4）一端的下方，所述镜头（14）远离测试座（4）的一端上安装有一相机（16）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种自动化测试装置，其特征在于：包括具有上基板（1）的支架（3）、安装于上基板（1）上的测试座（4）和活动安装于测试座（4）上方的成像模块（5），所述测试座（4）安装于上基板（1）的上表面上；
位于测试座（4）外侧的所述上基板（1）的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆（61），套装于此Y向丝杆（61）上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板（62），一活动座（7）安装于所述Y向丝杆连接板（62）上，并可随Y向丝杆连接板（62）沿Y方向移动；
所述活动座（7）上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆（81），所述成像模块（5）通过一X向丝杆连接板（82）与套装于X向丝杆（81）上的螺母连接，使得成像模块（5）可沿X方向移动；
所述测试座（4）包括安装于上基板（1）上的基座（10）和连接于基座（10）上端的圆形载板（11），所述圆形载板（11）上表面开有若干个同心设置的环形槽（121），此圆形载板（11）的侧端面上具有一沿径向向内开设的槽口部（122）...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵智亮，高开中，王永平，
申请(专利权)人：苏州艺力鼎丰智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32