高精度测试设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种高精度测试设备，包括具有上基板的支架、安装于上基板上的测试座和活动安装于测试座上方的成像模块，位于测试座外侧的所述上基板的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆，所述活动座上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆，所述上基板的上表面并位于测试座远离Y向丝杆的外侧安装有一与Y向丝杆平行设置的导轨，所述活动座的一端下表面与Y向丝杆连接板连接，所述Y向丝杆连接板包括基板和自基板两端向上延伸的侧板，所述成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源。本实用新型专利技术既保证了活动座沿Y方向移动过程中的稳定性、保证测试的精度，又可以有效延长装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
高精度测试设备
本技术涉及半导体测试
，尤其涉及高精度测试设备。
技术介绍
半导体测试工艺属于半导体产业的关键领域，半导体测试包括CP（CircuitProbe）测试，CP（CircuitProbe）测试也称晶圆测试（wafertest），是半导体器件后道封装测试的第一步，目的是将晶圆中的不良芯片挑选出来。通常，晶圆指制作集成电路所用的硅片，在晶圆上的集成电路全部制作完成后，晶圆上包含若干个芯片，在半导体的生产中，随着晶圆尺寸的增大和元器件尺寸的缩小，一片晶圆可划分成数千个相同或不同的芯片。由于生产设计或材料本身的特性，生产的晶圆中除了包括有正常芯片外，还可能存在有缺陷芯片。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种高精度测试设备，该高精度测试设备既保证了活动座沿Y方向移动过程中的稳定性、保证测试的精度，又可以有效延长装置的使用寿命。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种高精度测试设备，包括具有上基板的支架、安装于上基板上的测试座和活动安装于测试座上方的成像模块，所述测试座安装于上基板的上表面上；位于测试座外侧的所述上基板的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆，套装于此Y向丝杆上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板，一活动座安装于所述Y向丝杆连接板上，并可随Y向丝杆连接板沿Y方向移动；所述活动座上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆，所述成像模块通过一X向丝杆连接板与套装于X向丝杆上的螺母连接，使得成像模块可沿X方向移动；所述上基板的上表面并位于测试座远离Y向丝杆的外侧安装有一与Y向丝杆平行设置的导轨，所述活动座的一端下表面与Y向丝杆连接板连接，此活动座另一端的下表面通过滑块与导轨滑动配合，使得滑块可沿Y方向移动；所述Y向丝杆连接板包括基板和自基板两端向上延伸的侧板，所述基板与Y向丝杆上的螺母连接，两个所述侧板分别与活动座的下表面固定；所述成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源，所述光源安装于镜头靠近测试座一端的下方，所述镜头远离测试座的一端上安装有一相机。上述技术方案中进一步改进的方案如下：1.上述方案中，所述支撑座为L形支撑座，此L形支撑座的下表面与X向丝杆连接板连接，所述L形支撑座的侧表面上安装有所述镜头和光源。2.上述方案中，所述相机为CCD相机。3.上述方案中，所述镜头为远心镜头。4.上述方案中，所述光源为环形光源。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1.本技术高精度测试设备，其通过成像的方式，可实现对不同尺寸晶圆的多参数测试，且操作简单、测试精度高、测试稳定性好；另外，其上基板的上表面并位于测试座远离Y向丝杆的外侧安装有一与Y向丝杆平行设置的导轨，所述活动座的一端下表面与Y向丝杆连接板连接，此活动座另一端的下表面通过滑块与导轨滑动配合，使得滑块可沿Y方向移动，通过与Y向丝杆平行的导轨的设置，既保证了活动座沿Y方向移动过程中的稳定性、保证测试的精度，又可以有效延长装置的使用寿命；进一步的，其Y向丝杆连接板包括基板和自基板两端向上延伸的侧板，所述基板与Y向丝杆上的螺母连接，两个所述侧板分别与活动座的下表面固定，通过两个侧板的设置，进一步提高了活动座与驱动部件之间连接的稳定性，进而保证测试的精度和测试稳定性。2.本技术高精度测试设备，其成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源，所述光源安装于镜头靠近测试座一端的下方，所述镜头远离测试座的一端上安装有一相机，保证了成像的清晰度和精度，进而保证对晶圆测试的精度。附图说明附图1为本技术高精度测试设备结构示意图；附图2为本技术高精度测试设备的内部结构示意图一；附图3为本技术高精度测试设备的内部结构示意图二；附图4为本技术高精度测试设备的局部结构示意图一；附图5为本技术高精度测试设备的局部结构示意图二。以上附图中：1、上基板；3、支架；4、测试座；5、成像模块；61、Y向丝杆；62、Y向丝杆连接板；621、基板；622、侧板；7、活动座；81、X向丝杆；82、X向丝杆连接板；9、滑块；13、支撑座；14、镜头；15、光源；16、相机。具体实施方式实施例1：一种高精度测试设备，包括具有上基板1的支架3、安装于上基板1上的测试座4和活动安装于测试座4上方的成像模块5，所述测试座4安装于上基板1的上表面上；位于测试座4外侧的所述上基板1的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆61，套装于此Y向丝杆61上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板62，一活动座7安装于所述Y向丝杆连接板62上，并可随Y向丝杆连接板62沿Y方向移动；所述活动座7上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆81，所述成像模块5通过一X向丝杆连接板82与套装于X向丝杆81上的螺母连接，使得成像模块5可沿X方向移动；所述上基板1的上表面并位于测试座4远离Y向丝杆61的外侧安装有一与Y向丝杆61平行设置的导轨，所述活动座7的一端下表面与Y向丝杆连接板62连接，此活动座7另一端的下表面通过滑块9与导轨滑动配合，使得滑块9可沿Y方向移动；所述Y向丝杆连接板62包括基板621和自基板621两端向上延伸的侧板622，所述基板621与Y向丝杆61上的螺母连接，两个所述侧板622分别与活动座7的下表面固定；所述成像模块5包括与X向丝杆连接板82连接的支撑座13和安装于支撑座13上的镜头14、光源15，所述光源15安装于镜头14靠近测试座4一端的下方，所述镜头14远离测试座4的一端上安装有一相机16。上述支撑座13为L形支撑座，此L形支撑座的下表面与X向丝杆连接板82连接，上述L形支撑座的侧表面上安装有上述镜头14和光源15。实施例2：一种高精度测试设备，包括具有上基板1的支架3、安装于上基板1上的测试座4和活动安装于测试座4上方的成像模块5，所述测试座4安装于上基板1的上表面上；位于测试座4外侧的所述上基板1的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆61，套装于此Y向丝杆61上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板62，一活动座7安装于所述Y向丝杆连接板62上，并可随Y向丝杆连接板62沿Y方向移动；所述活动座7上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆81，所述成像模块5通过一X向丝杆连接板82与套装于X向丝杆81上的螺母连接，使得成像模块5可沿X方向移动；所述上基板1的上表面并位于测试座4远离Y向丝杆61的外侧安装有一与Y向丝杆61平行设置的导轨，所述活动座7的一端下表面与Y向丝杆连接板62连接，此活动座7另一端的下表面通过滑块9与导轨滑动配合，使得滑块9可沿Y方向移动；所述Y向丝杆连接板62包括基板621和自基板621两端向上延伸的侧板622，所述基板621与Y向丝杆61上的螺母连接，两个所述侧板622分别与活动座7的下表面固定；所述成像模块5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度测试设备，其特征在于：包括具有上基板（1）的支架（3）、安装于上基板（1）上的测试座（4）和活动安装于测试座（4）上方的成像模块（5），所述测试座（4）安装于上基板（1）的上表面上；/n位于测试座（4）外侧的所述上基板（1）的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆（61），套装于此Y向丝杆（61）上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板（62），一活动座（7）安装于所述Y向丝杆连接板（62）上，并可随Y向丝杆连接板（62）沿Y方向移动；/n所述活动座（7）上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆（81），所述成像模块（5）通过一X向丝杆连接板（82）与套装于X向丝杆（81）上的螺母连接，使得成像模块（5）可沿X方向移动；/n所述上基板（1）的上表面并位于测试座（4）远离Y向丝杆（61）的外侧安装有一与Y向丝杆（61）平行设置的导轨，所述活动座（7）的一端下表面与Y向丝杆连接板（62）连接，此活动座（7）另一端的下表面通过滑块（9）与导轨滑动配合，使得滑块（9）可沿Y方向移动；/n所述Y向丝杆连接板（62）包括基板（621）和自基板（621）两端向上延伸的侧板（622），所述基板（621）与Y向丝杆（61）上的螺母连接，两个所述侧板（622）分别与活动座（7）的下表面固定；/n所述成像模块（5）包括与X向丝杆连接板（82）连接的支撑座（13）和安装于支撑座（13）上的镜头（14）、光源（15），所述光源（15）安装于镜头（14）靠近测试座（4）一端的下方，所述镜头（14）远离测试座（4）的一端上安装有一相机（16）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高精度测试设备，其特征在于：包括具有上基板（1）的支架（3）、安装于上基板（1）上的测试座（4）和活动安装于测试座（4）上方的成像模块（5），所述测试座（4）安装于上基板（1）的上表面上；
位于测试座（4）外侧的所述上基板（1）的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆（61），套装于此Y向丝杆（61）上的螺母上连接有一Y向丝杆连接板（62），一活动座（7）安装于所述Y向丝杆连接板（62）上，并可随Y向丝杆连接板（62）沿Y方向移动；
所述活动座（7）上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆（81），所述成像模块（5）通过一X向丝杆连接板（82）与套装于X向丝杆（81）上的螺母连接，使得成像模块（5）可沿X方向移动；
所述上基板（1）的上表面并位于测试座（4）远离Y向丝杆（61）的外侧安装有一与Y向丝杆（61）平行设置的导轨，所述活动座（7）的一端下表面与Y向丝杆连接板（62）连接，此活动座（7）另一端的下表面通过滑块（9）与导轨滑动配合，使得滑块（9）可沿Y方向移动；
所述Y向丝杆连接板（62）包括基板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵智亮，高开中，王永平，
申请(专利权)人：苏州艺力鼎丰智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32