一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，解决了现有固定装置易损伤芯片或固定不可靠的问题，并支持完整全面地检验巴条芯片。该装置包括固定基座，所述固定基座具有台阶；台阶顶面设置有多个第一限位平底凹槽，用于平放容纳巴条芯片并限制巴条芯片在放置平面偏转；所述第一限位平底凹槽的底面设置有至少一个吸附孔；台阶竖立面设置有多个第二限位平底凹槽，用于竖放容纳巴条芯片使巴条芯片腔面朝上，并限制巴条芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口，第二限位平底凹槽的底面设置有至少两个吸附孔；所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道、侧面相应设置有两处真空通道接口。

【技术实现步骤摘要】
一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置
本技术涉及一种用于巴条芯片显微观察的固定装置。
技术介绍
半导体激光器器件具有体积小、重量轻、电光转换效率高等优点，在医疗、军事、通信等领域作为光源以及泵浦光源源受到广泛的应用。半导体激光器芯片通常需要经过封装形成器件后才出厂使用。常见的LD半导体激光器，分单管和巴条两种。巴条切割成裸芯片，芯片封装后成单管激光器；同时，巴条芯片也可以看做是多个半导体单管并排形成的激光器单条，称之为一个bar。在半导体激光器芯片封装之前，为了提高封装的成品率，需要对半导体激光器芯片进行相关的性能测试，挑选出合格的半导体激光器芯片，淘汰掉不合格的芯片。其中，还需要检验巴条芯片是否存在腔面沾污、腔面光学灾变损伤、腔面裂纹、腔面爬铟等失效现象。如果考虑在显微镜下观察巴条芯片腔面和芯片电极，则如何可靠固定巴条芯片十分关键。目前，有的方案采用螺钉连接固定，有的方案采用真空吸附固定。前者会使芯片受力不均、易损伤芯片；后者实践中容易发生放置平面上的移动，不利于准确观察；而且，基于目前的固定装置，观测方式单一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，包括固定基座，其特征在于，所述固定基座具有台阶；/n台阶顶面(1)设置有多个第一限位平底凹槽(101)，用于平放容纳巴条芯片并限制巴条芯片在放置平面偏转；所述第一限位平底凹槽的底面设置有至少一个第一吸附孔(102)；/n台阶竖立面(2)设置有多个第二限位平底凹槽(201)，用于竖放容纳巴条芯片使巴条芯片腔面朝上，并限制巴条芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口，第二限位平底凹槽的底面设置有至少两个第二吸附孔(202)；/n所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道(103、203)，分别与第一限位平底凹槽的第一吸附孔...

【技术特征摘要】
1.一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，包括固定基座，其特征在于，所述固定基座具有台阶；
台阶顶面(1)设置有多个第一限位平底凹槽(101)，用于平放容纳巴条芯片并限制巴条芯片在放置平面偏转；所述第一限位平底凹槽的底面设置有至少一个第一吸附孔(102)；
台阶竖立面(2)设置有多个第二限位平底凹槽(201)，用于竖放容纳巴条芯片使巴条芯片腔面朝上，并限制巴条芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口，第二限位平底凹槽的底面设置有至少两个第二吸附孔(202)；
所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道(103、203)，分别与第一限位平底凹槽的第一吸附孔和第二限位平底凹槽的第二吸附孔连通；固定基座的侧面相应设置有两处真空通道接口(104、204)，用于外接真空泵。


2.根据权利要求1所述的一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，其特征在于，所述第一限位平底凹槽和第二限位平底凹槽均为矩形结构。


3.根据权利要求1所述的一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，其特征在于，所述第一限位平底凹槽和第二限位平底凹槽的深度均等于待放置的巴条芯片厚度。


4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贞福，李特，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：陕西;61