【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光通芯片制造用夹具相关，特别涉及一种晶圆贴盖板夹具。
技术介绍
1、现有的晶圆(芯片)贴盖板(玻璃板)工艺是：在晶圆上点胶(刷胶)，之后将盖板贴合到晶圆上并进行第一次加压，之后旋转22.5°进行第二次加压，最后回转角度后继续加压来保证胶水厚度分布的均匀性，之后避光静置，然后固化，操作繁琐，耗时长且同一晶圆bar条的胶层厚度也无法保证相对均匀，导致良品率低、生产效率低。
技术实现思路
1、为了克服现有的技术缺陷，解决现有晶圆贴盖板工艺存在操作繁琐、容易发生胶层分布不均匀、良品率低、生产效率低的技术问题，本技术的目的在于提供一种晶圆贴盖板夹具以解决上述技术问题。
2、本技术解决技术问题所采用的技术方案如下：
3、根据本技术的一个方面，设计出一种晶圆贴盖板夹具，包括：
4、底座，安装有支臂；
5、下吸盘，安装于所述底座上；
6、上吸盘，通过竖向导向组件定位放置于所述下吸盘顶部时，上吸盘底部的吸附面与所述下吸盘顶部的吸附面上下保持间隙且相互平行；
7、压紧组件，设于所述上吸盘上方并与所述支臂连接，用于驱使所述上吸盘进行向下压紧动作。
8、采用上述技术方案，通过下吸盘顶部的吸附面用于吸附固定晶圆，通过上吸盘底部的吸附面用于吸附固定盖板，当吸附固定的晶圆上点胶后，将上吸盘通过竖向导向组件定位放置于下吸盘顶部，由于上吸盘底部的吸附面与下吸盘顶部的吸附面上下平行设置，当盖板贴合到晶圆上可以确保盖板与晶圆相
9、为了更好的解决上述技术缺陷，本技术还具有更佳的技术方案：
10、在一些实施方式中，还包括压块，所述压块用于放置于所述上吸盘上方中部，所述压紧组件用于驱使压块下压联动上吸盘进行压紧动作。由此，通过压块可以使上吸盘均匀受力进行下压盖板，有效确保盖板与晶圆相对平行以及之间的胶层厚度均匀。
11、在一些实施方式中，所述上吸盘左右端分别固接有拉手。由此方便手动取下上吸盘。
12、在一些实施方式中，所述竖向导向组件设有至少两个，竖向导向组件包括直线轴承和定位销，所述直线轴承与定位销之一固接于下吸盘上，另一固接于上吸盘上。
13、在一些实施方式中，所述支臂包括固定臂、活动臂、插销，所述固定臂与所述底座固接，所述活动臂与所述固定臂铰接，活动臂上设有插孔，固定臂上设有可插入所述插孔的插块，所述插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转。当需要将上吸盘放置于下吸盘上时或者将其从下吸盘上取下时，转动压紧组件上的旋钮使压头松开抵压后拔出插销后，然后将活动臂连接压紧组件的一端翻转到固定臂后侧，方便上吸盘的取放，若固定臂与活动臂一体固定结构，需要花费较多时间转动压紧组件上的旋钮使压头上升一定高度后才能取下上吸盘，比较麻烦、费时；当插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转，然后通过压紧组件可以下压上吸盘。
14、在一些实施方式中，所述压紧组件包括：螺杆、旋钮、压头、弹簧，所述螺杆与所述活动臂上螺纹孔螺纹配合，所述旋钮固接于所述螺杆上端，所述压头顶部具有连接杆，所述连接杆与所述螺杆上的通孔上下活动配合，所述弹簧套设于所述连接杆上，且弹簧上端与螺杆底部弹性抵接，下端与压头弹性抵接。当上吸盘置于下吸盘顶部后，顺时针转动旋钮可带动螺杆旋转下移，并带动压头下移，压头下移与压块接触后，继续转动旋钮带动螺杆旋转下移可使弹簧压缩，弹簧压缩从而增大压头对压块的抵压力度，通过抵压力度控制可实现对胶层有效控制。
15、在一些实施方式中，所述螺杆下端设有上圆台，所述压头上端设有下圆台，所述上圆台底部与下圆台顶部分别设有弹簧槽，所述弹簧上下端对应插入两个所述弹簧槽内。
16、在一些实施方式中，所述压块顶部中部设有半球形的凹槽，所述压紧组件的压头下端呈半球形结构，并用于与所述凹槽配合。
17、在一些实施方式中，所述下吸盘上设有第一吸孔、以第一吸孔为中心分布的多个不同直径的环形吸槽、连接第一吸孔与多个环形吸槽的多个连接吸槽，所述第一吸孔另一端延伸到下吸盘的右端并连接有真空接头。
18、在一些实施方式中，所述上吸盘上设有第二吸孔、以第二吸孔为中心呈辐射状分布并与第二吸孔连通的条状吸槽，所述第二吸孔另一端延伸到上吸盘的右端并连接有真空接头。
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1.一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，还包括压块，所述压块用于放置于所述上吸盘上方中部，所述压紧组件用于驱使压块下压联动上吸盘进行压紧动作。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述上吸盘左右端分别固接有拉手。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述竖向导向组件设有至少两个，竖向导向组件包括直线轴承和定位销，所述直线轴承与定位销之一固接于下吸盘上，另一固接于上吸盘上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述支臂包括固定臂、活动臂、插销，所述固定臂与所述底座固接，所述活动臂与所述固定臂铰接，活动臂上设有插孔，固定臂上设有可插入所述插孔的插块，所述插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述压紧组件包括：螺杆、旋钮、压头、弹簧，所述螺杆与所述活动臂上螺纹孔螺纹配合，所述旋钮固接于所述螺杆上端，所述压头顶部具有连接杆，所述连接杆
7.根据权利要求6所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述螺杆下端设有上圆台，所述压头上端设有下圆台，所述上圆台底部与下圆台顶部分别设有弹簧槽，所述弹簧上下端对应插入两个所述弹簧槽内。
8.根据权利要求2所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述压块顶部中部设有半球形的凹槽，所述压紧组件的压头下端呈半球形结构，并用于与所述凹槽配合。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述下吸盘上设有第一吸孔、以第一吸孔为中心分布的多个不同直径的环形吸槽、连接第一吸孔与多个环形吸槽的多个连接吸槽，所述第一吸孔另一端延伸到下吸盘的右端并连接有真空接头。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述上吸盘上设有第二吸孔、以第二吸孔为中心呈辐射状分布并与第二吸孔连通的条状吸槽，所述第二吸孔另一端延伸到上吸盘的右端并连接有真空接头。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，还包括压块，所述压块用于放置于所述上吸盘上方中部，所述压紧组件用于驱使压块下压联动上吸盘进行压紧动作。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述上吸盘左右端分别固接有拉手。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述竖向导向组件设有至少两个，竖向导向组件包括直线轴承和定位销，所述直线轴承与定位销之一固接于下吸盘上，另一固接于上吸盘上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述支臂包括固定臂、活动臂、插销，所述固定臂与所述底座固接，所述活动臂与所述固定臂铰接，活动臂上设有插孔，固定臂上设有可插入所述插孔的插块，所述插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述压紧组件包括：螺杆、旋钮、压头、弹簧，所述螺杆与所述活动臂上螺纹孔螺纹配合，所述旋钮固接于所述螺杆上...
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