一种新型翻转机构制造技术

本技术涉及芯片制造技术领域，且公开了一种新型翻转机构，包括真空气管一和压缩气管一，真空气管一，所述真空气管一的右侧底部固定连接有气管接头二，所述气管接头二固定连接于翻转轴的表面上，所述翻转轴的表面上固定连接有气管接头四，所述气管接头四的表面固定连接有真空气管二的一端，所述真空气管二的另一端固定连接有气管接头五的表面。该新型翻转机构，通过设置了压缩气管一、气管接头一、翻转轴、气管接头三、压缩气管二、气管接头六、固定块、活塞和密封圈二，只需要更改比例阀的参数，使得通过压缩气管一的气体流量变小即可更改控制压力，不需要更改机械位置不需要手动操作，控制简便精确。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片制造，具体为一种新型翻转机构。

技术介绍

1、芯片制造的翻转机构是指在芯片制造过程中用于翻转芯片的装置。芯片制造过程中，需要对芯片进行不同角度的加工、测量、检测等操作，因此需要将芯片进行翻转以改变其朝向。

2、现有翻转头，在拾取杆上，安置一个压缩弹簧，通过调节压缩弹簧的位置，来调节拾取芯片时的压力大小，但是该种方式在拾取芯片时需要根据不同芯片的要求调整压力大小，通过调节压缩弹簧的机械位置来控制压力存在精准度误差，并且每次都需要手动调整，操作繁琐。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种新型翻转机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型翻转机构，包括真空气管一和压缩气管一，真空气管一，所述真空气管一的右侧底部固定连接有气管接头二，所述气管接头二固定连接于翻转轴的表面上，所述翻转轴的表面上固定连接有气管接头四，所述气管接头四的表面固定连接有真空气管二的一端，所述真空气管二的另一端固定连接有气管接头五的表面，所述气管接头五固定连接于运动块的表面，所述运动块的底部固定连接有拾取杆；真空气管一的左侧连接真空电磁阀，通过控制真空电磁阀的通断来控制拾取杆有无真空来实现拾取功能，转动时，气管不会发生打结或者气管接头松掉导致漏气的问题；

3、压缩气管一，所述压缩气管一的右侧固定连接有气管接头一，所述气管接头一固定连接于翻转轴的表面，所述翻转轴的表面固定连接有气管接头三，所述气管接头三的表面固定连接有压缩气管二的一端，所述压缩气管二的另一端固定连接有气管接头六，所述气管接头六(固定连接于固定块的表面，所述固定块的内壁上开设有空腔，所述固定块的内壁空腔通过密封圈二活塞连接有活塞，通过压缩气管一的气体流量变小即可更改控制压力，不需要更改机械位置不需要手动操作，控制简便精确。

4、优选的，所述翻转轴的表面固定连接有密封圈一，密封圈一起到隔绝两路气体的作用。

5、优选的，所述翻转轴的表面固定连接有轴环，所述轴环的表面固定连接有轴承的内圈，所述轴承的外圈固定连接有电机支架的内壁，所述翻转轴通过锁紧螺母固定连接有联轴器的一端，所述联轴器的另一端固定连接有翻转电机的输出轴。

6、优选的，所述固定块的表面固定连接有导轨，所述导轨的表面滑动连接有运动块。

7、优选的，所述固定块的底部螺纹连接有调整块。

8、优选的，所述调整块的顶部固定连接有压缩弹簧的一端，所述压缩弹簧的另一端固定连接有运动块的底部，通过导轨，将固定块与运动块固定在一起，运动块会上下运动，通过调整块改变压缩弹簧力的大小来消除掉运动块、气管接头五、拾取杆自身重量的大小。

9、优选的，所述固定块固定与翻转轴的表面。

10、与现有技术相比，本技术提供了一种新型翻转机构，具备以下有益效果：

11、1、该新型翻转机构，通过设置了压缩气管一、气管接头一、翻转轴、气管接头三、压缩气管二、气管接头六、固定块、活塞和密封圈二，只需要更改比例阀的参数，使得通过压缩气管一的气体流量变小即可更改控制压力，不需要更改机械位置不需要手动操作，控制简便精确。

12、2、该新型翻转机构，通过设置了翻转电机、翻转轴，翻转电机工作时，带动整个翻转轴运动，因气管接头三、压缩气管二、气管接头六相对位置不变，气管接头四、真空气管二与气管接头五的相对位置不变，这样转动时，气管不会发生打结或者气管接头松掉导致漏气的问题。

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【技术保护点】

1.一种新型翻转机构，包括真空气管一(101)和压缩气管一(102)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述翻转轴(205)的表面固定连接有密封圈一(211)。

3.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述翻转轴(205)的表面固定连接有轴环(208)，所述轴环(208)的表面固定连接有轴承(207)的内圈，所述轴承(207)的外圈固定连接有电机支架(201)的内壁，所述翻转轴(205)通过锁紧螺母(209)固定连接有联轴器(210)的一端，所述联轴器(210)的另一端固定连接有翻转电机(103)的输出轴。

4.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述固定块(301)的表面固定连接有导轨(302)，所述导轨(302)的表面滑动连接有运动块(303)。

5.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述固定块(301)的底部螺纹连接有调整块(310)。

6.根据权利要求5所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述调整块(310)的顶部固定连接有压缩弹簧(309)的一端，所述压缩弹簧(309)的另一端固定连接有运动块(303)的底部。

7.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述固定块(301)固定与翻转轴(205)的表面。

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【技术特征摘要】

1.一种新型翻转机构，包括真空气管一(101)和压缩气管一(102)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述翻转轴(205)的表面固定连接有密封圈一(211)。

3.根据权利要求1所述的一种新型翻转机构，其特征在于：所述翻转轴(205)的表面固定连接有轴环(208)，所述轴环(208)的表面固定连接有轴承(207)的内圈，所述轴承(207)的外圈固定连接有电机支架(201)的内壁，所述翻转轴(205)通过锁紧螺母(209)固定连接有联轴器(210)的一端，所述联轴器(210)的另一端固定连接有翻转电机(103)的输出轴。

【专利技术属性】
技术研发人员：胡国俊，李海洋，奚衍东，
申请(专利权)人：翼龙半导体设备无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：

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