一种霍尔传感器位置测量机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种霍尔传感器位置测量机构，涉及半导体封装技术领域。该霍尔传感器位置测量机构，包括主体支架，所述主体支架的侧壁固定安装有固定架，所述固定架的右端固定安装有Z向运动机构，所述主体支架的内壁套接有导向轴，所述导向轴的底部固定安装有吸嘴，所述主体支架的外壁设置有测量结构，所述主体支架的外壁设置有保护机构。该霍尔传感器位置测量机构，通过设置有测量结构，配合导向轴与磁环，以使得霍尔传感器可以准确的感知到磁环运动所带来的磁场变化，进而可以准确、及时的测量出吸嘴与芯片之间的距离，从而方便判断是否抓取了芯片，保证对芯片抓取效果的同时，避免对芯片造成损坏。避免对芯片造成损坏。避免对芯片造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种霍尔传感器位置测量机构


[0001]本技术涉及半导体封装
，具体为一种霍尔传感器位置测量机构。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，半导体的应用也越来越广泛，而半导体在进行封装时，半导体封装设备需要先测量拾取头与芯片之间的相对距离，来保证拾取芯片过程中拾取机构不会压伤芯片，因此需要使用到一种位置测量机构。
[0003]现有的半导体封装设备的位置测量机构一般采用的是光纤传感反射测量，通过光纤反射到达接收器的时间测量计算拾取头与芯片之间的高度，但该测量方式测量精度有限，并且由于机械反应的时间会造成测量精度的误差，同时随着使用时间的增长，误差会逐步增大，最终影响到装置的整体工作效果；鉴于此，我们提出了一种霍尔传感器位置测量机构。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种霍尔传感器位置测量机构，解决了上述
技术介绍
提到的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种霍尔传感器位置测量机构，包括主体支架，所述主体支架的侧壁固定安装有固定架，所述固定架的右端固定安装有Z向运动机构，所述主体支架的内壁套接有导向轴，所述导向轴的底部固定安装有吸嘴，所述主体支架的外壁设置有测量结构，所述测量结构包括：
[0008]磁环固定座，所述导向轴贯穿有磁环固定座，所述磁环固定座的上表面固定安装有磁环；
[0009]霍尔传感器，所述主体支架的外壁固定安装有霍尔传感器。<br/>[0010]优选的，所述主体支架的外壁设置有保护机构，所述保护机构包括音圈电机，所述主体支架的上表面固定安装有音圈电机，所述主体支架的侧壁固定安装有法兰轴承，所述法兰轴承的内部转动安装有铰链销，所述铰链销的端部固定安装有电机连接杆，所述电机连接杆的端部转动安装有压轮，所述导向轴贯穿有衬套组件，且衬套组件与导向轴固定连接，所述导向轴的顶端螺纹连接有接头。
[0011]优选的，所述电机连接杆的右端固定连接在音圈电机的输出轴上。
[0012]优选的，所述主体支架的左端设置有U型定位套，并且所述导向轴贯穿该U型定位套与U型定位套滑动连接。
[0013]优选的，所述压轮与接头设置在同一平面内。
[0014]优选的，所述霍尔传感器设置在磁环的上方。
[0015](三)有益效果
[0016]本技术提供了一种霍尔传感器位置测量机构。具备以下有益效果：
[0017](1)、该霍尔传感器位置测量机构在使用时，通过设置有测量结构，配合导向轴与磁环，以使得霍尔传感器可以准确的感知到磁环运动所带来的磁场变化，进而可以准确、及时的测量出吸嘴与芯片之间的距离，从而方便判断是否抓取了芯片，保证对芯片抓取效果的同时，避免对芯片造成损坏。
[0018](2)、该霍尔传感器位置测量机构在使用时，通过设置有保护机构，配合电机连接杆与压轮，以使得装置在抓取芯片时可以根据实际的工作需求更改音圈电机的输出力大小，从而调整锥头向下挤压受到反向作用力的大小，避免反应压力过大而对芯片造成损坏，提高装置的适应能力。
附图说明
[0019]图1为本技术侧视结构示意图；
[0020]图2为本技术正视结构示意图。
[0021]图中：1、Z向运动机构；2、电机连接杆；3、音圈电机；4、主体支架；5、固定架；6、法兰轴承；7、铰链销；8、压轮；9、接头；10、衬套组件；11、导向轴；12、磁环；13、磁环固定座；14、吸嘴；16、霍尔传感器。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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图2，本技术提供一种霍尔传感器位置测量机构，包括主体支架4，主体支架4的上表面固定安装有音圈电机3，主体支架4的侧壁固定安装有固定架5，固定架5的右端固定安装有Z向运动机构1，主体支架4的侧壁固定安装有法兰轴承6，法兰轴承6的内部转动安装有铰链销7，铰链销7的端部固定安装有电机连接杆2，电机连接杆2的端部转动安装有压轮8，主体支架4的内壁套接有导向轴11，导向轴11贯穿有衬套组件10，且衬套组件10与导向轴11固定连接，导向轴11贯穿有磁环固定座13，且磁环固定座13与导向轴11固定连接，磁环固定座13的上表面固定安装有磁环12，导向轴11的底部固定安装有吸嘴14，导向轴11的顶端螺纹连接有接头9，主体支架4的外壁固定安装有霍尔传感器16。
[0024]在本技术的一种实施例中，Z向运动机构1固定安装在外部的半导体封装设备的传动部件上，通过外部传动部件带动Z向运动机构1进行运动，从而配合固定架5以及主体支架4，以带动整个设备进行运动，从而使得Z向运动机构1可以对装置整体提供支撑安装效果，另外，电机连接杆2的右端固定连接在音圈电机3的输出轴上，并且音圈电机3是一种体积小、响应快的直接驱动电机，其可以根据实际需求提供直线上的推力，例如公开号为CN217216296U的中国专利，公开了一种音圈电机，该装置详细的介绍了音圈电机3的工作原理和使用方式，其作为本领域内的现有公开技术手段，其公开的使用方式以及工作原理与本方案中的音圈电机3完全相同，故在此不多赘述，进一步的，主体支架4的左端设置有U型定位套，并且导向轴11贯穿该U型定位套与U型定位套滑动连接，以对导向轴11的运动起到
定位和限制的效果，使其始终保持竖直方向上的运动方向，同时，压轮8与接头9设置在同一平面内，以使得压轮8可以更好的与衬套组件10进行传动。
[0025]在本技术的实施例中，吸嘴14通过顶丝固定在导向轴11的底端，以方便对吸嘴14进行拆卸维护以及更换，进一步的，芯片放置在外部的供料机构上，并且芯片保持相对水平的状态，同时，吸嘴14的在抓取状态时，供料机构单次输送的芯片恰好运动至吸嘴14的下方，以供给吸嘴对芯片进行抓取，另外，霍尔传感器16设置在磁环12的上方，并且霍尔传感器16是一种现有的成熟技术，其是利用霍尔效应进行设计的一类传感器，其通过感知磁场的变化将信号传输至外部的信息处理设备，例如公开号为CN206832837U的中国专利，公开了一种霍尔传感器，该装置详细的介绍了霍尔传感器16的工作原理以及使用方式，其作为本领域内的现有公开技术手段，其使用的方式以及工作的效果与本方案中的霍尔传感器16相同，故在此不作赘述。
[0026]在本技术中，使用时，通过控制音圈电机3，以使其一个向上的推力，并配合杠杆设置的电机连接杆2与压轮8，以保持对衬套组件10向下的压力，此时通过启动外部的传动设备，以控制Z向运动机构1向下运动，而当吸嘴14与芯片相接触后，由于芯片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种霍尔传感器位置测量机构，包括主体支架(4)，所述主体支架(4)的侧壁固定安装有固定架(5)，所述固定架(5)的右端固定安装有Z向运动机构(1)，所述主体支架(4)的内壁套接有导向轴(11)，所述导向轴(11)的底部固定安装有吸嘴(14)，其特征在于：所述主体支架(4)的外壁设置有测量结构，所述测量结构包括：磁环固定座(13)，所述导向轴(11)贯穿有磁环固定座(13)，所述磁环固定座(13)的上表面固定安装有磁环(12)；霍尔传感器(16)，所述主体支架(4)的外壁固定安装有霍尔传感器(16)。2.根据权利要求1所述的一种霍尔传感器位置测量机构，其特征在于：所述主体支架(4)的外壁设置有保护机构，所述保护机构包括音圈电机(3)，所述主体支架(4)的上表面固定安装有音圈电机(3)，所述主体支架(4)的侧壁固定安装有法兰轴承(6)，所述法兰轴承(6)的内部转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡国俊，奚衍东，李海洋，
申请(专利权)人：翼龙半导体设备无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：