一种适用于8英寸晶圆清洗夹具制造技术

一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，包括夹具内支撑板，所述夹具内支撑板的中部设有贯穿孔，所述夹具内支撑板外周圆周围设有挡板，位于上方的所述挡板围设成用于容纳晶圆的容纳腔，所述夹具内支撑板的上表面等比例排布有多个用于支撑晶圆的螺柱以及多个用于供清洗液流通的通孔，本申请有益效果为：首先适用于芯片晶圆的清洗工序和烘烤工序；其次夹具主体使用SUS304材质，适用于多种不同的清洗溶液，不会与之发生反应；再者内部设计有8个材质为尼龙的螺柱支撑，芯片作用面与夹具之间无接触，保护芯片；最后夹具设计合理，芯片作用面与夹具之间有间隙，震洗过程中清洗液可无缝地清洗晶圆的每个面。晶圆的每个面。晶圆的每个面。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于8英寸晶圆清洗夹具


[0001]本技术涉及光通芯片领域，尤其涉及一种适用于8英寸晶圆清洗夹具。

技术介绍

[0002]目前8英寸晶圆的清洗方式为单张芯片用无尘纸沾酒精擦洗，工作效率较低且清洗不彻底。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术方案提供一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，本申请可以将整张8英寸晶圆放置到夹具对应的位置，连同夹具一同放置到灌满清洗溶液的超声波清洗机台，清洗完成后可直接放置到烘干机台作烘干工序，不需要频繁更换夹具。
[0004]为实现上述目的，本技术方案如下：
[0005]一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，包括夹具内支撑板，所述夹具内支撑板的中部设有贯穿孔，所述夹具内支撑板外周圆周围设有挡板，位于上方的所述挡板围设成用于容纳晶圆的容纳腔，所述夹具内支撑板的上表面等比例排布有多个用于支撑晶圆的螺柱以及多个用于供清洗液流通的通孔。
[0006]在一些实施例中，上方的所述挡板对称设有第一缺口。
[0007]在一些实施例中，下方的所述挡板对称设有第二缺口。
[0008]在一些实施例中，所述夹具内支撑板和挡板的材质为SUS304。
[0009]在一些实施例中，所述螺柱为尼龙材质。
[0010]在一些实施例中，还包括用于容纳该清洗夹具的不锈钢水槽，所述不锈钢水槽两侧延伸有提手，所述不锈钢水槽用于放置在超声波机台内。
[0011]本申请有益效果为：
[0012]1.适用于芯片晶圆的清洗工序和烘烤工序；
[0013]2.夹具主体使用SUS304材质，适用于多种不同的清洗溶液，不会与之发生反应；
[0014]3.内部设计有8个材质为尼龙的螺柱支撑，芯片作用面与夹具之间无接触，保护芯片；
[0015]4.夹具设计合理，芯片作用面与夹具之间有间隙，震洗过程中清洗液可无缝地清洗晶圆的每个面。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0017]图1是本技术实施例的结构示意图一；
[0018]图2是本技术实施例的结构示意图二；
[0019]图3是本技术实施例的整体结构示意图。
具体实施方式
[0020]为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]请参照图1
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3所示，一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，包括夹具内支撑板1，所述夹具内支撑板1的中部设有贯穿孔2，所述夹具内支撑板1外周圆周围设有挡板3，位于上方的所述挡板3围设成用于容纳晶圆4的容纳腔，所述夹具内支撑板1的上表面等比例排布有八个用于支撑晶圆的螺柱5以及八个用于供清洗液流通的通孔6；
[0022]具体的说，首先将晶圆放置在容纳腔内，然后将整个清洗夹具以及晶圆一起放入不锈钢水槽，最后放入超声波机台内，由于螺柱将晶圆撑起，不仅可以保护晶圆，而且还有足够的空隙供清洗液穿过，从而可以清洗晶圆的每个位置，同时清洗液亦能通过通孔进一步扩大与晶圆接触，这样在震洗过程中，清洗液通过通孔形成有一定压力的水柱冲击在晶圆表面上，最后无需更换夹具即可将整个夹具移至烘干工序处，中间不需要频繁更换夹具，防止中间程序受到污染。
[0023]在本实施例中，上方的所述挡板3对称设有第一缺口7，下方的所述挡板3对称设有第二缺口8，通过对称设计的缺口使得清洗液可从多个空位处进入，方便清洗晶圆的下表面。
[0024]在本实施例中，所述夹具内支撑板1和挡板3的材质为SUS304，所述螺柱5为尼龙材质，适用于多种不同的清洗溶液，不会与之发生反应。
[0025]在本实施例中，还包括用于容纳该清洗夹具的不锈钢水槽9，所述不锈钢水槽9两侧延伸有提手10，所述不锈钢水槽9用于放置在超声波机台11内，方便用户提取该夹具。
[0026]以上所述仅为本申请的较佳实施例，并非用来限定本申请实施的范围，其他凡其原理和基本结构与本申请相同或近似的，均在本申请的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于，包括夹具内支撑板(1)，所述夹具内支撑板(1)的中部设有贯穿孔(2)，所述夹具内支撑板(1)外周圆周围设有挡板(3)，位于上方的所述挡板(3)围设成用于容纳晶圆(4)的容纳腔，所述夹具内支撑板(1)的上表面等比例排布有多个用于支撑晶圆的螺柱(5)以及多个用于供清洗液流通的通孔(6)。2.根据权利要求1所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于：上方的所述挡板(3)对称设有第一缺口(7)。3.根据权利要求2所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具...

【专利技术属性】
技术研发人员：何褀昌，吴泳杰，
申请(专利权)人：安捷芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：