一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具制造技术

一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座上的夹具片，所述夹具片的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片的吸附孔，所述夹具片内部设有与所述吸附孔连通的吸附通道，所述吸附通道的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头，本申请有益效果为：首先适用于芯片晶圆切割成Bar条状后的对光测试工序；其次与工件接触的面粗糙度小，保证芯片Bar条与夹具的吸附力足够强；再者底部有两个反光块，使得CCD成像更清晰，更容易观测到芯片的波导；最后气道设计合理，气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。吸附时工件稳定无晃动。吸附时工件稳定无晃动。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具


[0001]本技术涉及光通芯片领域，尤其涉及一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具。

技术介绍

[0002]现有的贴盖板夹具结构单一，不能适用不同长度尺寸的芯片Bar条，如此一来夹具使用过程中非常受限。

技术实现思路

[0003]针对芯片对光工序工件固定问题，通过结合现有芯片Bar条固定工艺，设计一套固定夹具，针对芯片Bar条对光过程中位置精度的管控，同时左右两侧的玻璃镜片可以反射光线，使得摄像头更容易观看到芯片。
[0004]为实现上述目的，本技术方案如下：
[0005]一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座上的夹具片，所述夹具片的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片的吸附孔，所述夹具片内部设有与所述吸附孔连通的吸附通道，所述吸附通道的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头。
[0006]在一些实施例中，位于所述夹具片边缘侧的吸附孔通过所述吸附通道以及与其对应的所述快速接头用于吸附较短的芯片；
[0007]位于远离所述夹具片边缘侧的吸附孔通过所述吸附通道以及与其对应的所述快速接头用于吸附较长的芯片。
[0008]在一些实施例中，所述吸附通道的上端设有凹腔。
[0009]在一些实施例中，所述夹具片两侧位于下方设有可相对其转动的反光片，其用于调节反光强度。
[0010]在一些实施例中，所述夹具片两侧还设有左靠近块以及右靠近块，所述左靠近块通过滑轨滑块结构配合实现滑动，所述左靠近块的上表面设有固定板以及位于所述固定板一侧的滑动板，所述滑动板设有驱动气缸，所述滑动板与固定板之间的间距根据芯片的长短来决定。
[0011]在一些实施例中，所述底座与夹具片之间还设有垫高块，所述底座一端设有与所述垫高块凹凸配合的定位块，所述底座一侧设有用于限位所述垫高块的限位柱，所述底座另一端设有用于卡紧所述垫高块的卡紧机构。
[0012]本申请有益效果为：
[0013]1.适用于芯片晶圆切割成Bar条状后的对光测试工序；
[0014]2.与工件接触的面粗糙度小，保证芯片Bar条与夹具的吸附力足够强；
[0015]3.底部有两个反光块，使得CCD成像更清晰，更容易观测到芯片的波导；4.气道设计合理，气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0017]图1是本技术实施例的结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例的截面结构示意图；
[0019]图3是本技术实施例的承载芯片的结构示意图。
具体实施方式
[0020]为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]请参照图1
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3所示，一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座1上的夹具片2，所述夹具片2的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片3的吸附孔4，所述夹具片2内部设有与所述吸附孔4连通的吸附通道5，所述吸附通道5的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头6；
[0022]结合图1与图2参照，将芯片放置在吸附孔处，通过快速接头以及吸附通道的连通，以使吸附装置将芯片牢牢地吸附在吸附孔位置处，由于在夹具片上端延其长度方向设置有多个吸附孔，因此可以根据芯片的长度选择性使用多少个吸附孔，如此一来本设计吸附能力强，最后通过上方的CDD成像装置清洗观察到芯片的波导，通过夹具的真空吸附孔将工件固定，避免了操作中因盖板位移而对芯片造成损伤。
[0023]作为优选的实施例，位于所述夹具片2边缘侧的吸附孔4通过所述吸附通道5以及与其对应的所述快速接头6用于吸附较短的芯片3，参照图2，靠近边缘处有两个吸附孔，并且共用一条吸附通道以及一个快速接头，在吸附短芯片时，如图3所示，将芯片附在两个吸附孔上进行吸附固定；
[0024]位于远离所述夹具片2边缘侧的吸附孔4通过所述吸附通道5以及与其对应的所述快速接头6用于吸附较长的芯片3，在上述吸附孔的一侧亦设置了三个吸附孔，其共用一条吸附通道以及一个快速接头，若吸附较长的芯片时，同时覆盖在多个吸附孔上，并开启两个吸附装置进行吸附。
[0025]在本实施例中，所述吸附通道5的上端设有凹腔7，在吸附时，整个凹腔处于负压状态，加大了吸附面积，使得芯片大面积被吸附，从而气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。
[0026]在本实施例中，所述夹具片2两侧位于下方设有可相对其转动的反光片8，其用于调节反光强度，反光片为玻璃片，用于反射光线至CCD上，针对芯片Bar条对光过程中位置精度的管控，使得摄像头更容易更清洗观看到芯片，反光片通过转轴转动连接在夹具片的两侧。
[0027]在本实施例中，所述夹具片2两侧还设有左靠近块9以及右靠近块10，所述左靠近块9通过滑轨滑块结构配合实现滑动，所述左靠近块9的上表面设有固定板11以及位于所述固定板11一侧的滑动板12，所述滑动板12设有驱动气缸13，所述滑动板12与固定板11之间的间距根据芯片3的长短来决定；
[0028]具体的说，通过外部的驱动力以及滑轨滑块的配合下，两个靠近块可以远离或者靠近夹具片，驱动气缸用于驱动滑动板靠近或远离固定板，使得滑动板与固定板之间的间距会发生变化，两个部件分别用来固定光的输入和输出，以使得光通过芯片时，在CCD成像能观察到芯片的波导。
[0029]在本实施例中，所述底座1与夹具片2之间还设有垫高块14，所述底座1一端设有与所述垫高块14凹凸配合的定位块15，所述底座1一侧设有用于限位所述垫高块14的限位柱16，所述底座1另一端设有用于卡紧所述垫高块14的卡紧机构17，用于架高夹具片，并且可以快速定位装配垫高块。
[0030]以上所述仅为本申请的较佳实施例，并非用来限定本申请实施的范围，其他凡其原理和基本结构与本申请相同或近似的，均在本申请的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，其特征在于，包括竖直设置在底座(1)上的夹具片(2)，所述夹具片(2)的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片(3)的吸附孔(4)，所述夹具片(2)内部设有与所述吸附孔(4)连通的吸附通道(5)，所述吸附通道(5)的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头(6)。2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，其特征在于：位于所述夹具片(2)边缘侧的吸附孔(4)通过所述吸附通道(5)以及与其对应的所述快速接头(6)用于吸附较短的芯片(3)；位于远离所述夹具片(2)边缘侧的吸附孔(4)通过所述吸附通道(5)以及与其对应的所述快速接头(6)用于吸附较长的芯片(3)。3.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，其特征在于：所述吸附通道(5)的上端设有凹腔(7)。4.根据权利要求3所述的一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：何褀昌，李开心，
申请(专利权)人：安捷芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：