【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备，尤其是涉及半导体物料搬送系统中的物料搬送传输设备。
技术介绍
1、在半导体制造技术高度发达的今天，300mm（12英寸）的半导体工厂已经成为全球半导体行业的主流。由于300mm半导体生产线的巨额投入，人们不得不尽可能地挖掘300mm工厂的生产效率，以期得到更大的晶圆产出。一个功能强大且性能稳定的amhs系统在300mm工厂里扮演了一个非常重要的角色，amhs系统不仅可以有效地利用宝贵的洁净室的生产空间并且还可以提高生产设备的利用率，缩短在制品wip的cycle time，所以在很多的300m的半导体工厂里，amhs都被视为可以快速提升产能，提高生产效率的尖兵利器。而amhs系统中的核心部件：oht自动物料搬送小车，为整个系统中物料流动的主要搬运者。
2、如图1所示，当oht在进行物料搬运时，由于地面机台台面和存储仓位常设置于行进轨道的两侧，故而当oht在装载或者卸载foup时，需要悬臂部分先将foup水平移出车体，直至机台缓存台面正上方或者存储仓位的正上方，才会将料盒纵向抓取或者释放。由于oht在进行悬臂外伸时，车体的重心会向悬臂外伸的方向进行偏移，故而车体会向伸展的方向进行倾斜，造成车身的失衡；在悬臂收回阶段，oht重心恢复瞬间会对轨道造成一个较大的冲击力，在长时间的冲击累计下轨道的平面度无法得到有效的保证。
3、虽现有技术针对此问题做出了相关设计，如申请号为201510235972.3的专利技术专利，此技术特征为在轨道之间安装一对能够相互靠近和相互远离的接触体，通过切换机构驱
4、虽然此设计能够有效的避免车身倾斜的问题，但是该设计方案由于是对一对水平布置的两条轨道之间进行抵触，会造成两条轨道之间的距离发生变化，使得空隙量增加，同时对于吊装轨道的安装设备垂直度也会发生影响，改变吊装暗转设备的受力方向发生改变，增加轨道掉落的风险；并且由于此设计需要对轨道的内侧面进行抵接，则需要接触体的接触面能够完好的配合轨道内侧面，通用性受到了极大的限制，且此设计还需要专门设计一套驱动机构对接触体进行驱动控制，这无疑是增加了物料搬送车的控制难度。
5、如申请号为2022103849310专利所公开的技术方案，虽然该方案为从底部对轨道进行支撑，但是该方案依旧需要为其专门设计一套驱动机构进行单独控制。
6、有鉴于此，现需要一种更加合理且高效的设计方案来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述实际情况而做出的，目的在于提供一种能够稳定运行于空中轨道上的自动物料搬送车，以解决现有技术中存在的当搬送车悬臂部分进行伸展收回时车身的重心偏移而造成的车身不稳定以及对轨道产生冲击的技术问题，并且现有的平衡技术都需要单独配备一套驱动机构机进行控制所增加的整机控制难度。
2、第一个方面，本专利技术实施例提供了一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，包括：悬挂架设于工厂车间天花板处的行进轨道，所述行进轨道按照物料搬送路径进行设置；所述行进轨道踏面上架设有行进部，所述行进部可沿所述行进轨道路径方向进行移动；所述行进轨道下方设置有可容纳物料的主体部，所述主体部通过连接部被吊挂并被支撑于行进部底部；所述主体部内腔滑动安装有滑出操作机构，所述滑出操作机构具备第一位置和第二位置；所述滑出操作机构的下方转动安装有角度调节部，所述角度调节部的下端可拆卸安装有对物料进行升降操作的提升部，所述提升部活动端连接有对移栽物料进行抓放的抓取部；
3、所述滑出操作机构通过驱动组件驱动带动，可在第一位置和第二位置之间进行切换，带动所述角度调节部、提升部、抓取部和物料共同向行进部正下方的宽度位置沿左右方向进行移动；
4、所述主体部和所述行进部之间设置有平衡保持部，且所述平衡保持部位于所述行进轨道的下方，所述平衡保持部被可被拆卸安装于所述主体部顶部，所述平衡保持部与所述驱动组件传动连接，使得所述平衡保持部的保持端在所述滑出操作机构在第一位置和第二位置之间进行切换时，所述平衡保持部保持端可靠近或者远离所述行进轨道下端面。
5、进一步地，所述平衡保持部包括与所述主体部进行连接的安装底座，所述安装底座上设置有升降托板、驱动杆、第一驱动滑块、第二驱动滑块和连杆组件，所述驱动杆的两端分别通过安装座转动安装于所述安装底座上；所述驱动杆被设置为第一区域、第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第一区域的外侧套设有带动所述驱动杆转动的驱动带轮，所述驱动带轮通过传动皮带与所述传动连接；所述第二区域和所述第三区域的外侧设置有旋向相反的螺纹，所述第一驱动滑块和第二驱动滑块上分别开设有与所述第二区域和所述第三区域外侧相配合的螺纹孔，当所述驱动杆转动时所述第一驱动滑块和第二驱动滑块能够相互靠近或远离；所述升降托板平行于所述安装底座设置，且所述升降托板位于所述第一驱动滑块上方；至少两组连杆组以所述驱动带轮为中心镜像设置，一组连杆组的一端与所述驱动滑块铰接，另一端与所述升降托板铰接，同理另一组导杆组的一端与第二驱动滑块铰接，另一端与所述升降托板铰接，当所述第一驱动滑块和所述第二驱动滑块相互靠近或远离时，一对连杆组能推动所述升降托板靠近或远离所述行进轨道下端面。
6、进一步的，所述连杆组件包括第一顶升撑杆和第二顶升撑杆，所述第一顶升撑杆的一端与所述驱动滑块铰接，另一端和所述第二顶升撑杆的一端铰接，所述第二顶升撑杆远离所述第一顶升撑杆一端与所述升降托板铰接。
7、进一步地，所述第一顶升撑杆长度小于所述第二顶升撑杆长度。
8、进一步的，所述第二区域和所述第三区域均具备靠近所述驱动带轮的点和远离上所述驱动带轮的点。
9、进一步地，所述第一区域、所述第四区域和所述第五区域的外表面均为光滑表面。
10、进一步的，所述安装底座的两侧均安装有立板，且所述立板上开设有滑动槽，所述第一驱动滑块和所述第二驱动滑块的两侧均设置有导向杆，所述导向杆的一端与所述驱动滑块固定连接，另一端滑动安装在所述滑动槽内；所述第一顶升撑杆一端转动安装于所述导向杆外侧。
11、进一步地，所述滑动槽为贯穿式开设。
12、进一步的，一对所述立板相向面上开设有滚动槽，且所述滑动槽和所述为同轴设置，所述滚动槽开设深度小于上所述滑动槽。
13、进一步地，所述导向杆远离滑块的一端套设有滚动轴承，且所述滚动轴承位于所述滚动槽内；
14、本专利技术实施例至少具有以下技术效果：该设计的自动物料输送车在其主体部顶部设置平衡保持部，该平衡保持部能够随滑出操作机构进行同步运作，即当滑出操作机构滑出主体时，平衡保持部能够随同纵向举升直至于行进轨道的下底面进行抵接，在行走部和平衡保持部的双向抵接夹紧作用下，能够维持车身整体的平稳性，避免车身发生倾斜的危险状态。同时本设计中的平衡保持部的驱动源和滑出操作机构的驱动源共用，增加二者之间的运动联动性，较少运动控制量；本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，包括：悬挂架设于工厂车间天花板处的行进轨道，所述行进轨道按照物料搬送路径进行设置；所述行进轨道踏面上架设有行进部，所述行进部可沿所述行进轨道路径方向进行移动；所述行进轨道下方设置有可容纳物料的主体部，所述主体部通过连接部被吊挂并被支撑于行进部底部；其特征在于：所述主体部内腔滑动安装有滑出操作机构，所述滑出操作机构具备第一位置和第二位置；所述滑出操作机构的下方转动安装有角度调节部，所述角度调节部的下端可拆卸安装有对物料进行升降操作的提升部，所述提升部活动端连接有对移栽物料进行抓放的抓取部；
2.根据权利要求1所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述平衡保持部包括与所述主体部进行连接的安装底座，所述安装底座上设置有升降托板、驱动杆、第一驱动滑块、第二驱动滑块和连杆组件，所述驱动杆的两端分别通过安装座转动安装于所述安装底座上；所述驱动杆被设置为第一区域、第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第一区域的外侧套设有带动所述驱动杆转动的驱动带轮，所述驱动带轮通过传动皮带与所述传动连接；所述第二区域和所述第三区域的外侧设置
3.根据权利要求2所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述连杆组件包括第一顶升撑杆和第二顶升撑杆，所述第一顶升撑杆的一端与所述驱动滑块铰接，另一端和所述第二顶升撑杆的一端铰接，所述第二顶升撑杆远离所述第一顶升撑杆一端与所述升降托板铰接。
4.根据权利要求3所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述第一顶升撑杆长度小于所述第二顶升撑杆长度。
5.根据权利要求2所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述第二区域和所述第三区域均具备靠近所述驱动带轮的点和远离上所述驱动带轮的点。
6.根据权利要求2所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述第一区域、所述第四区域和所述第五区域的外表面均为光滑表面。
7.根据权利要求3所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述安装底座的两侧均安装有立板，且所述立板上开设有滑动槽，所述第一驱动滑块和所述第二驱动滑块的两侧均设置有导向杆，所述导向杆的一端与所述驱动滑块固定连接，另一端滑动安装在所述滑动槽内；所述第一顶升撑杆一端转动安装于所述导向杆外侧。
8.根据权利要求7所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述滑动槽为贯穿式开设。
9.根据权利要求8所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：一对所述立板相向面上开设有滚动槽，且所述滑动槽和所述为同轴设置，所述滚动槽开设深度小于上所述滑动槽。
10.根据权利要求9所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述导向杆远离滑块的一端套设有滚动轴承，且所述滚动轴承位于所述滚动槽内。
...【技术特征摘要】
1.一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，包括：悬挂架设于工厂车间天花板处的行进轨道，所述行进轨道按照物料搬送路径进行设置；所述行进轨道踏面上架设有行进部，所述行进部可沿所述行进轨道路径方向进行移动；所述行进轨道下方设置有可容纳物料的主体部，所述主体部通过连接部被吊挂并被支撑于行进部底部；其特征在于：所述主体部内腔滑动安装有滑出操作机构，所述滑出操作机构具备第一位置和第二位置；所述滑出操作机构的下方转动安装有角度调节部，所述角度调节部的下端可拆卸安装有对物料进行升降操作的提升部，所述提升部活动端连接有对移栽物料进行抓放的抓取部；
2.根据权利要求1所述的一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，其特征在于：所述平衡保持部包括与所述主体部进行连接的安装底座，所述安装底座上设置有升降托板、驱动杆、第一驱动滑块、第二驱动滑块和连杆组件，所述驱动杆的两端分别通过安装座转动安装于所述安装底座上；所述驱动杆被设置为第一区域、第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第一区域的外侧套设有带动所述驱动杆转动的驱动带轮，所述驱动带轮通过传动皮带与所述传动连接；所述第二区域和所述第三区域的外侧设置有旋向相反的螺纹，所述第一驱动滑块和第二驱动滑块上分别开设有与所述第二区域和所述第三区域外侧相配合的螺纹孔，当所述驱动杆转动时所述第一驱动滑块和第二驱动滑块能够相互靠近或远离；所述升降托板平行于所述安装底座设置，且所述升降托板位于所述第一驱动滑块上方；至少两组连杆组以所述驱动带轮为中心镜像设置，一组连杆组的一端与所述驱动滑块铰接，另一端与所述升降托板铰接，同理另一组导杆组的一端与第二驱动滑块铰接，另一端与所述升降托板铰接，当所述第一驱动滑块和所述第二驱动滑块相互靠近或远离时，一对连杆组能推动所述升降托...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：华芯嘉兴智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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