【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体输送设备，尤其是涉及一种半导体生产制造车间用的空中物料搬送保护装置。
技术介绍
1、为了在半导体生产制造车间提供稳定、高效的物料搬送能力，自动物料搬运系统（automatic material handling system，简称amhs）得到应用。
2、amhs可替代人力进行物料搬运，能大幅度减少生产线作业人力；同时，amhs将大幅消除人工操作错误，提升环境洁净度，降低搬运过程中的振动，对提高产品良率有很大的帮助。这些特性使得amhs在半导体制造过程中可以充分体现其价值，因此，amhs在半导体制造工厂有着广泛的应用，同时被应用在面板、太阳能等泛半导体行业。
3、在amhs系统中，物料搬运天车（overhead hoist transport，简称oht）为主要的输送主体，负责携带物料在各个工站、储位之间进行移栽。物料搬运天车在轨道引导下沿着预定轨道行走，物料移载台位于轨道下方，并对应于预定轨道设置。物料搬运天车在移动到对应于物料移载台的位置处，使工件容器升降移动，与物料移载台之间交接工件容器。
4、在对物料运输过程中，需要oht将盛放物料的foup提升到车体内随车运输，由于在轨道上行驶的速度最高可达5m/s，满载300mm晶圆片的foup重量较大，故而在oht高速运行过程时，foup的稳定性在惯性的影响下无法得到有效的保障。
5、日本公开专利2015-131702号公报公开了一种解决方案，其工作原理为，在oht车体的底部设置一限位结构，对运输中的foup进行限
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种空中物料搬送保护装置，以解决了现有技术中存在的物料版送车底部的承载机构无法满足对于薄体天车侧壁使用的技术问题。
2、第一个方面，一种空中物料搬送保护装置，包括行进部和主体部，所述行进部带动所述主体部在行进轨道上行驶，所述主体部为门型结构，其顶部与所述行进部进行连接，所述主体部前后两保护体底部均设置有保护部；
3、所述保护部包括与保护体底部相连接的安装板，所述安装板沿所述主体部宽度方进行安装，所述安装板上设置有驱动组件；
4、所述驱动组件的输出端分别设置有第一保护部和第二保护部，且所述第一保护部和第二保护部垂直设置；
5、所述第一保护部与物料接触面上转动设置有第三保护部；
6、所述驱动组件可提调节所述第一保护部、第二保护部和第三保护部位置在第一位置和和第二位置之间进行切换；
7、所述第一位置位于所述保护体外侧，所述第二位置位于所述保护体内侧。
8、进一步地，所述驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元，所述第一驱动单元与所述第二驱动单元和第三驱动单元传动连接，所述第二驱动单元与所述第一保护部传动连接，所述第三驱动单元与所述第二保护部传动连接。
9、进一步地，所述第二驱动单元通过传动组件与所述第一保护部传动连接；所述传动组件为平行四边形连杆结构，包括与第二驱动单元传动连接的第一摇臂，所述第一摇臂上安装有一组第一保护部，所述第一摇臂一端与所述安装板铰接另一端铰接有一横梁，所述横梁远离所述第一摇臂一端铰接有第二摇臂，所述第二摇臂另一端安装有另一组第一保护部，两组所述第一保护部沿所述保护体宽度方向设置，所述第一摇臂通过横梁可带动所述第二摇臂同步转动，驱动两组所述第一保护部在所述第一位置和所述第二位置之间进行转换。
10、进一步地，所述第一驱动单元包括驱动电机，所述驱动电机设置于所述安装板底部，其输出端通过联轴器连接有一传动轴，所述传动轴通过安装座转动安装于所述安装板底部；
11、所述第二驱动单元包括第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第一锥齿轮套设于所述第一传动轴上，所述第二锥齿轮固定安装于所述第一摇臂上，且所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮相啮合，所述第二锥齿轮轴线于所述传动轴轴线垂直；
12、所述第三驱动单元包括套设于所述第一传动轴上的第一传动带轮，所述安装板的上方安装有支架，所述支架上转动安装有一连接杆，所述连接杆的一端套设有第二皮带轮，另一端安装有第二保护部，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮通过传动皮带传动连接。
13、进一步地，所述第一保护部为阶梯型挡板，所述第一保护部的一端于所述第二锥齿轮的底部和所述第一摇臂固定连接。
14、进一步地，所述安装座底部为一弧形结构；所述第三保护部包括立板和复位弹簧，所述立板垂直于所述第一保护部承载面设置，且所述立板底端于所述第一保护部铰接，所述复位弹簧安装于所述立板和所述第一保护部铰接处，所述立板绕所述第二锥齿轮旋转时可被所述安装座底部引导下压于所述第一保护部承载面相贴合；
15、进一步地，所述复位弹簧为扭力弹簧，且所述复位弹簧初始角度不小于九十度。
16、进一步地，所述立板面向所述物料面开设有一凹槽，所述凹槽内安装有一弹片，所述弹片面向物料侧拱起，所述第一保护部承载面上开始设有用于避让所述弹片的避让槽。
17、进一步地，所述第二保护为平面挡板，所述第二保护部于所述连接杆固定连接。
18、本专利技术实施例至少具有以下技术效果：
19、1、本式设计通过第一驱动组件带动第二驱动组件和第三驱动组件同时进行工作，同时第二驱动组件为一组锥形齿轮组，将第一驱动组件的传动方向进行更改，保障装置在运行时个方向上运动的连贯协调性能，使得物料底部和两侧能够同时进行保护；
20、2、本设计在第一保护部的保护面上铰接有第三保护部，当第一保护部向保护体内旋转到达第二位置时，第三保护部与安装座的底部逐渐接触下压，与第一保护部进行贴合收纳；当第一保护部向外旋出到达第一位置时，第三保护部的下压力逐渐消失，直至第三保护部恢复保护状态，极大的减小了保护部整体收纳的空间；
21、3、 本设计在第三保护部的保护面上设置有弹片，由于第三保护部为车体行驶方向上设计，故而在车体运行时第三保护部上的弹片能对物料行进方向上进行双向夹持，当在物料出现行进方向上的惯性摆动时弹片会发生形变，对物料的摆动进行缓冲，减小摆动量，增加物料运输的稳定性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种空中物料搬送保护装置，包括行进部和主体部，所述行进部带动所述主体部在行进轨道上行驶，其特征在于：所述主体部为门型结构，其顶部与所述行进部进行连接，所述主体部前后两侧的保护体底部均设置有保护部；
2.根据权利要求1所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元，所述第一驱动单元与所述第二驱动单元和第三驱动单元传动连接，所述第二驱动单元与所述第一保护部传动连接，所述第三驱动单元与所述第二保护部传动连接。
3.根据权利要求2所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述第二驱动单元通过传动组件与所述第一保护部传动连接；所述传动组件为平行四边形连杆结构，包括与第二驱动单元传动连接的第一摇臂，所述第一摇臂上安装有所述第一保护部，所述第一摇臂一端与所述安装板铰接另一端铰接有一横梁，所述横梁远离所述第一摇臂一端铰接有第二摇臂，所述第二摇臂另一端安装有另一组第一保护部，两组所述第一保护部沿所述保护体宽度方向设置，所述第一摇臂通过横梁可带动所述第二摇臂同步转动，驱动两组所述第一保护部在所述第一位置和所述第二位置
4.根据权利要求3所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述第一驱动单元包括驱动电机，所述驱动电机设置于所述安装板底部，其输出端通过联轴器连接有一传动轴，所述传动轴通过安装座转动安装于所述安装板底部；
5.根据权利要求4所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述第一保护部为阶梯型挡板，所述第一保护部的一端于所述第二锥齿轮的底部和所述第一摇臂固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述安装座的底部为一弧形结构；所述第三保护部包括立板和复位弹簧，所述立板垂直于所述第一保护部承载面设置，且所述立板底端于所述第一保护部铰接，所述复位弹簧安装于所述立板和所述第一保护部铰接处，所述立板绕所述第二锥齿轮旋转时可被所述安装座底部引导下压于所述第一保护部承载面相贴合。
7.根据权利要求6所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述复位弹簧为扭力弹簧，且所述复位弹簧初始角度不小于九十度。
8.根据权利要求7所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述立板面向所述物料面开设有一凹槽，所述凹槽内安装有一弹片，所述弹片面向所述物料侧拱起，所述第一保护部承载面上开始设有用于避让所述弹片的避让槽。
9.根据权利要求5所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述第二保护部为平面挡板，所述第二保护部于所述连接杆固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种空中物料搬送保护装置，包括行进部和主体部，所述行进部带动所述主体部在行进轨道上行驶，其特征在于：所述主体部为门型结构，其顶部与所述行进部进行连接，所述主体部前后两侧的保护体底部均设置有保护部；
2.根据权利要求1所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元，所述第一驱动单元与所述第二驱动单元和第三驱动单元传动连接，所述第二驱动单元与所述第一保护部传动连接，所述第三驱动单元与所述第二保护部传动连接。
3.根据权利要求2所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述第二驱动单元通过传动组件与所述第一保护部传动连接；所述传动组件为平行四边形连杆结构，包括与第二驱动单元传动连接的第一摇臂，所述第一摇臂上安装有所述第一保护部，所述第一摇臂一端与所述安装板铰接另一端铰接有一横梁，所述横梁远离所述第一摇臂一端铰接有第二摇臂，所述第二摇臂另一端安装有另一组第一保护部，两组所述第一保护部沿所述保护体宽度方向设置，所述第一摇臂通过横梁可带动所述第二摇臂同步转动，驱动两组所述第一保护部在所述第一位置和所述第二位置之间进行转换。
4.根据权利要求3所述的一种空中物料搬送保护装置，其特征在于：所述第一驱动单元包括驱动电机，所述驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：华芯嘉兴智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。