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本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种空中物料搬送保护装置，包括行进部和主体部，主体部前后两保护体底部均设置有保护部；保护部包括与保护体底部相连接的安装板，安装板沿主体部宽度方进行安装，安装板上设置有驱动组件；驱动组件的输出端分别设置有第...
该专利属于华芯（嘉兴）智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华芯（嘉兴）智能装备有限公司授权不得商用。

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