【技术实现步骤摘要】
单腔双线式真空装置絲领域本技术涉及一种真空装置，特别是涉及一种具有两条并排的加工通道的单 腔双线式真空装置。背景駄在半导体、电机电子与光电产业中，许多制程都需要经过多道镀膜步骤来形成 多种不同材质的願。为了使加工能够一贯化作业，申请人曾申请如图1所示的折 合式真空^gl，该真空，l包括 一个第一基座ll、 一个和第一基座ll平行间隔的第二基座12、两条用来平移输送加工物件的输送机构13、 一个耙材单元14，以 及一，接第一基座11及第:i^座12的连接机构15。其中，一基座11具有一个 界定出一长条形通道111的腔壁112，该腔壁112具有一个内壁部113、 一个外壁部 114，以及数个设在内壁部113财卜壁部114间并受控制可打开或关闭的阀门115， 而该逝直111具有一个^ffii接机构15的出口端116，以及一个和出口端116间隔 的入口端117。織二基座12的构造和第一基座11相同，因此也具有一1 1121， 该通道121则是具有一个S3ffii接机构15的入口端122，以及一个和入口端122间 隔的出口端123。又戶诚输送机构13分别安装在第一基座...
【技术保护点】
一种单腔双线式真空装置，用来移送一个加工物件，并包括：一个基座、两个传送机构，以及一个和基座并靠连接的连接机构，该基座包括一个界定出一腔室的腔壁，上述腔壁具有一个第一壁部及一个第二壁部； 其特征在于：该真空装置还包括一个安装在该基座的腔室内并且将该腔室分隔成一个靠近第一壁部的第一通道，以及一个靠近第二壁部的第二通道的冷却区隔单元，上述第一通道及第二通道都各别具有一个入口端及一个出口端，而所述输送机构是分别安装在第一通道及第二通道内，并且将加工物件由入口端往出口端移送，该连接机构是将由第一通道的出口端送出的加工物件移送到第二通道的入口端。
【技术特征摘要】
1.一种单腔双线式真空装置，用来移送一个加工物件，并包括一个基座、两个传送机构，以及一个和基座并靠连接的连接机构，该基座包括一个界定出一腔室的腔壁，上述腔壁具有一个第一壁部及一个第二壁部；其特征在于该真空装置还包括一个安装在该基座的腔室内并且将该腔室分隔成一个靠近第一壁部的第一通道，以及一个靠近第二壁部的第二通道的冷却区隔单元，上述第一通道及第二通道都各别具有一个入口端及一个出口端，而所述输送机构是分别安装在第一通道及第二通道内，并且将加工物件由入口端往出口端移送，该连接机构是将由第一通道的出口端送出的加工物件移送到第二通道的入口端。2. 如权利要求l戶腿的单腔双线式真空體，其特征在于该基座还包括数愧接 在第一壁部及第二壁部间的区隔壁，而该冷却区隔单元包括数个架设在相对应 的区隔壁间的冷却隔座，所述区隔壁都具有两个分别位在冷却隔座相反侧的阀 门。3. 如权利要^2戶;M的单腔双线式真空装置，其特征在于上述冷却隔座都具有两片分别横向架设在基座的区隔壁间的侧板，以及一个围绕并连接侧板同时和侧 板共同界定出一个冷却室的连接围板，旨冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄泳钊，郑博仁，
申请(专利权)人：北儒精密股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。