【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产领域，尤其是一种探针卡辅助固定装置以及装载组件。
技术介绍
1、在半导体制造工艺中，wat(wafer acceptance test)为代工厂出货判定的指标，其通过探针卡的探针与晶圆直接接触进行测试，为保证探针卡固定良好，防止探针卡与晶圆接触不良，造成测试数据异常，现行的探针卡使用螺丝固定，易出现螺丝滑丝造成探针卡固定不佳或掉落金属碎屑导致测试问题的产生，如何让安全有效的固定探针卡显得尤为重要。
2、现有的探针卡的固定方法存在以下缺点：
3、(1)固定螺丝长期使用易发生螺丝及螺丝孔滑丝，造成固定不良；
4、(2)螺丝固定时容易产生金属丝掉落，造成产品测试问题以及探针卡的损坏；
5、(3)螺丝拆装时易掉落，若掉落在机台内，寻找和复机耗时较久，严重影响了生产效率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种探针卡辅助固定装置以及装载组件，以解决螺丝滑丝造成探针卡固定不佳以及掉落金属碎屑影响测试结果的问题。
2、为了达到上述目的，本技术提供了一种探针卡辅助固定装置，包括：装置本体；
3、所述装置本体包括固定段和抵靠段，所述固定段与载台连接，所述抵靠段与所述固定段转动连接，所述抵靠段与所述固定段的转动轴线垂直于所述固定段的延伸方向；
4、其中，所述抵靠段包括伸缩组件，所述伸缩组件沿自身延伸方向可伸缩，以靠近或远离所述探针卡从而锁定所述探针卡或解锁所述探针卡。
5、可选的，所
6、可选的，所述装置本体还包括第二转轴，所述第二转轴垂直于所述第一转轴，所述固定段具有安装孔，所述第二转轴穿过所述安装孔并安装于所述载台上；所述固定段以所述第二转轴为中心轴可转动地与所述载台连接。
7、可选的，所述抵靠段还包括壳体，所述伸缩组件包括移动杆，所述壳体具有内腔，所述移动杆穿设于所述内腔，并伸出所述内腔。
8、可选的，所述伸缩组件还包括接触部，所述移动杆与所述接触部连接，并设置于所述移动杆伸出所述内腔的一端，所述接触部的横截面面积大于所述移动杆的横截面面积。
9、可选的，所述抵靠段还包括滑动槽，所述滑动槽开设于所述壳体上，所述伸缩组件还包括锁止结构，所述锁止结构设置在所述移动杆上，并伸出所述滑动槽。
10、可选的，所述锁止结构与所述移动杆转动连接，所述锁止结构与所述移动杆的转动轴线垂直于所述移动杆的延伸方向，其中，所述锁止结构包括驱动部和锁止部，壳体所述驱动部与所述锁止部固定连接，所述锁止部设置于所述移动杆远离所述接触部的一侧。
11、可选的，所述锁止部包括外壳、弹性件和两个滚珠；所述外壳具有沿自身轴向设置的腔体，且所述腔体的内径与所述滚珠的直径相适配，所述滚珠可活动地设置在所述腔体中；
12、所述外壳沿自身轴向的两端具有缺口，所述缺口的直径小于所述滚珠的直径，所述弹性件设置在两个所述滚珠之间。
13、可选的，所述探针卡辅助固定装置包括多个装置本体，多个所述装置本体沿所述探针卡的周向均匀分布。
14、为了达到上述目的，本技术还提供一种装载组件，包括：载台、探针卡以及如上所述的探针卡辅助固定装置；
15、所述载台具有凹槽，所述探针卡容置于所述凹槽，所述固定段与所述载台连接，所述抵靠段与所述探针卡相接触；或者，所述载台具有凸台，所述探针卡容置于所述凸台，所述固定段与所述载台连接，所述抵靠段在固定探针卡时与所述探针卡相接触。
16、综上所述，本技术提供一种探针卡辅助固定装置以及装载组件，所述探针卡辅助固定装置包括：装置本体；所述装置本体包括固定段和抵靠段，所述固定段与载台连接，所述抵靠段与所述固定段转动连接，所述抵靠段与所述固定段的转动轴线垂直于所述固定段的延伸方向；其中，所述抵靠段包括伸缩组件，所述伸缩组件沿自身延伸方向可伸缩，以靠近或远离所述探针卡从而锁定所述探针卡或解锁所述探针卡。
17、如此配置，抵靠段沿自身延伸方向可伸缩，以靠近或远离探针卡，进而通过抵靠而锁定探针卡或解锁探针卡，探针卡通过抵靠段的抵靠力实现锁定，避免了探针卡通过固定件与载台连接，提升了探针卡与载台的连接稳定性；同时，避免了现有技术中螺丝固定时造成金属碎屑的掉落，提高了测试结果的准确性。
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1.一种探针卡辅助固定装置，其特征在于，包括：装置本体；
2.如权利要求1所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述装置本体还包括合页，所述合页包括第一转轴和两个连接面，所述第一转轴和所述抵靠段与所述固定段的转动轴线重合，两个所述连接面中的至少一者与所述第一转轴转动连接，两个所述连接面分别与所述固定段和所述抵靠段连接。
3.如权利要求2所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述装置本体还包括第二转轴，所述第二转轴垂直于所述第一转轴，所述固定段具有安装孔，所述第二转轴穿过所述安装孔并安装于所述载台上；所述固定段以所述第二转轴为中心轴可转动地与所述载台连接。
4.如权利要求1所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述抵靠段还包括壳体，所述伸缩组件包括移动杆，所述壳体具有内腔，所述移动杆穿设于所述内腔，并伸出所述内腔。
5.如权利要求4所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述伸缩组件还包括接触部，所述移动杆与所述接触部连接，并设置于所述移动杆伸出所述内腔的一端，所述接触部的横截面面积大于所述移动杆的横截面面积。
6.如权利要
7.如权利要求6所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述锁止结构与所述移动杆转动连接，所述锁止结构与所述移动杆的转动轴线垂直于所述移动杆的延伸方向，其中，所述锁止结构包括驱动部和锁止部，所述驱动部与所述锁止部固定连接，所述锁止部设置于所述移动杆远离所述接触部的一侧。
8.如权利要求7所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述锁止部包括外壳、弹性件和两个滚珠；所述外壳具有沿自身轴向设置的腔体，且所述腔体的内径与所述滚珠的直径相适配，所述滚珠可活动地设置在所述腔体中；
9.如权利要求1所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述探针卡辅助固定装置包括多个装置本体，多个所述装置本体沿所述探针卡的周向均匀分布。
10.一种装载组件，其特征在于，包括：载台、探针卡以及如权利要求1～9中任一项所述的探针卡辅助固定装置；
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡辅助固定装置，其特征在于，包括：装置本体；
2.如权利要求1所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述装置本体还包括合页，所述合页包括第一转轴和两个连接面，所述第一转轴和所述抵靠段与所述固定段的转动轴线重合，两个所述连接面中的至少一者与所述第一转轴转动连接，两个所述连接面分别与所述固定段和所述抵靠段连接。
3.如权利要求2所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述装置本体还包括第二转轴，所述第二转轴垂直于所述第一转轴，所述固定段具有安装孔，所述第二转轴穿过所述安装孔并安装于所述载台上；所述固定段以所述第二转轴为中心轴可转动地与所述载台连接。
4.如权利要求1所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述抵靠段还包括壳体，所述伸缩组件包括移动杆，所述壳体具有内腔，所述移动杆穿设于所述内腔，并伸出所述内腔。
5.如权利要求4所述的探针卡辅助固定装置，其特征在于，所述伸缩组件还包括接触部，所述移动杆与所述接触部连接，并设置于所述移动杆伸出所述内腔的一端，所述接触部的横截面面积大于所述移动杆的横截面面积...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱明记，梁君丽，张玉，孙洪星，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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