大面积柔性光电器件的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种大面积柔性光电器件的制造方法，包括下列步骤：提供硬性载板；在所述硬性载板表面形成剥离层；在所述剥离层表面形成光电器件各层系；在所述光电器件各层系表面形成柔性承载层；将所述柔性承载层和器件层系整体与所述硬性载板分离。本发明专利技术的大面积柔性光电器件的制造方法能够直接在硬性载板例如玻璃表面制造柔性光电器件，而不需要依赖传统的物理化学特性要求很高且很昂贵的柔性衬底，也不需要在硬性载板表面先贴敷柔性衬底再继续沉积薄膜的复杂的制造柔性器件的过程，是一种革命性的在硬性载板上直接制造柔性光电器件的方法，所述的柔性光电器件包括柔性太阳能电池、柔性显示器件、柔性发光器件等。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电
，特别是涉及一种。
技术介绍
光电器件在人们的日常生活中有着广泛的应用，光电器件主要包括，利用半导体 光敏特性工作的光电导器件，利用半导体或有机材料的光电效应工作的光伏器件，半导体 发光器件，及利用半导体薄膜三极管(TFT)调节或驱动各类物质光性能的显示器件。半导 体光电器件包括发光二极管(LED)、光电晶体管、TFT-IXD液晶显示器件、LED平板显示器件 等，此外还有AMIXD宽温液晶显示屏，又叫主动式矩阵(Active Matrix)液晶显示器。半导 体光伏器件包括单晶硅、多晶硅、硅基薄膜太阳能电池、CIGS薄膜电池等。上述光电器件通常是在硬性基底例如玻璃上制造，所制造出的器件也都是硬性 器件。而近年来出现的柔性光电器件，例如，主动矩阵有机发光二极管面板(AM0LED)，其 被称为下一代显示技术，是可制成折叠显示屏的柔性显示屏技术，应用前景十分可观。柔 性太阳能电池也已经进入了量产阶段，其既可以是例如非晶硅的硅基薄膜材料也可以是 薄膜晶体半导体材料。目前大都利用印刷和真空薄膜沉积技术对柔性衬底进行卷曲式 (roll-to-roll)加工。柔性太阳能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积柔性光电器件的制造方法，包括下列步骤：提供硬性载板；在所述硬性载板表面形成剥离层；在所述剥离层表面形成光电器件各层系；在所述光电器件各层系表面形成柔性承载层；将所述柔性承载层和器件层系整体与所述硬性载板分离。

【技术特征摘要】
一种大面积柔性光电器件的制造方法，包括下列步骤提供硬性载板；在所述硬性载板表面形成剥离层；在所述剥离层表面形成光电器件各层系；在所述光电器件各层系表面形成柔性承载层；将所述柔性承载层和器件层系整体与所述硬性载板分离。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述方法还包括在所述剥离层表面形成 保护阻挡层的步骤。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于所述方法还包括在所述光电器件各 层系表面形成保护层的步骤。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述柔性光电器件包括柔性太阳能电池、 柔性显示器件或柔性发光器件。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述剥离层的材料为透明、耐温材料，包 括含各类硅胶、各类脱膜剂，以及含上述材料的混合物。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于所述剥离层的形成方法包括喷涂、刷涂或 湿涂。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述承载层的材料包括太阳能电池和柔 性显示器件所使用的柔性封装材料。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于所述承载层的形成方法包括层压、蒸压 autoclave、粘贴、刷涂。9.根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述保护阻挡层的材料包括金属氧化物、 聚合物和宽带隙硅化物。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：李沅民，施成营，林朝晖，
申请(专利权)人：福建钧石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：35[]