用于改进可ＵＶ交联的材料对衬底的粘附性的方法技术

本发明专利技术涉及改进由可通过曝露于紫外线而交联的材料制成的层对衬底粘附性的方法，还涉及包括至少一个实施所述方法的步骤以制造晶体管的方法。改进由材料Ｍ制成的层对衬底Ｓ表面粘附性方法的特征在于：材料Ｍ为可通过曝露于紫外线而交联的材料，且所述方法包括以下步骤：ａ）在衬底Ｓ至少一个表面上沉积未聚合但可聚合的含至少一种分子Ｆ的组合物Ｐ，分子Ｆ含有能通过曝露于紫外线而与材料Ｍ表面反应性基团Ｍ１起反应的第一反应性基团Ｆ１和能够与构成衬底Ｓ表面材料成键的第二反应性基团Ｆ２，ｂ）向步骤ａ）所得未聚合组合物Ｐ的层上沉积由未交联材料Ｍ构成的层，以及ｃ）使步骤ｂ）所得三层结构曝露于紫外线。本发明专利技术尤其用于晶体管制造领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于改进由可通过曝露于紫外线而交联的材料所制成的层对衬 底的粘附性的方法，还涉及一种用于制造晶体管的方法，其包括至少一个实施前一方法的步骤。
技术介绍
在许多领域中，需要将由聚合物材料制成的层与衬底连接在一起，所述衬底由另 一种聚合物或金属材料制成或者包含金属区域或甚至半导体区域。聚合物材料是能够聚合的材料，且由相同单元(单体)的重复序列形成，所述单体 经由共价键连接在一起。为获得耐受机械应力或者耐受化学应力或者耐受二者的由聚合物材料制成的膜， 使用交联这类聚合物材料的方法。对于某些材料，交联可通过曝露于紫外线来进行。在所有情形中，在交联期间，聚合物材料从粘弹状态变为固体的、刚性的、弹性的 和不可熔的状态。而且，一种材料对另一种材料表面的粘附性可定义为当两个表面接触时出现的一 系列物理和/或化学现象。粘附性与粘合性相关，即与在待粘合在一起的两个表面的表面状态下(即比表面 积、孔隙率、活性位点和污染情况)在两个表面之间产生相互作用力的能力相关，并且与这 两个表面的润湿性(即它们产生相互接触的能力)相关。更具体地为粘合力即材料的结合力例如通过形成原子间键而产生的。这些本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于改进由材料Ｍ制成的层对衬底Ｓ的表面的粘附性的方法，其特征在于：－所述材料Ｍ为可通过曝露于紫外线而交联的材料，并且所述方法包括以下步骤：ａ）在所述衬底Ｓ的至少一个表面上沉积未聚合但可聚合的包含至少一种分子Ｆ的组合物Ｐ，所述至少一种分子Ｆ含有能够通过曝露于紫外线而与所述材料Ｍ的表面的反应性基团Ｍ１起反应的第一反应性基团Ｆ１以及能够与构成所述衬底Ｓ的表面的一种或者更多种材料成键的第二反应性基团Ｆ２，ｂ）向步骤ａ）中获得的未聚合组合物Ｐ的层上沉积由未交联材料Ｍ制成的层，以及ｃ）使步骤ｂ）中获得的三层结构曝露于紫外线。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：玛丽埃茨曼，穆罕默德本瓦迪赫，
申请(专利权)人：原子能与替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：FR[法国]