System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 调光装置与使用其的固态影像感测器制造方法及图纸_技高网

调光装置与使用其的固态影像感测器制造方法及图纸

技术编号:40907571 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 14:37
本公开涉及一种调光装置与使用其的固态影像感测器。提供一种具有多个第一区域和多个第二区域的调光装置。调光装置包含多个支柱,支柱形成多组超颖结构。多组超颖结构对应于第一区域,且在一上视图中,第一区域与第二区域呈棋盘状排列。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例是关于一种调光装置,特别是关于一种包含多个呈棋盘状排列的区域的调光装置以及使用此调光装置的固态影像感测器。


技术介绍

1、固态影像感测器(例如,电荷耦合元件(charge-coupled device,ccd)影像感测器、互补式金属氧化物半导体(complementary metal-oxide semiconductor,cmos)影像感测器等)已经广泛使用于各种影像拍摄设备,例如:数字静止影像相机、数字摄影机和类似的设备。固态影像感测器中的光感测部分可形成在多个像素中的每个像素处,并且可以根据在光感测部分中所接收的光量产生信号电荷。此外,可以传送和放大在光感测部分中产生的信号电荷,进而获得影像信号。

2、虽然现有的固态影像感测器通常足以满足其预期目的,但其并非在所有方面都完全令人满意。举例来说,红外(ir)/近红外(nir)的量子效率通常由于硅基材料的低吸收而受到限制。尽管许多的替代材料(例如,ge、gaas或ingaas)被用于增强光吸收,但它仍有提高光利用率的空间。因此,一种基于光捕获的方法被用于进一步改进。这些技术在物联网(internet of things,iot)和监控(surveillance)的应用中具有重要意义。


技术实现思路

1、在本公开的一些实施例中,提供一种包含多个呈棋盘状排列的区域的调光装置以及使用此调光装置的固态影像感测器。调光装置可有效地提升ir/nir信号并提高色彩表现的品质,从而提升来自固态影像感测器的光电转换元件的影像信号品质。

2、根据本公开的一些实施例,提供一种具有多个第一区域和多个第二区域的调光装置。调光装置包含多个支柱,支柱形成多组超颖结构。多组超颖结构对应于第一区域,且在一上视图中,第一区域与第二区域呈棋盘状排列。

3、在一些实施例中,多组超颖结构具有不同的支柱排列,或者在每组超颖结构中,支柱的数量不同。

4、在一些实施例中,支柱被区分为多个第一支柱及多个第二支柱,且在一上视图中,每个第一支柱的截面积大于每个第二支柱的截面积。

5、在一些实施例中,在一组超颖结构中,第一支柱的一个与最接近的第二支柱界定第一周期,相邻的两个第二支柱界定第二周期,且第一周期大于第二周期。

6、在一些实施例中,一些支柱对应于第二区域。

7、在一些实施例中,第一区域与第二区域在第一方向上交错排列。

8、在一些实施例中,第一区域与第二区域在第二方向上交错排列,第二方向垂直于第一方向。

9、在一些实施例中,第一区域沿着第二方向彼此相邻,第二方向垂直于第一方向,且第二区域沿着第二方向彼此相邻。

10、在一些实施例中,在一组超颖结构中,相邻的两个支柱之间的距离是可变的。

11、在本公开的一些实施例中,提供一种固态影像感测器。固态影像感测器包含多个光电转换元件及彩色滤光层,彩色滤光层设置于光电转换元件的上方。彩色滤光层包含多个彩色滤光区段及多个透明区段。固态影像感测器也包含多个聚光结构,聚光结构设置于彩色滤光层的上方。固态影像感测器更包含调光装置,调光装置设置于聚光结构的上方,且调光装置具有多个第一区域和多个第二区域。调光装置包含多个支柱,支柱形成多组超颖结构。多组超颖结构对应于第一区域,且在一上视图中,第一区域与第二区域呈棋盘状排列。

12、在一些实施例中,第一区域设置于彩色滤光区段之上。

13、在一些实施例中,第一区域设置于透明区段之上。

14、在一些实施例中,一些支柱对应于彩色滤光区段。

15、在一些实施例中,彩色滤光区段包含多个红色滤光区段、多个绿色滤光区段及多个蓝色滤光区段,且一些支柱对应于红色滤光区段。

16、在一些实施例中,支柱形成具有不同尺寸的锥形相邻矩形排列的第一组超颖结构、第二组元结构和第三组元结构,对应于蓝色滤光区段的一个第二区域被两个第一组超颖结构、一个第二组超颖结构和一个第三组超颖结构所围绕。

17、在一些实施例中,彩色滤光区段及透明区段在第一方向上交错排列。

18、在一些实施例中,彩色滤光区段及透明区段在第二方向上交错排列,第二方向垂直于第一方向。

19、在一些实施例中,彩色滤光区段沿着一第二方向彼此相邻,第二方向垂直于第一方向,且透明区段沿着第二方向彼此相邻。

20、在一些实施例中,在一组超颖结构中,支柱包含中央支柱,在一上视图中,中央支柱的截面积大于其他支柱的截面积,且中央支柱对应于彩色滤光区段或透明区段中的一个的中心。

21、在一些实施例中,聚光结构与调光装置之间的最短距离大于调光装置的厚度及聚光结构的厚度。

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【技术保护点】

1.一种调光装置,具有多个第一区域和多个第二区域,包括:

2.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多组超颖结构具有不同的支柱排列,或者在所述多组超颖结构的每一组中,所述多个支柱的数量不同或所述多个支柱中相邻的两个之间的距离是可变的。

3.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个支柱被区分为多个第一支柱及多个第二支柱,在一上视图中,每该第一支柱的截面积大于每该第二支柱的截面积,在所述多组超颖结构的一组中,所述多个第一支柱的一个与所述多个第二支柱中最接近的一个界定一第一周期,所述多个第二支柱中相邻的两个界定一第二周期,且该第一周期大于该第二周期。

4.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个支柱中的一些对应于所述多个第二区域。

5.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个第一区域与所述多个第二区域在一第一方向上交错排列,且所述多个第一区域与所述多个第二区域在一第二方向上交错排列,该第二方向垂直于该第一方向。

6.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个第一区域与所述多个第二区域在一第一方向上交错排列,所述多个第一区域沿着一第二方向彼此相邻,该第二方向垂直于该第一方向,且所述多个第二区域沿着该第二方向彼此相邻。

7.一种固态影像感测器,包括:

8.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个第一区域设置于所述多个彩色滤光区段之上。

9.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个第一区域设置于所述多个透明区段之上,且所述多个支柱中的一些对应于所述多个彩色滤光区段。

10.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个第一区域设置于所述多个透明区段之上,所述多个彩色滤光区段包括多个红色滤光区段、多个绿色滤光区段及多个蓝色滤光区段,且所述多个支柱中的一些对应于所述多个红色滤光区段。

11.如权利要求10所述的固态影像感测器,其中所述多个支柱形成具有不同尺寸的锥形相邻矩形排列的第一组超颖结构、第二组元结构和第三组元结构,所述多个第二区域中对应于所述多个蓝色滤光区段的一个被两个第一组超颖结构、一个第二组超颖结构和一个第三组超颖结构所围绕。

12.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个彩色滤光区段及所述多个透明区段在一第一方向上交错排列,且所述多个彩色滤光区段及所述多个透明区段在一第二方向上交错排列,该第二方向垂直于该第一方向。

13.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个彩色滤光区段及所述多个透明区段在一第一方向上交错排列,所述多个彩色滤光区段沿着一第二方向彼此相邻,该第二方向垂直于该第一方向,且所述多个透明区段沿着该第二方向彼此相邻。

14.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个在所述多组超颖结构的一组中,所述多个支柱包括一中央支柱,在一上视图中,该中央支柱的截面积大于其他支柱的截面积,且该中央支柱对应于所述多个彩色滤光区段或所述多个透明区段中的一个的中心。

15.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个聚光结构与该调光装置之间的最短距离大于该调光装置的厚度及所述多个聚光结构的厚度。

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【技术特征摘要】

1.一种调光装置,具有多个第一区域和多个第二区域,包括:

2.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多组超颖结构具有不同的支柱排列,或者在所述多组超颖结构的每一组中,所述多个支柱的数量不同或所述多个支柱中相邻的两个之间的距离是可变的。

3.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个支柱被区分为多个第一支柱及多个第二支柱,在一上视图中,每该第一支柱的截面积大于每该第二支柱的截面积,在所述多组超颖结构的一组中,所述多个第一支柱的一个与所述多个第二支柱中最接近的一个界定一第一周期,所述多个第二支柱中相邻的两个界定一第二周期,且该第一周期大于该第二周期。

4.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个支柱中的一些对应于所述多个第二区域。

5.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个第一区域与所述多个第二区域在一第一方向上交错排列,且所述多个第一区域与所述多个第二区域在一第二方向上交错排列,该第二方向垂直于该第一方向。

6.如权利要求1所述的调光装置,其中所述多个第一区域与所述多个第二区域在一第一方向上交错排列,所述多个第一区域沿着一第二方向彼此相邻,该第二方向垂直于该第一方向,且所述多个第二区域沿着该第二方向彼此相邻。

7.一种固态影像感测器,包括:

8.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个第一区域设置于所述多个彩色滤光区段之上。

9.如权利要求7所述的固态影像感测器,其中所述多个第一区域设置于所述多个透明区段之上,且所述多个支柱中的一些对应于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:张开昊王俊元郭信宏涂宗儒王柏翔王智明
申请(专利权)人:采钰科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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