【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆清洗干燥，具体为一种多功能晶圆清洗干燥设备。
技术介绍
1、在半导体集成电路芯片的制造过程中，需要对晶圆进行化学机械平坦化加工，也即，利用大量的研磨液和不同的化学试剂对晶圆表面进行抛光处理，在对晶圆进行抛光时，晶圆的表面会附着有大量的杂质以及其他溶液，因此在工艺末端，需要对晶圆进行清洗和干燥，
2、目前晶圆和芯片经过抛光后，在表面残留很多杂质和浆液，一般清洗机是无法去除的，需要经过特殊的清洗机，才能将上述的杂质和浆液去除，而中国专利公开了一种晶圆清洗干燥装置(公开号：cn111092036b)，该专利通过在开口处设置用于对清洗后的晶圆表面喷洒干燥气体的喷淋管，该晶圆清洗干燥装置通过在箱体的开口处设置喷淋管，利用喷淋管对清洗后的晶圆喷洒干燥气体，来干燥晶圆表面，由于对晶圆清洗的时间较长，因此在对该设备的清洗效率较低，而且仅仅通过喷淋的方式对晶圆进行清洗，难以将晶圆表面的杂质以及溶液清洗干净。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种多功能晶圆清洗干燥设备，配合底架上设置的上料组件、超声清洗组件、洗刷组件、吹干组件和下料组件，当吊架每移动一段距离，该吊架上一组夹块对晶圆送至一下个清洗阶段后，而吊架上其余组的夹块能够对其他晶圆进行该阶段的清洗步骤，通过该种方式能够实现对多个晶圆的清洗，同时保证每个阶段的清洗只对一片晶圆进行清洗，既保证了对晶圆的清洗速度，又保证了清洗质量。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种
4、所述洗刷组件包括位于底架上的清洗缸，所述清洗缸内壁的两侧之间均连接有两根转动杆，两根所述转动杆的外表面之间均固定连接有用于清洗晶圆的清洗辊，所述清洗辊的材料为聚乙烯醇，两根所述转动杆的一端均贯穿清洗缸并固定连接有啮合齿轮，两个所述啮合齿轮相啮合，所述清洗缸上贯穿设置有两根送水管，并且两根送水管位于清洗辊的上方，所述送水管的表面固定连接有若干个喷头。
5、作为本专利技术进一步的方案：所述吊装架内腔的上方和下方均设置有横向移动组件，两个所述横向移动组件相对的一侧之间设置有纵向移动组件，所述纵向移动组件的正面与吊架的背面固定连接，所述吊架上贯穿开设有若干个安装槽，所述安装槽的内表面固定连接有开关气缸，所述开关气缸的两端均固定连接有吊杆，两个所述吊杆相对的一侧均固定连接有用于夹紧晶圆的夹块。
6、作为本专利技术进一步的方案：所述安装架上设置有若干个用于吹风的吹风机，所述安装架内壁的两侧之间设置有用于阻隔灰尘的过滤网。
7、作为本专利技术进一步的方案：所述上料组件包括位于底架上的移动箱和用于存放晶圆的料箱，所述移动箱的外表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿移动箱并固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端与移动箱内壁的一侧转动连接，所述移动箱的内壁且位于螺纹杆的两侧均固定连接有滑动杆，所述滑动杆与螺纹杆的表面之间设置有两个用于放置料箱的移动套，所述移动套上贯穿开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内表面与螺纹杆的外表面螺纹连接，所述移动套的内表面与滑动杆的外表面滑动连接。
8、作为本专利技术进一步的方案：所述料箱内壁的两侧均固定连接有若干个隔离板，所述料箱正面与背面的两侧均固定连接有定位柱，所述移动套的顶部固定连接有与定位柱内表面相适配的导向块。
9、作为本专利技术进一步的方案：所述超声清洗组件包括贯穿底架的清洗箱，所述清洗箱的内壁的两侧均固定连接有对晶圆进行限位的支撑块，所述清洗箱的底部固定连接有若干个超声波发生器，所述清洗箱的正面贯穿设置有送液管，所述送液管的一端连通有输送泵，所述清洗箱的底部贯穿设置有排水管，所述排水管的表面设置有电磁控制阀。
10、作为本专利技术进一步的方案：所述吹干组件包括贯穿底架的吹干箱，所述吹干箱内壁的一侧固定连接有安装板，所述安装板的一侧固定连接有用于放置晶圆的放置板，所述安装板的一侧且位于放置板的上方贯穿设置有四根药水管，所述安装板上且位于药水管的上方贯穿设置有两根纯水管，所述安装板上且位于纯水管的上方贯穿设置有两根氮气管，所述吹干箱的底部贯穿设置有连通管。
11、本专利技术的有益效果：
12、1、本专利技术中，通过在吊装架内设置纵向移动组件和横向移动组件，利用纵向移动组件和横向移动组件的移动能够对的吊架上开关气缸的位置进行调节，配合底架上设置的上料组件、超声清洗组件、洗刷组件、吹干组件和下料组件，当吊架每移动一段距离，该吊架上一组夹块对晶圆送至一下个清洗阶段后，而吊架上其余组的夹块能够对其他晶圆进行该阶段的清洗步骤，通过该种方式能够实现对多个晶圆的清洗，同时保证每个阶段的清洗只对一片晶圆进行清洗，既保证了对晶圆的清洗速度，又保证了清洗质量。
13、2、本专利技术中，通过在清洗缸内设置两个能够转动的清洗辊，并利用两个清洗辊在转动时对晶圆表面相接触，并已经产生的挤压力，能够使得在清洗辊进行转动时带动晶圆在表面向上或向下运动，由于在清洗辊进行转动时能够产生一定的摩擦力，配合送水管上的多个喷头在清洗时进行利用纯水进行冲洗，从而能够将晶圆表面的铜粉等杂质去除，进一步提高其清洗效率。
14、3、本专利技术中，通过在底架上分别设置结构相同的上料组件和下料组件，利用移动箱上的伺服电机能够进行移动，从而能够使得吊杆上的夹块在对一片晶圆进行夹出后，通过滑动杆和螺纹杆与移动套之间的配合关系，能够将下一片晶圆移动至移动箱的中间位置，进而能够进行连续的上料以及下料的操作，配合底架上的多个清洗设备进一步提高其清洗效率。
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1.一种多功能晶圆清洗干燥设备，包括底架(1)，所述底架(1)的顶部固定连接有安装架(2)，所述底架(1)的顶部且位于安装架(2)的内部固定连接有密封门(3)，其特征在于，所述底架(1)的顶部设置有吊装架(4)，所述吊装架(4)的内部设置有用于输送晶圆的吊架(10)，所述底架(1)的顶部从右至左依次设置有上料组件(5)、超声清洗组件(6)、洗刷组件(7)、吹干组件(8)和下料组件(9)，所述上料组件(5)用于放置未清洗的晶圆，所述下料组件(9)用于收集清洗完成的晶圆；
2.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述吊装架(4)内腔的上方和下方均设置有横向移动组件(12)，两个所述横向移动组件(12)相对的一侧之间设置有纵向移动组件(11)，所述纵向移动组件(11)的正面与吊架(10)的背面固定连接，所述吊架(10)上贯穿开设有若干个安装槽(13)，所述安装槽(13)的内表面固定连接有开关气缸(16)，所述开关气缸(16)的两端均固定连接有吊杆(17)，两个所述吊杆(17)相对的一侧均固定连接有用于夹紧晶圆的夹块(18)。
3.根据权利
4.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述上料组件(5)包括位于底架(1)上的移动箱(51)和用于存放晶圆的料箱(56)，所述移动箱(51)的外表面固定连接有伺服电机(52)，所述伺服电机(52)的输出端贯穿移动箱(51)并固定连接有螺纹杆(53)，所述螺纹杆(53)的一端与移动箱(51)内壁的一侧转动连接，所述移动箱(51)的内壁且位于螺纹杆(53)的两侧均固定连接有滑动杆(54)，所述滑动杆(54)与螺纹杆(53)的表面之间设置有两个用于放置料箱(56)的移动套(55)，所述移动套(55)上贯穿开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内表面与螺纹杆(53)的外表面螺纹连接，所述移动套(55)的内表面与滑动杆(54)的外表面滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述料箱(56)内壁的两侧均固定连接有若干个隔离板(59)，所述料箱(56)正面与背面的两侧均固定连接有定位柱(58)，所述移动套(55)的顶部固定连接有与定位柱(58)内表面相适配的导向块(57)。
6.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述超声清洗组件(6)包括贯穿底架(1)的清洗箱(61)，所述清洗箱(61)的内壁的两侧均固定连接有对晶圆进行限位的支撑块(62)，所述清洗箱(61)的底部固定连接有若干个超声波发生器(63)，所述清洗箱(61)的正面贯穿设置有送液管(64)，所述送液管(64)的一端连通有输送泵(65)，所述清洗箱(61)的底部贯穿设置有排水管(66)，所述排水管(66)的表面设置有电磁控制阀(67)。
7.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述吹干组件(8)包括贯穿底架(1)的吹干箱(81)，所述吹干箱(81)内壁的一侧固定连接有安装板(82)，所述安装板(82)的一侧固定连接有用于放置晶圆的放置板(83)，所述安装板(82)的一侧且位于放置板(83)的上方贯穿设置有四根药水管(84)，所述安装板(82)上且位于药水管(84)的上方贯穿设置有两根纯水管(85)，所述安装板(82)上且位于纯水管(85)的上方贯穿设置有两根氮气管(86)，所述吹干箱(81)的底部贯穿设置有连通管(87)。
...【技术特征摘要】
1.一种多功能晶圆清洗干燥设备，包括底架(1)，所述底架(1)的顶部固定连接有安装架(2)，所述底架(1)的顶部且位于安装架(2)的内部固定连接有密封门(3)，其特征在于，所述底架(1)的顶部设置有吊装架(4)，所述吊装架(4)的内部设置有用于输送晶圆的吊架(10)，所述底架(1)的顶部从右至左依次设置有上料组件(5)、超声清洗组件(6)、洗刷组件(7)、吹干组件(8)和下料组件(9)，所述上料组件(5)用于放置未清洗的晶圆，所述下料组件(9)用于收集清洗完成的晶圆；
2.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述吊装架(4)内腔的上方和下方均设置有横向移动组件(12)，两个所述横向移动组件(12)相对的一侧之间设置有纵向移动组件(11)，所述纵向移动组件(11)的正面与吊架(10)的背面固定连接，所述吊架(10)上贯穿开设有若干个安装槽(13)，所述安装槽(13)的内表面固定连接有开关气缸(16)，所述开关气缸(16)的两端均固定连接有吊杆(17)，两个所述吊杆(17)相对的一侧均固定连接有用于夹紧晶圆的夹块(18)。
3.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述安装架(2)上设置有若干个用于吹风的吹风机(15)，所述安装架(2)内壁的两侧之间设置有用于阻隔灰尘的过滤网(14)。
4.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述上料组件(5)包括位于底架(1)上的移动箱(51)和用于存放晶圆的料箱(56)，所述移动箱(51)的外表面固定连接有伺服电机(52)，所述伺服电机(52)的输出端贯穿移动箱(51)并固定连接有螺纹杆(53)，所述螺纹杆(53)的一端与移动箱(51)内壁的一侧转动连接，所述移动箱(51)的内壁且位于螺纹杆(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：仝长江，洪顺顺，
申请(专利权)人：江苏思睿奇智能制造科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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