【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于MEMS
，特别涉及一种应用于微型超级电容器的三维结构微 电极及其制造方法。
技术介绍
电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋。微电子机械 系统(Micro Electro Mechanical Systems简称MEMS)具有移动性、自控性、集成化等特 点，是近年来最重要的技术创新之一。当一个子系统可以集成在一块芯片上时，电源也必 须完成小型化、微型化的革命。MEMS微能源系统是指基于MEMS技术，将一个或多个电能 供给装置集成为一个特征尺寸为微米级、外形尺寸为厘米级的微系统，能实现长时间、高 效能、多模式供电，特别适用于传统电源无法应用的某些特殊环境。性能优异的微型能源 对MEMS系统的发展和完善就具有特殊的意义。目前国外该领域的专利主要集中在微型 锂离子电池、微型锌镍电池等领域，如美国oak ridge国家实验室有关微型锂离子电池的 专利(US. 5567210)以及美国Bipolar technologies公司的有关微型锌镍电池的专利 (US. 6610440BS)。上述相关专利技术所涉及到的微能源器件中微电极的...
【技术保护点】
一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极，其特征在于，该三维结构微电极是镍基片的一侧面上竖立镍微柱阵列，在镍微柱表面上涂覆功能薄膜。
【技术特征摘要】
一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极，其特征在于，该三维结构微电极是镍基片的一侧面上竖立镍微柱阵列，在镍微柱表面上涂覆功能薄膜。2.根据权利要求1所述一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极，其特征在于， 所述功能薄膜由金属氧化钌、掺杂金属氧化物及导电性材料构成。3.根据权利要求2所述一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极，其特征在于， 所述掺杂金属氧化物包含氧化锡或氧化锆。4.根据权利要求2所述一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极，其特征在于， 所述导电材料包含导电碳纳米管、导电乙炔黑。5.一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极的制造方法，其特征在于，在镍基片 表面涂制一层环氧基负型化学放大的SU-8胶膜并进行光刻工艺处理，进而制备镍微柱阵 列和进行功能薄膜电沉积处理，然后得到三维结构微电极，具体步骤如下1)SU-8胶膜涂制及光刻工艺各步骤包括选择镍作为基片，镍基片一面与SU-8胶膜相 粘接，通过甩胶、前烘、曝光、后烘、显影、漂洗及硬烘工艺，在基片表面形成具有凹结构图形 的SU-8胶膜；2)制备镍微柱阵列工艺，在SU-8胶膜的图形凹结构中采用化学镀或电镀填充镍，然后 采用N-甲基吡咯烷酮NMP漂洗，洗去SU-8胶膜，在基片表面形成镍微柱阵列；3)功能薄膜电沉积工艺，采用电化学阴极沉积制备功能薄膜；配制含有一定比例氯化钌RuCl3、氯化锡SnCl4或氯化锆&C14、硝酸钠NaNO3以及导电 材料碳纳米管或乙炔黑的电解液，通过阴极电沉积的方法，将完成去胶工艺的镍基片及镍 微柱阵列作为阴极，钼电极作为阳极，电极浸渍在含有氯化钌、氯化锡或氯化锆及硝酸钠的 电解液进行电化学阴极沉积工艺，在镍基片及镍微柱阵列表面附着一层功能薄膜层并完成 三维结构微电极的制备。6.根据权利要求5所述一种应用于微型超级电容器的三维结构微电极的制造方法，其 特征在于，所述步骤l)SU-8胶膜涂制工艺中，先将...
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