【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空镀膜机设备，具体涉及一种磁场强度可调节的条形离子源结构。
技术介绍
1、随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，有的时候需要利用条形离子源在镀膜过程中清洗基材或者是在镀膜过程中全程辅助。使用条形离子源辅助镀膜可以增加膜层牢固度，使膜层更加致密，达到更好的镀膜效果。但是如果条形离子源的磁场强度太强或者太弱时，可能会导致阳极基板在镀膜过程中严重消耗或者离子源无法正常工作等情况。然而传统的条形离子源结构在磁场强度有问题的情况下很难进行调节。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：提供一种磁场强度可调节的条形离子源结构，解决传统的条形离子源磁场强度不合适的时候很难调整的问题。
2、本技术采用的技术方案如下：
3、一种磁场强度可调节的条形离子源结构，包括真空箱体、阴极基板、磁铁组件、绝缘法兰、垫高法兰、冷却铜板、阳极基板，所述阴极基板安装于真空箱体上，所述阴极基板中心开设有方孔，所述磁铁组件安装于方孔上，所述磁铁组件包括磁铁连接板、磁铁垫高块、绝缘垫高块、磁铁背板、永磁铁；所述绝缘法兰安装于阴极基板大气侧的表面上，所述垫高法兰安装于绝缘法兰下表面上，所述冷却铜板安装于垫高法兰下表面上，所述阳极基板安装于冷却铜板上；所述磁铁连接板两边通过绝缘垫高块安装于阴极基板真空侧的表面上，所述永磁铁粘接于磁铁背板上且位于阴极基板的大气侧，所述磁铁背板通过磁铁垫高块与磁铁连接板连接。
4、进一步地，所述冷却铜板周围围合有防污护罩。
5、进一步地，所述防污护罩与阳极基板之间的间隙为3mm。
6、进一步地，所述冷却铜板内开设有冷却水循环通道。
7、进一步地，所述阳极基板通过螺钉可拆卸安装于冷却铜板上。
8、综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
9、1、本技术中，包括真空箱体、阴极基板、磁铁组件、绝缘法兰、垫高法兰、冷却铜板、阳极基板，所述阴极基板安装于真空箱体上，所述阴极基板中心开设有方孔，所述磁铁组件安装于方孔上，所述磁铁组件包括磁铁连接板、磁铁垫高块、绝缘垫高块、磁铁背板、永磁铁；所述绝缘法兰安装于阴极基板大气侧的表面上，所述垫高法兰安装于绝缘法兰下表面上，所述冷却铜板安装于垫高法兰下表面上，所述阳极基板安装于冷却铜板上；所述磁铁连接板两边通过绝缘垫高块安装于阴极基板真空侧的表面上，所述永磁铁粘接于磁铁背板上且位于阴极基板的大气侧，所述磁铁背板通过磁铁垫高块与磁铁连接板连接。
10、通过该设置，永磁铁完全放置在大气且与阳极基板之间间隔有冷却铜板，不用担心离子源使用过程中产生的热量对永磁铁的磁性产生影响，同时永磁铁下端面到阳极基板下端面有一定距离，这时可以根据高斯计测量或者使用过程观察确定阳极基板下端面的磁场强度是否合适，如果磁场偏弱可以减薄绝缘垫高块的厚度，让永磁铁与阳极基板之间间距变小，从而使磁场变强，如果磁场偏强则可以加厚绝缘垫高块的厚度，让永磁铁与阳极基板之间间距变大，从而使磁场变强弱，以此来实现阳极基板下端面上的磁场强度便捷可调。
11、2、本技术中，所述冷却铜板周围围合有防污护罩。通过该设置，防污护罩能够防止冷却铜板在使用过程中尽量不被过渡污染。
12、3、本技术中，所述防污护罩与阳极基板之间的间隙为3mm。通过该设置，防止防污护罩与阳极基板之间距离太大，使防污护罩下的冷却铜板容易被污染；防止防污护罩与阳极基板之间距离太小，防污护罩容易与阳极基板间形成打火，使离子源使用不稳定。
13、4、本技术中，所述冷却铜板内开设有冷却水循环通道。通过该设置，冷却水循环通道持续通入循环冷却水，保证阳极基板得到良好的冷却效果。
14、5、本技术中，所述阳极基板通过螺钉可拆卸安装于冷却铜板上。通过该设置，当阳极基板被污染或者被消耗之后可以快速便捷的更换清洁阳极基板。
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1.一种磁场强度可调节的条形离子源结构，其特征在于，包括真空箱体(12)、阴极基板(1)、磁铁组件(2)、绝缘法兰(3)、垫高法兰(4)、冷却铜板(5)、阳极基板(6)，所述阴极基板(1)安装于真空箱体(12)上，所述阴极基板(1)中心开设有方孔，所述磁铁组件(2)安装于方孔上，所述磁铁组件(2)包括磁铁连接板(7)、磁铁垫高块(8)、绝缘垫高块(9)、磁铁背板(10)、永磁铁(11)；所述绝缘法兰(3)安装于阴极基板(1)大气侧的表面上，所述垫高法兰(4)安装于绝缘法兰(3)下表面上，所述冷却铜板(5)安装于垫高法兰(4)下表面上，所述阳极基板(6)安装于冷却铜板(5)上；所述磁铁连接板(7)两边通过绝缘垫高块(9)安装于阴极基板(1)真空侧的表面上，所述永磁铁(11)粘接于磁铁背板(10)上且位于阴极基板(1)的大气侧，所述磁铁背板(10)通过磁铁垫高块(8)与磁铁连接板(7)连接。
2.按照权利要求1所述的一种磁场强度可调节的条形离子源结构，其特征在于，所述冷却铜板(5)周围围合有防污护罩(13)。
3.按照权利要求2所述的一种磁场强度可调节的条形离
4.按照权利要求1所述的一种磁场强度可调节的条形离子源结构，其特征在于，所述冷却铜板(5)内开设有冷却水循环通道。
5.按照权利要求1所述的一种磁场强度可调节的条形离子源结构，其特征在于，所述阳极基板(6)通过螺钉可拆卸安装于冷却铜板(5)上。
...【技术特征摘要】
1.一种磁场强度可调节的条形离子源结构，其特征在于，包括真空箱体(12)、阴极基板(1)、磁铁组件(2)、绝缘法兰(3)、垫高法兰(4)、冷却铜板(5)、阳极基板(6)，所述阴极基板(1)安装于真空箱体(12)上，所述阴极基板(1)中心开设有方孔，所述磁铁组件(2)安装于方孔上，所述磁铁组件(2)包括磁铁连接板(7)、磁铁垫高块(8)、绝缘垫高块(9)、磁铁背板(10)、永磁铁(11)；所述绝缘法兰(3)安装于阴极基板(1)大气侧的表面上，所述垫高法兰(4)安装于绝缘法兰(3)下表面上，所述冷却铜板(5)安装于垫高法兰(4)下表面上，所述阳极基板(6)安装于冷却铜板(5)上；所述磁铁连接板(7)两边通过绝缘垫高块(9)安装于阴极基板(1)真空侧的表面上，所述永磁铁...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄子建，薛照明，薛海，
申请(专利权)人：成都天一国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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