【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空镀膜机设备，具体涉及一种用于真空镀膜机的水冷式修正挡板结构。
技术介绍
1、随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，很多要求较高的膜系需要通过高温提高膜层的质量，并且高温的持续时间比较长。传统的修正挡板结构在运动部分o型圈的位置没有设置有效的冷却方式，经过真空室内长时间高温的热辐射之后，o型圈位置的温度也会变高，随着温度升高，o型圈的使用寿命也会减短大大降低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：提供一种用于真空镀膜机的水冷式修正挡板结构，解决传统的修正挡板结构没有对密封位置进行冷却，o型圈会随着温度升高使用寿命降低的问题。
2、本技术采用的技术方案如下：
3、一种用于真空镀膜机的水冷式修正挡板结构，包括气缸、水冷法兰、转动机构、延长筒，所述延长筒安装在真空室外壁，所述水冷法兰安装于延长筒上，所述转动机构安装于水冷法兰的真空侧，所述气缸安装于水冷法兰的大气侧，所述气缸的活塞杆穿过水冷法兰与转动机构传动连接，所述气缸的活塞杆与水冷法兰之间安装有o型圈，还设置有进水接头和出水接头，所述进水接头和出水接头与所述水冷法兰连通。
4、进一步地，所述气缸的活塞杆与水冷法兰之间安装有两个o型圈，两个0型圈之间通过金属垫圈隔开。
5、综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
6、1、本技术中，包括气缸、水冷法兰、转动机构、延长筒，所述延长筒安装在真空室外壁，所述水冷法兰安装于延长筒
7、通过该设置，冷却水经进水接头流入水冷法兰，经出水接头从水冷法兰流出，冷却水在不断给水冷法兰降温的同时也使o型圈降温，有效降低了o型圈使用环境的温度，延长了o型圈使用寿命，有效解决了传统的修正挡板结构没有对密封位置进行冷却，o型圈会随着温度升高使用寿命降低的问题。
8、2、本技术中，所述气缸的活塞杆与水冷法兰之间安装有两个o型圈，两个0型圈之间通过金属垫圈隔开。
9、通过该设置，当其中一个o型圈损坏时，另外一个o型圈还可以继续使用，有效延长了o型圈损坏需要停机保养的时间。
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1.一种用于真空镀膜机的水冷式修正挡板结构，其特征在于，包括气缸(1)、水冷法兰(2)、转动机构(3)、延长筒(5)，所述延长筒(5)安装在真空室(4)外壁，所述水冷法兰(2)安装于延长筒(5)上，所述转动机构(3)安装于水冷法兰(2)的真空侧，所述气缸(1)安装于水冷法兰(2)的大气侧，所述气缸(1)的活塞杆穿过水冷法兰(2)与转动机构(3)传动连接，所述气缸(1)的活塞杆与水冷法兰(2)之间安装有O型圈(6)，还设置有进水接头(7)和出水接头(8)，所述进水接头(7)和出水接头(8)与所述水冷法兰(2)连通。
2.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的水冷式修正挡板结构，其特征在于，所述气缸(1)的活塞杆与水冷法兰(2)之间安装有两个O型圈(6)，两个0型圈(6)之间通过金属垫圈隔开。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的水冷式修正挡板结构，其特征在于，包括气缸(1)、水冷法兰(2)、转动机构(3)、延长筒(5)，所述延长筒(5)安装在真空室(4)外壁，所述水冷法兰(2)安装于延长筒(5)上，所述转动机构(3)安装于水冷法兰(2)的真空侧，所述气缸(1)安装于水冷法兰(2)的大气侧，所述气缸(1)的活塞杆穿过水冷法兰(2)与转动机构(3)传动连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄子建，薛照明，薛海，
申请(专利权)人：成都天一国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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