一种用于真空镀膜机的新型自公转机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，解决传统的自公转机构无法满足每一个工件在镀膜过程中均能实现自转的问题。其包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具，所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。本实用新型专利技术适用于一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的新型自公转机构


[0001]本技术属于真空镀膜机设备
，具体涉及一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，有的工件是平板型，有的工件是球形。在镀制球形工件时，由于工件本身存在凹凸形状，高点和低点存在距离差，且有时会行成阴影遮挡等情况。在这种情况下镀制的薄膜，同一个工件上各个点的膜层厚度会存在很大的差异，同时也会导致同一工件本身各个点的光学性能存在差异，这样工件就会变为不良品。传统的自公转机构通常为一个公转的大盘带数个自转的小盘，通过齿轮和轴等连接以实现自公转，但是此种结构仅是让小盘自转，如果想要每个工件均能实现自转，那么每个小盘内只能放置一个工件。当镀膜工件较小，一次镀膜件数较多时，该机构就很难满足要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，解决传统的自公转机构无法满足每一个工件在镀膜过程中均能实现自转的问题。
[0004]本技术采用的技术方案如下：
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，其特征在于，包括挂筒组件(1)、固定组件(2)、转动组件(3)和工件夹具(4)；所述挂筒组件(1)包括限位支架(5)、挂筒(6)、轴承座(7)、支撑环(8)、轴承(9)，所述挂筒(6)上端连接有驱动机构(16)，支撑环(8)安装于挂筒(6)下端，所述轴承(9)的内圈穿设于支撑环(8)上，所述轴承座(7)套设于轴承(9)的外圈上，所述限位支架(5)的一端与轴承座(7)连接，所述限位支架(5)的另一端固定于真空腔体(17)顶部；所述固定组件包括固定环(10)、固定支架(11)和连接螺杆(12)，固定支架(11)一端固定于轴承座(7)上，固定支架(11)另一端通过连接螺杆(12)与固定环(10)上表面连接，固定环(10)的外侧表面上设置有夹具支撑圆圈；所述转动组件(3)包括转动环(13)、转动支架(14)和支...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄子建，何武林，薛海，
申请(专利权)人：成都天一国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：