一种用于真空镀膜机的新型供水装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的新型供水装置，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的新型供水装置，解决现有真空镀膜机采用一根水排集中供水，易导致用水量较小的部件无法得到充分冷却，继而造成产品质量降低的问题。其包括总供水机构、冰水机，所述总供水机构的出水端通过第一球阀连通有第一进水管，所述第一进水管通过第二球阀连通有第二进水管，所述第二进水管通过第三球阀与冰水机的出水端连通，所述总供水机构的进水端通过第四球阀连通有第一排水管，所述第一排水管通过第五球阀连通有第二排水管，所述第二排水管通过第六球阀与冰水机的进水端连通。本实用新型专利技术适用于一种用于真空镀膜机的新型供水装置。膜机的新型供水装置。膜机的新型供水装置。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的新型供水装置


[0001]本技术属于真空镀膜机设备
，具体涉及一种用于真空镀膜机的新型供水装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，镀膜机在镀膜过程中电子枪，离子源，晶控探头，坩埚等部件的冷却水水量大小和温度对镀膜稳定性有及其大的影响。但是通常情况下镀膜机都是采用一根水排集中供水，如果使用同一水排，冷却水供给水量又不完全足够时，用水量大的部件会分掉大部分冷却水，导致用水量较小的电子枪，离子源，晶控探头，坩埚等部件无法得到充分冷却。并且在回水时，因为其他部件用水量大，回水比较多，在水排回水速度不够时，水量大的会使水量较小的部件造成回水堵塞，导致冷却水不通畅，无法达到冷却效果。并且有的用户为了节约使用成本，采用自来水冷却，但是自来水受环境温度，供水压力，水质好坏等很多因素的影响，也会导致在镀膜过程中电子枪，离子源，晶控探头，坩埚等部件的不稳定。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种用于真空镀膜机的新型供水装置，解决现有真空镀膜机采用一根水排集中供水，易导致用水量较小的部件无法得到充分冷却，继而造成产品质量降低的问题。
[0004]本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种用于真空镀膜机的新型供水装置，包括总供水机构、冰水机，所述总供水机构的出水端通过第一球阀连通有第一进水管，所述第一进水管通过第二球阀连通有第二进水管，所述第二进水管通过第三球阀与冰水机的出水端连通，所述总供水机构的进水端通过第四球阀连通有第一排水管，所述第一排水管通过第五球阀连通有第二排水管，所述第二排水管通过第六球阀与冰水机的进水端连通。
[0006]进一步地，所述第一进水管上和第一排水管上分别设置有若干第一连接头，所述第二进水管上和第二排水管上分别设置有若干第二连接头，所述第一连接头的数目大于第二连接头的数目。
[0007]进一步地，所述冰水机中设置有冷却水。
[0008]进一步地，所述总供水机构中设置有冷却水。
[0009]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0010]1、本技术中，第二球阀和第五球阀在正常情况下为关闭状态，第一球阀、第三球阀、第四球阀、第六球阀均为打开状态，此时第一进水管和第二进水管以及第一排水管、第二排水管两边被隔断开，成为两个相互独立的水排。第一进水管和第一排水管形成的水排用于连接真空镀膜机上用水量较大的部件，由总供水机构提供冷却水循环。第二进水管和第二排水管形成的水排用于连接真空镀膜机上用水量较小，但对冷却水稳定性要求较高
的电子枪、离子源、晶控探头、坩埚等部件，由冰水机提供冷却水循环。由于冰水机是利用自己装载的冷却水进行循环，可以保证每次循环的冷却水温度、压力、水质等均处于一个相对稳定的状态，从而使真空镀膜机在薄膜镀制过程中工作温度更稳定，产品质量更加有保证。
[0011]2、本技术中，当冰水机在使用过程中出现故障无法正常使用时，此时将第二球阀和第五球阀打开，将第三球阀和第六球阀关闭，两边独立的水排就可以变为一根常规水排，由总供水机构提供冷却水循环，可以方便用户在冰水机修复完成前做应急使用。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图，其中：
[0013]图1为本技术的结构示意图；
[0014]图中标记：1
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第一进水管、2
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第一排水管、3
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第二进水管、4
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第二排水管、5
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第一球阀、6
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第二球阀、7
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第三球阀、8
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第四球阀、9
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第五球阀、10
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第六球阀、11
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总供水机构、12
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冰水机、13
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第一连接头、14
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第二连接头。
具体实施方式
[0015]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0016]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]应注意到：标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术的简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0020]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或
一体地连接；可以使机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个原件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0021]一种用于真空镀膜机的新型供水装置，包括总供水机构、冰水机，所述总供水机构的出水端通过第一球阀连通有第一进水管，所述第一进水管通过第二球阀连通有第二进水管，所述第二进水管通过第三球阀与冰水机的出水端连通，所述总供水机构的进水端通过第四球阀连通有第一排水管，所述第一排水管通过第五球阀连通有第二排水管，所述第二排水管通过第六球阀与冰水机的进水端连通。
[0022]进一步地，所述第一进水管上和第一排水管上分别设置有若干第一连接头，所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的新型供水装置，其特征在于，包括总供水机构(11)、冰水机(12)，所述总供水机构(11)的出水端通过第一球阀(5)连通有第一进水管(1)，所述第一进水管(1)通过第二球阀(6)连通有第二进水管(3)，所述第二进水管(3)通过第三球阀(7)与冰水机(12)的出水端连通，所述总供水机构(11)的进水端通过第四球阀(8)连通有第一排水管(2)，所述第一排水管(2)通过第五球阀(9)连通有第二排水管(4)，所述第二排水管(4)通过第六球阀(10)与冰水机(12)的进水端连通。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：薛照明，李围红，杨毅，
申请(专利权)人：成都天一国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：