一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决传统的阻蒸结构可放置膜料种类较少；但现有的旋转阻蒸结构较为复杂，成本比较高，当用在小型机台上或做小型实验时存在不适用的问题。其包括蒸发组件、转动密封组件、公共极电刷组件、导通极电刷组件和基础法兰，基础法兰安装在真空箱体的下部，转动密封组件穿过基础法兰进入到真空箱体内，蒸发组件安装在转动密封组件上，公共极电刷组件和导通极电刷组件安装于基础法兰上，公共极电刷组件的公共极电刷与蒸发组件的公共盘接触，导通极电刷组件的导通极电刷与蒸发组件的公共盘上的导通极铜柱接触。本实用新型专利技术适用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸。小功率旋转阻蒸。小功率旋转阻蒸。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸


[0001]本技术属于真空镀膜机设备
，具体涉及一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜的工艺中，有的膜料在蒸镀时采用阻蒸蒸发相对而言更加方便好用，但传统的阻蒸每次蒸发可以放置的膜料种类比较少，如要多种膜料需要使用阻蒸蒸发时，传统的阻蒸方式就不满足使用需求。但普通的旋转阻蒸结构比较复杂，成本较高，当用在小型机台上或做小型实验时就不太适用。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，解决传统的阻蒸每次蒸发可以放置的膜料种类比较少，如要多种膜料需要使用阻蒸蒸发时，传统的阻蒸方式就不满足使用需求。但普通的旋转阻蒸结构比较复杂，成本较高，当用在小型机台上或做小型实验时就不太适用的问题。
[0004]本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，包括蒸发组件、转动密封组件、公共极电刷组件、导通极电刷组件和基础法兰，基础法兰安装在真空箱体的下部，转动密封组件穿过基础法兰进入到真空箱体内，蒸发组件安装在转动密封组件上，公共极电刷组件安装于基础法兰上，公共极电刷组件的公共极电刷与蒸发组件的公共盘接触，导通极电刷组件安装于基础法兰上，导通极电刷组件的导通极电刷与蒸发组件的公共盘上的导通极铜柱接触。
[0006]进一步地，所述蒸发组件还包括公共极铜柱，公共极铜柱安装于公共盘内圈上，导通极铜柱通过压盘螺钉安装于公共盘外圈上，导通极铜柱与公共盘的连接处设置有第一陶瓷绝缘垫，公共极铜柱和导通极铜柱相连。
[0007]进一步地，所述转动密封组件包括伺服减速电机、电机安装座、联轴器、电机安装支架、导入密封座组件和转动轴，导入密封座组件安装于真空箱体内的一端套设有有O型圈，所述O型圈设置于导入密封座组件和基础法兰之间的接触面上，导入密封座组件的另一端设置有螺纹段，螺纹段穿出基础法兰并穿过电机安装支架，导入密封座组件和电机安装支架通过设置在螺纹段上的锁母一起固定于基础法兰上，转动轴套设于导入密封座组件内，转动轴的一端位于真空箱体内，转动轴的另一端位于真空箱体外，电机安装座固定于电机安装支架上，伺服减速电机安装于电机安装座上，伺服减速电机的输出轴通过联轴器与转动轴位于真空箱体内的一端传动连接。
[0008]进一步地，所述公共极电刷组件还包括公共可伐电极、公共电刷安装座、公共电刷安装板，公共电刷安装座安装于基础法兰上，公共电刷安装座与基础法兰之间连接处设置第二陶瓷绝缘垫，公共电刷安装座上开设有第一方圆孔，公共电刷安装板尾部的第一方圆
棒穿入第一方圆孔内，公共电刷安装板和公共电刷安装座之间安装有公共压缩弹簧，公共电刷安装板和公共电刷安装座之间的间距小于公共压缩弹簧原始长度，公共极电刷安装在公共电刷安装板上，公共极电刷前部设置有与公共盘外经大小一致的第一凹槽，公共极电刷通过第一凹槽与公共盘接触，公共极电刷通过导线与公共可伐电极电连接。
[0009]进一步地，所述导通极电刷组件还包括导通可伐电极、导通电刷安装座、导通电刷安装板，导通电刷安装座安装于基础法兰上，导通电刷安装座与基础法兰之间连接处设置第三陶瓷绝缘垫，导通电刷安装座上开有第二方圆孔，导通电刷安装板尾部的第二方圆棒穿入第二方圆孔内，导通电刷安装板的方圆棒后还设置有螺柱，螺柱上对应设置有用于调节导通电刷安装板和导通电刷安装座之间间距的螺母，导通电刷安装板和导通电刷安装座之间安装有导通压缩弹簧，导通极电刷安装于导通电刷安装板上，导通极电刷前部设置有与导通极铜柱外经一致的第二凹槽，导通极电刷通过第二凹槽在公共盘转动的时候间隙性的与导通极铜柱接触，导通极电刷通过导线与导通可伐电极电连接。
[0010]进一步地，公共极铜柱和导通极铜柱之间通过钨舟相连。
[0011]进一步地，导入密封座组件和转动轴之间接触面上设置有J型密封圈。
[0012]进一步地，导入密封座组件上设置有平面轴承，转动轴安装于平面轴承上并穿过平面轴承，导入密封座组件位于平面轴承下方还设置有深沟球轴承。
[0013]进一步地，导通极电刷前部的第二凹槽两边设置有斜面。
[0014]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0015]1、本技术中，蒸发组件公共盘上的公共极铜柱和导通极铜柱可以根据使用者需求做不同的组数，每组都可以放置使用者所需求的不同材料。
[0016]2、本技术中，转动密封组件内使用了伺服减速电机组件，确保转位更加平稳，转动时定位更加准确，并且伺服电机组件和实现正反转，可根据使用者需求自由选择蒸发位。
[0017]3、本技术中，公共盘与转动轴之间，电刷安装座与基础法兰之间均设置有陶瓷绝缘垫，螺钉均先穿过陶瓷绝缘垫再将各部件固定，保证整个机构的绝缘性能.
[0018]4、本技术中，电刷安装座与电刷安装板之间设置有弹簧，可以通过调节弹簧的压缩量来调整电刷与公共盘或者导通极铜柱之间的接触力度。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图，其中：
[0020]图1是本技术整体装配的结构示意图；
[0021]图2是本技术蒸发组件的结构示意图；
[0022]图3是本技术转动密封组件的结构意图；
[0023]图4是本技术公共极电刷组件和导通极电刷组件的结构示意图；
[0024]图中标记：1
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蒸发组件、2
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转动密封组件、3
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公共极电刷组件、4
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导通极电刷组件、5
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基础法兰、6
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公共盘、7
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公共极铜柱、8
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导通极铜柱、9
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伺服减速电机、10
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电机安装座、
11
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联轴器、12
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电机安装支架、13
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导入密封座组件、14
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转动轴、15
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公共可伐电极、16
‑ꢀ
公共电刷安装座、17
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公共电刷安装板、18
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公共压缩弹簧、19
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公共极电刷、20
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导通可伐电极、21
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导通电刷安装座、22
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导通电刷安装板、23
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导通压缩弹簧、24
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导通极电刷、25
‑ꢀ
第一陶瓷绝缘垫、26
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压盘螺钉、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，其特征在于，包括蒸发组件(1)、转动密封组件(2)、公共极电刷组件(3)、导通极电刷组件(4)和基础法兰(5)，基础法兰(5)安装在真空箱体的下部，转动密封组件(2)穿过基础法兰(5)进入到真空箱体内，蒸发组件(1)安装在转动密封组件(2)上，公共极电刷组件(3)安装于基础法兰(5)上，公共极电刷组件(3)的公共极电刷(19)与蒸发组件(1)的公共盘(6)接触，导通极电刷组件(4)安装于基础法兰(5)上，导通极电刷组件(4)的导通极电刷(24)与蒸发组件(1)的公共盘(6)上的导通极铜柱(8)接触。2.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，其特征在于，所述蒸发组件(1)还包括公共极铜柱(7)，公共极铜柱(7)安装于公共盘(6)内圈上，导通极铜柱(8)通过压盘螺钉(26)安装于公共盘(6)外圈上，导通极铜柱(8)与公共盘(6)的连接处设置有第一陶瓷绝缘垫(25)，公共极铜柱(7)和导通极铜柱(8)相连。3.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，其特征在于，所述转动密封组件(2)包括伺服减速电机(9)、电机安装座(10)、联轴器(11)、电机安装支架(12)、导入密封座组件(13)和转动轴(14)，导入密封座组件(13)安装于真空箱体内的一端套设有有O型圈(30)，所述O型圈(30)设置于导入密封座组件(13)和基础法兰(5)之间的接触面上，导入密封座组件(13)的另一端设置有螺纹段，螺纹段穿出基础法兰(5)并穿过电机安装支架(12)，导入密封座组件(13)和电机安装支架(12)通过设置在螺纹段上的锁母(31)一起固定于基础法兰(5)上，转动轴(14)套设于导入密封座组件(13)内，转动轴(14)的一端位于真空箱体内，转动轴(14)的另一端位于真空箱体外，电机安装座(10)固定于电机安装支架(12)上，伺服减速电机(9)安装于电机安装座(10)上，伺服减速电机(9)的输出轴通过联轴器(11)与转动轴(14)位于真空箱体内的一端传动连接。4.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，其特征在于，所述公共极电刷组件(3)还包括公共可伐电极(15)、公共电刷安装座(16)、公共电刷安装板(17)，公共电刷安装座(16)安装于基础法兰(5)上，公共电刷安装座(16)与基础法兰(5)之间连接处设置第二陶瓷绝缘垫(32)，公共电刷安装座(16)上开设有第一方...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄子建，薛照明，
申请(专利权)人：成都天一国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：