本实用新型专利技术公开了真空镀膜机热屏蔽装置，涉及真空镀膜机相关技术领域，包括热屏蔽箱，热屏蔽箱的一侧转动有门板，热屏蔽箱的最内层固定有第一支撑板，第一支撑板的外部套接有第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有保温塑料，位于第二支撑板外部热屏蔽箱的内壁设有导流管，第一支撑板与第二支撑板之间固定有若干个固定板，相邻两个固定板之间构成一个腔室，保温塑料分布在腔室内，通过在热屏蔽箱的内壁利用第一支撑板与第二支撑板来盛放保温塑料，使保温塑料能够对起到对箱内进行保温的效果，有效的防止热屏蔽箱内部的热量散失，另外利用导流管来将第二支撑板传递过来的热量进行隔绝，从而提高了真空镀膜机的工作效率。从而提高了真空镀膜机的工作效率。从而提高了真空镀膜机的工作效率。
【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机热屏蔽装置
[0001]本技术涉及真空镀膜机相关
，具体为真空镀膜机热屏蔽装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，镀膜机在工作的过程中，箱体内的温度控制是保证工艺符合规定的重要条件，在保证箱内温度的过程中需要用到热屏蔽装置，然而现有技术中的真空镀膜机热屏蔽装置存在以下问题：
[0003]现有的热屏蔽装置通常是在箱体的侧壁利用冷却水管来起到屏蔽的效果，而冷却水管大大降低了箱体内部的热量丧失，同时使真空镀膜机的工作效率降低，因此需要一种新型的真空镀膜机热屏蔽装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供真空镀膜机热屏蔽装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：真空镀膜机热屏蔽装置，包括热屏蔽箱，所述热屏蔽箱的一侧转动有门板，所述热屏蔽箱的最内层固定有第一支撑板，所述第一支撑板的外部套接有第二支撑板，所述第一支撑板与第二支撑板之间设有保温塑料，位于第二支撑板外部所述热屏蔽箱的内壁设有导流管。
[0006]优选地，所述第一支撑板与第二支撑板之间固定有若干个固定板，相邻两个固定板之间构成一个腔室，所述保温塑料分布在腔室内，利用第一支撑板与第二支撑板来盛放保温塑料，使保温塑料能够对起到对箱内进行保温的效果，有效的防止热屏蔽箱内部的热量散失，另外利用导流管来将第二支撑板传递过来的热量进行隔绝，从而提高了真空镀膜机的工作效率，同时提高了热屏蔽装置的隔热效果。
[0007]优选地，位于第二支撑板外部所述热屏蔽箱顶部与底部之间均固定安装有连接管，所述导流管有若干个且环形等距排列在两个连接管之间。
[0008]优选地，位于热屏蔽箱顶部的所述连接管的外侧壁固定安装有进液管。
[0009]优选地，所述热屏蔽箱的外侧壁开设有卡槽，所述门板的外侧壁固定安装有卡接板，所述卡接板与卡槽相匹配。
[0010]优选地，位于卡槽的上方所述热屏蔽箱的外侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内部固定安装有挡板，所述挡板的外侧壁贯穿有按压杆，所述按压杆呈L型状。
[0011]优选地，所述卡接板远离门板的一端固定安装有卡环，所述卡环有两个且关于卡接板的横向中心轴，所述卡环与按压杆相匹配。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0013]通过在热屏蔽箱的内壁利用第一支撑板与第二支撑板来盛放保温塑料，使保温塑
料能够对起到对箱内进行保温的效果，有效的防止热屏蔽箱内部的热量散失，另外利用导流管来将第二支撑板传递过来的热量进行隔绝，从而提高了真空镀膜机的工作效率，同时提高了热屏蔽装置的隔热效果。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术结构示意图。
[0016]图2为本技术热屏蔽箱结构主剖图。
[0017]图3为本技术图2的A处结构放大图。
[0018]图中：1、进液管；2、按压杆；3、屏蔽箱；4、卡槽；5、挡板；6、卡接板；7、卡环；8、门板；9、滑槽；10、导流管；11、连接管；12、第一支撑板；13、保温塑料；14、固定板；15、第二支撑板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例：如图1
‑
3所示，本技术提供了真空镀膜机热屏蔽装置，包括热屏蔽箱3，热屏蔽箱3为现有技术中的对真空镀膜机进行热量屏蔽的装置，使真空镀膜机在进行工作的过程中能够保证真空镀膜机内部的热量不会散失，从而使真空镀膜机能够维持内部工艺所需要的温度。
[0021]本实施例中，热屏蔽箱3的一侧转动有门板8，热屏蔽箱3的最内层固定有第一支撑板12，第一支撑板12的外部套接有第二支撑板15，第一支撑板12与第二支撑板15之间设有保温塑料13，门板8用于对热屏蔽箱3的开合，方便将零部件的放入，第一支撑板12与第二支撑板15均为耐高温塑料材质，减少金属热量传递所造成的损失，保温塑料13为现有技术中的具有保温功能的塑料材质，第一支撑板12与第二支撑板15之间的配合能够使保温塑料13能够对起到对箱内进行保温的效果，有效的防止热屏蔽箱3内部的热量散失。
[0022]进一步的，位于第二支撑板15外部热屏蔽箱3的内壁设有导流管10，导流管10具有传递液体的功能，能够在导流管10的内部放置冷却液来起到隔热的效果，从而提高了真空镀膜机的工作效率，同时提高了热屏蔽装置的隔热效果。
[0023]进一步的，第一支撑板12与第二支撑板15之间固定有若干个固定板14，相邻两个固定板14之间构成一个腔室，保温塑料13分布在腔室内，固定板14之间围成的腔室能够对保温塑料13进行支撑，从而方便保温塑料13起作用，另外利用固定板14相对于实心的热屏蔽箱3具有质量轻的效果。
[0024]进一步的，位于第二支撑板15外部热屏蔽箱3顶部与底部之间均固定安装有连接管11，导流管10有若干个且环形等距排列在两个连接管11之间，位于热屏蔽箱3顶部的连接
管11的外侧壁固定安装有进液管1，进液管1能够方便将冷却液放置在连接管11的内部，另外连接管11则起到传递的效果，能够将冷却液分布在热屏蔽箱3的周围，将第二支撑板15传递过来的热量进行隔绝。
[0025]进一步的，热屏蔽箱3的外侧壁开设有卡槽4，门板8的外侧壁固定安装有卡接板6，卡接板6与卡槽4相匹配，卡槽4为门板8提供了存放空间，从而方便门板8的闭合。
[0026]进一步的，位于卡槽4的上方热屏蔽箱3的外侧壁开设有滑槽9，滑槽9的内部固定安装有挡板5，挡板5的外侧壁贯穿有按压杆2，按压杆2呈L型状，滑槽9为按压杆2提供了滑动空间，从而方便按压杆2围绕挡板5发生转动，L型状的按压杆2能够方便手持，从而方便对按压杆2的滑动。
[0027]进一步的，卡接板6远离门板8的一端固定安装有卡环7，卡环7有两个且关于卡接板6的横向中心轴，卡环7与按压杆2相匹配，卡环7为按压杆2提供了滑动空间，当卡环7与按压杆2之间卡合时能够使热屏蔽箱3与门板8之间固定牢固，从而方便门板8的使用，改变了传统的门板8复杂的关闭过程。
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.真空镀膜机热屏蔽装置，包括热屏蔽箱（3），所述热屏蔽箱（3）的一侧转动有门板（8），其特征在于：所述热屏蔽箱（3）的最内层固定有第一支撑板（12），所述第一支撑板（12）的外部套接有第二支撑板（15），所述第一支撑板（12）与第二支撑板（15）之间设有保温塑料（13），位于第二支撑板（15）外部所述热屏蔽箱（3）的内壁设有导流管（10）。2.如权利要求1所述的真空镀膜机热屏蔽装置，其特征在于，所述第一支撑板（12）与第二支撑板（15）之间固定有若干个固定板（14），相邻两个固定板（14）之间构成一个腔室，所述保温塑料（13）分布在腔室内。3.如权利要求2所述的真空镀膜机热屏蔽装置，其特征在于，位于第二支撑板（15）外部所述热屏蔽箱（3）顶部与底部之间均固定安装有连接管（11），所述导流管（10）有若干个且环形等距排列在两个连接管（11）之间。...
【专利技术属性】
技术研发人员：寇绍丽，程小林，王姣骄，
申请(专利权)人：成都光冠嘉富科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。