一种用于真空镀膜的样品高温加热装置制造方法及图纸

技术编号:36008742 阅读:12 留言:0更新日期:2022-12-17 23:34
本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,具体涉及真空镀膜设备技术领域,包括加热箱,加热箱的一侧固定插接有和内腔相互连通的导管,导管的轴向另一端活动插接有输气管,导管的外部设置有用于对输气管限位的限位机构。通过将导管轴向一端插接至输气管的内腔中,此时安装环轴向一端和限位环轴向一端贴合,然后沿着滑筒轴线方向给进,便可以让导向杆轴向一端和导向块斜坡端贴合,进而让滑竿沿着自身轴线方向滑动,便可以让L型板一端滑动至插接槽内腔中,达到对限位环限位的目的,取代了现有技术中通过通过螺栓对输气管安装的方式,减少了输气管安装时对密封垫的磨损,同时节省了输气管安装时所需的时间和精力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的样品高温加热装置


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
,具体为一种用于真空镀膜的样品高温加热装置。

技术介绍

[0002]目前,真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或者非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法,例如真空镀铝和真空镀铬等,是一种环保的镀膜技术,在实用镀膜设备时,需要实用真空抽气机对装置内部的空气实时的抽取,避免镀膜装置内部因为空气的存在导致薄膜在镀件上不够牢固,进而影响镀膜件的日后使用,而真空抽气机使用导管和镀膜装置连接时都是使用螺栓配合连接,导致导管在安装时需要逐个转动螺栓,进而导致密封垫的损坏,让导管在安装时需要耗费大量的时间和精力,因此需要一种新型的用于真空镀膜的样品高温加热装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,包括加热箱,加热箱的一侧固定插接有和内腔相互连通的导管,导管的轴向另一端活动插接有输气管,导管的外部设置有用于对输气管限位的限位机构。
[0005]限位机构包括安装环和限位环,安装环的内腔侧壁和导管的径向外壁固定连接,限位环的内腔侧壁和输气管的径向外壁固定连接,安装环的轴向一端开设有滑动槽,滑动槽的的内腔中滑动贴合有用于对限位环限位的L型板,限位环的径向外壁开设有用于供L型板插接的插接槽。
[0006]优选地,安装环的内部滑动安装有滑竿,L型板的另一端和滑竿的径向外壁固定连接,插接槽远离开口端的内腔侧壁固定安装有用于对限位环限位的限位块。
[0007]优选地,滑竿的轴向一端固定安装有复位弹簧,复位弹簧的另一端和安装环的内部固定连接。
[0008]优选地,安装环的轴向另一端滑动插接有导向杆,滑竿的径向外壁开设有用于供导向杆插接的导向槽,导向槽的内腔侧壁固定安装有用于对滑竿限位的导向块。
[0009]优选地,导管的径向外壁滑动安装有滑筒,滑筒的轴向一端和导向杆的轴向一端固定连接,滑筒的径向外壁滑动插接有用于对滑筒限位的插销,导管的径向外壁开设有用于供插销插接的凹槽。
[0010]优选地,导向杆的径向外壁固定安装有限位弹簧,限位弹簧的另一端和安装环的内部固定连接。
[0011]优选地,输气管的内腔侧壁固定安装有用于对导管密封的密封环。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果在于:
[0013]通过将导管轴向一端插接至输气管的内腔中,此时安装环轴向一端和限位环轴向一端贴合,然后沿着滑筒轴线方向给进,便可以让导向杆轴向一端和导向块斜坡端贴合,进而让滑竿沿着自身轴线方向滑动,便可以让L型板一端滑动至插接槽内腔中,达到对限位环限位的目的,取代了现有技术中通过通过螺栓对输气管安装的方式,减少了输气管安装时对密封垫的磨损,同时节省了输气管安装时所需的时间和精力。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术中主体结构示意图。
[0016]图2为本技术中限位机构的剖视图。
[0017]图3为本技术中图1中A处的结构放大图。
[0018]图4为本技术中图2中B处的结构放大图。
[0019]图中:1、加热箱;2、导管;3、限位机构;31、安装环;32、限位环;33、滑筒;34、插销;35、导向杆;36、导向块;37、滑竿;38、复位弹簧;39、滑动槽;310、L型板;311、限位块;312、插接槽;313、密封环;314、限位弹簧;4、输气管。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1,如图1

4所示,本技术提供了一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,包括加热箱1,加热箱1的一侧固定插接有和内腔相互连通的导管2,导管2的轴向另一端活动插接有输气管4,其中,输气管4的轴向另一端外接有真空抽气机。
[0022]通过输气管4和导管2可以对加热箱1内腔中的空气抽出,进而始终保持加热箱1内腔中保持真空的状态,导管2的外部设置有用于对输气管4限位的限位机构3。
[0023]限位机构3包括安装环31和限位环32,安装环31的内腔侧壁和导管2的径向外壁固定连接,限位环32的内腔侧壁和输气管4的径向外壁固定连接,安装环31的轴向一端开设有滑动槽39,滑动槽的39的内腔中滑动贴合有用于对限位环32限位的L型板310,其中,滑动槽39在安装环31轴向一端呈环形分布均匀开设有四个,四个滑动槽39的内腔中均滑动安装有L型板310。
[0024]限位环32的径向外壁开设有用于供L型板310插接的插接槽312,其中,插接槽312在限位环32的径向外壁呈环形分布均匀开设有四个,导管2轴向一端插接至输气管4内腔中,当安装环31轴向一端和限位环32轴向一端贴合时,推动L型板310,让L型板310的一端插接至插接槽312内腔中,便可以达到对限位环32限位的目的,取代了现有技术中通过通过螺栓对输气管4安装的方式,减少了输气管4安装时对密封垫的磨损,同时节省了输气管4安装
时所需的时间和精力。
[0025]实施例2
[0026]请参阅图1

4,在实施例1的基础上做出的进一步改进:
[0027]安装环31的内部滑动安装有滑竿37,L型板310的另一端和滑竿37的径向外壁固定连接,沿着滑竿37轴线方向按压,便可以让L型板310沿着滑动槽39开设的轨迹滑动,便可以让L型板310一端滑动至插接槽312内腔中。
[0028]插接槽312远离开口端的内腔侧壁固定安装有用于对限位环32限位的限位块311,其中,限位块311靠近插接槽312开口端的一端设置为斜坡状,L型板310一端滑动至插接槽312内腔中之后,L型板310一端和限位块311斜坡端贴合,便可以让输气管4沿着自身轴线方向滑动,进而让限位环32轴向一端和安装环31轴向一端他贴合的更加紧密。
[0029]滑竿37的轴向一端固定安装有复位弹簧38,复位弹簧38的另一端和安装环31的内部固定连接,复位弹簧38在初始位置时,L型板310一端和限位环32的径向外壁脱离贴合,进而便可以让限位环32轴向一端和安装环31轴向一端贴合。
[0030]沿着滑竿37轴线本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,包括加热箱(1),其特征在于:所述加热箱(1)的一侧固定插接有和内腔相互连通的导管(2),所述导管(2)的轴向另一端活动插接有输气管(4),所述导管(2)的外部设置有用于对输气管(4)限位的限位机构(3);所述限位机构(3)包括安装环(31)和限位环(32),所述安装环(31)的内腔侧壁和导管(2)的径向外壁固定连接,所述限位环(32)的内腔侧壁和输气管(4)的径向外壁固定连接,所述安装环(31)的轴向一端开设有滑动槽(39),所述滑动槽(39)的内腔中滑动贴合有用于对限位环(32)限位的L型板(310),所述限位环(32)的径向外壁开设有用于供L型板(310)插接的插接槽(312)。2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,其特征在于,所述安装环(31)的内部滑动安装有滑竿(37),所述L型板(310)的另一端和滑竿(37)的径向外壁固定连接,所述插接槽(312)远离开口端的内腔侧壁固定安装有用于对限位环(32)限位的限位块(311)。3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的样品高温加热装置,其特征在于,所述滑竿(37)的轴向一端固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员:程小林王健平陈伟
申请(专利权)人:成都光冠嘉富科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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