一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域，尤其为一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，针对目前的真空镀膜机的散热通常是采用自然冷却，散热效率低，容易因为高温造成真空镀膜机损坏的问题，现提出如下方案，其包括机体，所述机体内固定设置有换热管，所述机体的后侧固定设置有滤网，所述机体内滑动设置有滑动板，所述滑动板的前侧转动设置有两个连接轴，所述滑动板的后侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与位于上方的连接轴固定连接设置，两个连接轴的外侧均固定套设有皮带轮。本实用新型专利技术结构设计合理，通过换热管通入冷却水换热的同时，使得两个扇叶往复左右运动对机体内进行吹风散热，散热效率高，散热效果好。散热效果好。散热效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，尤其涉及一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]然而，目前的真空镀膜机的散热通常是采用自然冷却，散热效率低，容易因为高温造成真空镀膜机损坏的问题，因此我们提出了一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决目前的真空镀膜机的散热通常是采用自然冷却，散热效率低，容易因为高温造成真空镀膜机损坏的缺点，而提出的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括机体，所述机体内固定设置有换热管，所述机体的后侧固定设置有滤网，所述机体内滑动设置有滑动板，所述滑动板的前侧转动设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括机体（1），其特征在于，所述机体（1）内固定设置有换热管（2），所述机体（1）的后侧固定设置有滤网（3），所述机体（1）内滑动设置有滑动板（4），所述滑动板（4）的前侧转动设置有两个连接轴（5），所述滑动板（4）的后侧固定安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的输出轴与位于上方的连接轴（5）固定连接设置，两个连接轴（5）的外侧均固定套设有皮带轮（7），两个皮带轮（7）上传动设置有同一个皮带（8），两个连接轴（5）的前端均固定设置有扇叶（9），所述机体（1）的左侧固定安装有第二电机（10），所述第二电机（10）的输出轴上固定设置有凸轮（11），所述机体（1）的左侧滑动设置有滑杆（12），所述滑杆（12）的左端固定设置有侧板（13），所述凸轮（11）与侧板（13）滚动接触，所述侧板（13）的右侧固定设置有弹簧（14），所述弹簧（14）固定设置在机体（1）的左侧，所述滑杆（12）延伸至机体（1）内，所述滑杆（12）的底侧固定设置有齿条（15），所述机体（1）内转动设置有卡轴，所述卡轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：王健平，程小林，王姣骄，
申请(专利权)人：成都光冠嘉富科技有限公司，
类型：新型
国别省市：