【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜的修正挡板结构
[0001]本技术涉及真空镀膜机相关
,具体为一种真空镀膜的修正挡板结构。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,真空镀膜机在镀膜的过程中需要用到挡板结构对镀膜过程进行保护,然而现有技术中的一种真空镀膜的修正挡板结构存在以下问题:
[0003]现有的挡板结构都是固定形状,而固定形状的挡板只能够单一范围的进行镀膜保护,使用范围有限,因此需要一种新型的真空镀膜的修正挡板结构来解决上述技术问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜的修正挡板结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种真空镀膜的修正挡板结构,包括挡板,所述挡板的两端转动安装有支撑盘,所述挡板的中心处固定安装有固定杆,所述固定杆的外侧壁转动安装 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜的修正挡板结构,包括挡板(2),所述挡板(2)的两端转动安装有支撑盘(1),其特征在于:所述挡板(2)的中心处固定安装有固定杆(6),所述固定杆(6)的外侧壁转动安装有支撑板(8),位于固定杆(6)两侧所述挡板(2)的上表面开设有卡槽(17),所述支撑盘(1)的上表面固定有与卡槽(17)相匹配的卡接杆(7)。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜的修正挡板结构,其特征在于,所述挡板(2)的两端均开设有一组凹槽(15),所述支撑盘(1)靠近挡板(2)的一端固定安装有与凹槽(15)相匹配的连接块(16),所述连接块(16)与凹槽(15)之间转动连接。3.如权利要求2所述的一种真空镀膜的修正挡板结构,其特征在于,位于固定杆(6)外部所述挡板(2)的上表面开设有环形槽(5),所述环形槽(5)的内部滑动安装有滑块(12)。4.如权利要求3所述的一种真空镀膜的修正...
【专利技术属性】
技术研发人员:王健平,寇绍丽,李亮,
申请(专利权)人:成都光冠嘉富科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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