一种真空镀膜的修正挡板结构制造技术

技术编号:34572742 阅读:32 留言:0更新日期:2022-08-17 13:04
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜的修正挡板结构,涉及真空镀膜机相关技术领域,包括挡板,挡板的两端转动安装有支撑盘,挡板的中心处固定安装有固定杆,固定杆的外侧壁转动安装有支撑板,位于固定杆两侧挡板的上表面开设有卡槽,支撑盘的上表面固定有与卡槽相匹配的卡接杆,挡板的两端均开设有一组凹槽,支撑盘靠近挡板的一端固定安装有与凹槽相匹配的连接块,连接块与凹槽之间转动连接,通过在挡板的两端设置转动的支撑盘,然后利用卡接杆与卡槽之间的卡接可以使支撑盘翻转到挡板的上表面,从而实现挡板形状的切换,从而改变传统的固定形状的挡板只能够单一范围对镀膜过程进行保护,从而提高了挡板的使用范围。从而提高了挡板的使用范围。从而提高了挡板的使用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜的修正挡板结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机相关
,具体为一种真空镀膜的修正挡板结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,真空镀膜机在镀膜的过程中需要用到挡板结构对镀膜过程进行保护,然而现有技术中的一种真空镀膜的修正挡板结构存在以下问题:
[0003]现有的挡板结构都是固定形状,而固定形状的挡板只能够单一范围的进行镀膜保护,使用范围有限,因此需要一种新型的真空镀膜的修正挡板结构来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜的修正挡板结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种真空镀膜的修正挡板结构,包括挡板,所述挡板的两端转动安装有支撑盘,所述挡板的中心处固定安装有固定杆,所述固定杆的外侧壁转动安装有支撑板,位于固定杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜的修正挡板结构,包括挡板(2),所述挡板(2)的两端转动安装有支撑盘(1),其特征在于:所述挡板(2)的中心处固定安装有固定杆(6),所述固定杆(6)的外侧壁转动安装有支撑板(8),位于固定杆(6)两侧所述挡板(2)的上表面开设有卡槽(17),所述支撑盘(1)的上表面固定有与卡槽(17)相匹配的卡接杆(7)。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜的修正挡板结构,其特征在于,所述挡板(2)的两端均开设有一组凹槽(15),所述支撑盘(1)靠近挡板(2)的一端固定安装有与凹槽(15)相匹配的连接块(16),所述连接块(16)与凹槽(15)之间转动连接。3.如权利要求2所述的一种真空镀膜的修正挡板结构,其特征在于,位于固定杆(6)外部所述挡板(2)的上表面开设有环形槽(5),所述环形槽(5)的内部滑动安装有滑块(12)。4.如权利要求3所述的一种真空镀膜的修正...

【专利技术属性】
技术研发人员:王健平寇绍丽李亮
申请(专利权)人:成都光冠嘉富科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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