一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，涉及晶片处理技术领域，包括内环金属，所述内环金属的一端等角度开设有多个内环卡槽，所述内环金属的两端通过内环卡箍相连接，所述内环金属的外侧设置有外环金属。本实用新型专利技术通过利用橡胶隔片的存在，可以将晶片能稳定的卡在橡胶隔片之间，然后利用内环金属的存在，使得晶片能够形成稳定的样品圆环带，然后通过拉动内环金属，使得样品圆环带能够变成斜面，稳定的放置在伞形工件架上，进行整面蒸镀，最后还可以通过来动内环金属来对所有的晶片进行翻面，提高对晶片的整面蒸镀效率，操作简单，结构稳定，便于工作人员使用。便于工作人员使用。便于工作人员使用。

【技术实现步骤摘要】
一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件


[0001]本技术涉及晶片处理
，具体为一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件。

技术介绍

[0002]在对晶片的蒸镀处理中，在真空蒸发时(热阻蒸发或电子束蒸发)，真空腔体上方配置伞型工件架时，通常通过挖槽安置样品，但将样品置于槽内时，卡槽边缘会遮挡住样品四周或局部，并且当双面蒸镀需要样品翻面时只能一个个卡槽操作，操作繁琐，工作效率低。针对图形化要求较高的样品，即图形布满样品整个表面，此时需要整面蒸镀块状样品，而有表面遮挡的卡槽则无法满足此要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，以解决上述
技术介绍
中提出的蒸镀效率质量较低的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，包括内环金属，所述内环金属的一端等角度开设有多个内环卡槽，所述内环金属的两端通过内环卡箍相连接，所述内环金属的外侧设置有外环金属，且外环金属的两端通过外环卡箍相连接，所述外环金属的外侧套设有外环橡胶套，且外环橡胶套的内部等角度连接有多个橡胶隔片，所述橡胶隔片的一端贯穿内环卡槽内部一端并连接有橡胶卡头。
[0005]优选的，所述外环金属和内环金属的形状均为类圆环型，且外环金属和内环金属位于同一平面内。
[0006]优选的，所述内环金属的内部为中空状，且内环金属内部横截面的形状为半圆形。
[0007]优选的，所述内环卡槽内部宽度的大小大于橡胶隔片一端宽度大小，且内环卡槽内部宽度的大小小于橡胶卡头宽度大小。
[0008]优选的，所述橡胶隔片和内环卡槽的数量相同，且橡胶隔片设置在内环卡槽的一端。
[0009]与相关技术相比较，本技术提供的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件具有如下有益效果：
[0010]本技术提供有橡胶隔片和内环金属，通过利用橡胶隔片的存在，可以将晶片能稳定的卡在橡胶隔片之间，然后利用内环金属的存在，使得晶片能够形成稳定的样品圆环带，然后通过拉动内环金属，使得样品圆环带能够变成斜面，稳定的放置在伞形工件架上，进行整面蒸镀，最后还可以通过来动内环金属来对所有的晶片进行翻面，提高对晶片的整面蒸镀效率，操作简单，结构稳定，便于工作人员使用。
附图说明
[0011]图1为本技术的正视结构示意图；
[0012]图2为本技术的正视剖面结构示意图；
[0013]图3为本技术的侧视剖面结构示意图；
[0014]图4为本技术的A处放大结构示意图。
[0015]图中：1、内环卡箍；2、橡胶隔片；3、外环橡胶套；4、内环卡槽；5、内环金属；6、橡胶卡头；7、外环金属；8、外环卡箍。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]实施例1：请参阅图1
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4，一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，包括内环金属5，其特征在于：内环金属5的一端等角度开设有多个内环卡槽4，内环金属5的两端通过内环卡箍1相连接，内环金属5的外侧设置有外环金属7，且外环金属7的两端通过外环卡箍8相连接，外环金属7的外侧套设有外环橡胶套3，且外环橡胶套3的内部等角度连接有多个橡胶隔片2，橡胶隔片2的一端贯穿内环卡槽4内部一端并连接有橡胶卡头6；
[0018]外环金属7和内环金属5的形状均为类圆环型，且外环金属7和内环金属5位于同一平面内；
[0019]内环金属5的内部为中空状，且内环金属5内部横截面的形状为半圆形；
[0020]内环卡槽4内部宽度的大小大于橡胶隔片2一端宽度大小，且内环卡槽4内部宽度的大小小于橡胶卡头6宽度大小；
[0021]橡胶隔片2和内环卡槽4的数量相同，且橡胶隔片2设置在内环卡槽4的一端；
[0022]具体地，如图1、图2、图3和图4所示，通过在外环金属7的外侧套上外环橡胶套3，然后橡胶隔片2根据晶片尺寸设计好间距，固定在外环橡胶套3的外侧，同时外环橡胶套3在外环金属7的外侧有一定角度转动空间，该角度大小根据伞型工件架弧度，通过转动外环橡胶套3使得橡胶隔片2打开成到一定角度，根据样品尺寸控制，方便将晶片逐片放入橡胶隔片2之间，从而便可以初步缩紧外环卡箍8使得外环金属7形成封闭圆环，该过程橡胶隔片2便可以和晶片形成样品圆环带，随后将每条橡胶隔片2远离外环橡胶套3的橡胶卡头6卡到内环金属5相应的内环卡槽4中，通过进一步调节内环卡箍1和外环卡箍8进一步卡紧样品环使晶片形成稳定整体样品圆环带，最后通过缓慢向上提起内环金属5，利用橡胶的弹性拉升抬高内环金属5到达一定高度，使其带动每个橡胶隔片2绕着外环金属7转动一定角度，使样品圆环带转变成斜面，斜面角度根据小工件在伞型工件架位置具体计算，此时再次调整内环金属5，使样品圆环带完全固定成整体小工件，再将小工件固定到伞型架上后可贴紧伞型工件架穹面下表面，进行整面蒸镀；
[0023]在进行翻面过程中，通过调松内环卡箍1使内环金属5直径缓慢增大，并保证样品呈现夹紧状态，将内环金属5往相反方向拉升相同角度，再收紧内环卡箍1使整体小工件结果稳定，此时便可以完成样品整体翻面，可继续蒸镀另一晶片表面。
[0024]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，包括内环金属(5)，其特征在于：所述内环金属(5)的一端等角度开设有多个内环卡槽(4)，所述内环金属(5)的两端通过内环卡箍(1)相连接，所述内环金属(5)的外侧设置有外环金属(7)，且外环金属(7)的两端通过外环卡箍(8)相连接，所述外环金属(7)的外侧套设有外环橡胶套(3)，且外环橡胶套(3)的内部等角度连接有多个橡胶隔片(2)，所述橡胶隔片(2)的一端贯穿内环卡槽(4)内部一端并连接有橡胶卡头(6)。2.根据权利要求1所述的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，其特征在于：所述外环金属(7)和内环金属(5)的形状均为类圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁小燕，
申请(专利权)人：苏州哥地光子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：