新型蒸发舟制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸发舟领域，尤其是新型蒸发舟。该蒸发舟包括蒸发舟本体、盖子，所述盖子盖合在蒸发舟本体上，蒸发舟本体由槽体和通电电极组成，槽体左右两侧设有两个相互对称的弧形侧板，槽体前后两端分别固定有通电电极，弧形侧板的凸起部分位于槽体内部。该实用新型专利技术通过在蒸发舟本体上设置左右两个弧形侧板，来形成一个这边槽。从而可以不使用修正板，进而避免因修正板的形状或位置变化而导致薄膜厚度均匀性发生变化，提高了实际生产当中膜系和产品的稳定性。品的稳定性。品的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
新型蒸发舟


[0001]本技术涉及蒸发舟领域，尤其是新型蒸发舟。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]随着我国光学薄膜行业的高速发展，尤其是ZNS等熔点较低的材料使用阻蒸进行蒸发，而现有的阻蒸需要使用修正板，修正板的形状或位置变化会导致薄膜厚度均匀性发生变化，从而影响实际生产当中膜系和产品的稳定性。

技术实现思路

[0004]为了克服现有的蒸发舟生产产品不稳定的不足，本技术提供了新型蒸发舟。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型蒸发舟，包括蒸发舟本体、盖子，所述盖子盖合在蒸发舟本体上，蒸发舟本体由槽体和通电电极组成，槽体左右两侧设有两个相互对称的弧形侧板，槽体前后两端分别固定有通电电极，弧形侧板的凸起部分位于槽体内部。
[0006]根据本技术的另一个实施例，进一步包括所述盖子由盖子本体、弧形边、通电电极一组成，盖子本体左右两侧分别设有两个相互对称的弧形边，盖子本体前后两端分别固定有通电电极一，弧形边的凸起部分位于盖子本体内部。
[0007]根据本技术的另一个实施例，进一步包括所述盖子本体上分布有数个穿孔。
[0008]本技术的有益效果是，该技术通过在蒸发舟本体上设置左右两个弧形侧板，来形成一个这边槽。从而可以不使用修正板，进而避免因修正板的形状或位置变化而导致薄膜厚度均匀性发生变化，提高了实际生产当中膜系和产品的稳定性。
附图说明
[0009]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0010]图1是本技术的蒸发舟本体的结构示意图；
[0011]图2是本技术的盖子的结构示意图；
[0012]图中1. 蒸发舟本体，2. 盖子，11. 槽体，12. 通电电极，13. 弧形侧板，21. 盖子本体，22. 弧形边，23. 通电电极一，24. 穿孔。
具体实施方式
[0013]图1是本技术的蒸发舟本体的结构示意图； 图2是本技术的盖子的结构示意图。
[0014]一种新型蒸发舟，包括蒸发舟本体1、盖子2，所述盖子2盖合在蒸发舟本体1上，蒸
发舟本体1由槽体11和通电电极12组成，槽体11左右两侧设有两个相互对称的弧形侧板13，槽体11前后两端分别固定有通电电极12，弧形侧板13的凸起部分位于槽体11内部。
[0015]盖子2由盖子本体21、弧形边22、通电电极一23组成，盖子本体21左右两侧分别设有两个相互对称的弧形边22，盖子本体21前后两端分别固定有通电电极一23，弧形边22的凸起部分位于盖子本体21内部。
[0016]盖子本体21上分布有数个穿孔24。穿孔24直径为2.5mm,相邻穿孔24之间的间距为3mm。
[0017]将蒸发舟固定在电极上，电极通过强电流，加热钼舟后，蒸发材料。在蒸发舟本体1内放入材料后，用盖子2盖住蒸发舟本体1。带有穿孔24的盖子2作用是可以防止镀膜时膜料喷溅，使镀膜材料更均匀的蒸镀在镀膜伞架上。机台内部将不需要修正板系统进行工件盘上面镀膜厚度的修正，这样简化了机台内部的构造，同时也减少了由于更换修正板，清洁机台时更换修正板系统的部件以后出现的一些安装误差带来的机台均匀性的变化。因此，本技术既可以满足阻蒸蒸发材料的作用，又可以代替补偿挡板，满足镀膜生产需要。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型蒸发舟，其特征是，包括蒸发舟本体（1）、盖子（2），所述盖子（2）盖合在蒸发舟本体（1）上，蒸发舟本体（1）由槽体（11）和通电电极（12）组成，槽体（11）左右两侧设有两个相互对称的弧形侧板（13），槽体（11）前后两端分别固定有通电电极（12），弧形侧板（13）的凸起部分位于槽体（11）内部。2.根据权利要求1所述的新型蒸发舟，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍刚华，
申请(专利权)人：常州市万华激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：