【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶片处理，具体为一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件。
技术介绍
1、在对晶片的蒸镀处理中，在真空蒸发时(热阻蒸发或电子束蒸发)，真空腔体上方配置伞型工件架时，通常通过挖槽安置样品，但将样品置于槽内时，卡槽边缘会遮挡住样品四周或局部，并且当双面蒸镀需要样品翻面时只能一个个卡槽操作，操作繁琐，工作效率低。针对图形化要求较高的样品，即图形布满样品整个表面，此时需要整面蒸镀块状样品，而有表面遮挡的卡槽则无法满足此要求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，以解决上述
技术介绍
中提出的蒸镀效率质量较低的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，包括内环金属，所述内环金属的一端等角度开设有多个内环卡槽，所述内环金属的两端通过内环卡箍相连接，所述内环金属的外侧设置有外环金属，且外环金属的两端通过外环卡箍相连接，所述外环金属的外侧套设有外环橡胶套，且外环橡胶套的内部等角度连接有多个橡胶隔片，所述橡胶隔片的一端贯穿内环卡槽内部一端并连接有橡胶卡头。
3、优选的，所述外环金属和内环金属的形状均为类圆环型，且外环金属和内环金属位于同一平面内。
4、优选的，所述内环金属的内部为中空状，且内环金属内部横截面的形状为半圆形。
5、优选的，所述内环卡槽内部宽度的大小大于橡胶隔片一端宽度大小，且内环卡槽内部宽度的大小小于橡胶卡头宽度大小。
6、优选的，
7、与相关技术相比较，本专利技术提供的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件具有如下有益效果：
8、本专利技术提供有橡胶隔片和内环金属，通过利用橡胶隔片的存在，可以将晶片能稳定的卡在橡胶隔片之间，然后利用内环金属的存在，使得晶片能够形成稳定的样品圆环带，然后通过拉动内环金属，使得样品圆环带能够变成斜面，稳定的放置在伞形工件架上，进行整面蒸镀，最后还可以通过来动内环金属来对所有的晶片进行翻面，提高对晶片的整面蒸镀效率，操作简单，结构稳定，便于工作人员使用。
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1.一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，包括内环金属(5)，其特征在于：所述内环金属(5)的一端等角度开设有多个内环卡槽(4)，所述内环金属(5)的两端通过内环卡箍(1)相连接，所述内环金属(5)的外侧设置有外环金属(7)，且外环金属(7)的两端通过外环卡箍(8)相连接，所述外环金属(7)的外侧套设有外环橡胶套(3)，且外环橡胶套(3)的内部等角度连接有多个橡胶隔片(2)，所述橡胶隔片(2)的一端贯穿内环卡槽(4)内部一端并连接有橡胶卡头(6)。
2.根据权利要求1所述的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，其特征在于：所述外环金属(7)和内环金属(5)的形状均为类圆环型，且外环金属(7)和内环金属(5)位于同一平面内。
3.根据权利要求1所述的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，其特征在于：所述内环金属(5)的内部为中空状，且内环金属(5)内部横截面的形状为半圆形。
4.根据权利要求1所述的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，其特征在于：所述内环卡槽(4)内部宽度的大小大于橡胶隔片(2)一端宽度大小，且内环卡槽(4)内部宽度的大小小于橡胶卡头(
5.根据权利要求1所述的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，其特征在于：所述橡胶隔片(2)和内环卡槽(4)的数量相同，且橡胶隔片(2)设置在内环卡槽(4)的一端。
...【技术特征摘要】
1.一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，包括内环金属(5)，其特征在于：所述内环金属(5)的一端等角度开设有多个内环卡槽(4)，所述内环金属(5)的两端通过内环卡箍(1)相连接，所述内环金属(5)的外侧设置有外环金属(7)，且外环金属(7)的两端通过外环卡箍(8)相连接，所述外环金属(7)的外侧套设有外环橡胶套(3)，且外环橡胶套(3)的内部等角度连接有多个橡胶隔片(2)，所述橡胶隔片(2)的一端贯穿内环卡槽(4)内部一端并连接有橡胶卡头(6)。
2.根据权利要求1所述的一种可整面蒸镀、快捷翻面的夹持工件，其特征在于：所述外环金属(7)和内环金属(5)的形状均为类圆环型，且...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁小燕，
申请(专利权)人：苏州哥地光子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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