一种多工位连续式真空镀膜设备制造技术

本申请涉及真空镀膜技术领域，且提供了一种多工位连续式真空镀膜设备，包括真空箱，真空箱的上表面设有真空泵，真空箱的下表面固定连接有底座，真空箱的表面开设有放料口。通过设置的密封组件、控制组件和真空箱等装置的设置，当需要将镀膜完成后的产品取出时，只需要启伺服电机，伺服电机带动传动筒进行转动，传动筒带动密封组件移动到指定位置后，转动把手，把手控制密封板对出料口周围进行密封，密封完成后拉动密封门将产品取出，并将新的产品放置到放料板表面即可解决了现有技术中的产品取出时需要破真空，而产品的放入要抽真空，因而大大增加了产品的生产时间，从而相应增加了生产成本，停顿之间长，影响加工效率的问题。影响加工效率的问题。影响加工效率的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位连续式真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，具体而言，涉及一种多工位连续式真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]在真空镀膜领域，一般将需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构－迷状结构－层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]经检搜中国专利申请号20192082864.X，公开了一种方便进料的真空镀膜设备，包括镀膜机壳、进料门、转轴、把手、防滑软套、密封槽、密封圈、固定块、减震垫以及螺纹柱，镀膜机壳前端面安装有进料门，进料门左端面连接有转轴，进料门前端面安装有把手，把手外表面套设有防滑软套，镀膜机壳内部前侧开设有密封槽，密封槽内部粘接有密封圈，密封圈内部连接有固定块，密封圈后侧设置有减震垫，减震垫内部安装有螺纹柱，该设计解决了原有真空镀膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位连续式真空镀膜设备，包括真空箱(1)，其特征在于，所述真空箱(1)的上表面设有真空泵(2)，所述真空箱(1)的下表面固定连接有底座，所述真空箱(1)的表面开设有放料口(3)，所述真空箱(1)表面对应放料口(3)处开设有滑槽，所述真空箱(1)通过滑槽滑动连接有密封门(4)，所述密封门(4)的两侧设有与滑槽相互适配的密封滑块，所述真空箱(1)的内部转动连接有传动筒(6)，所述传动筒(6)的上表面设有密封组件(5)，所述传动筒(6)的内部设有传动组件(7)，所述传动筒(6)的外弧面转动连接有支撑环(8)，所述支撑环(8)的外弧面固定连接有支撑架，所述支撑架远离支撑环(8)的一端固定连接于工位板，所述底座的上表面设有控制组件(9)。2.根据权利要求1所述的一种多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于，所述密封组件(5)包括挡板(501)，所述挡板(501)固定连接于传动筒(6)的上表面，所述挡板(501)的内部开设有放置槽，所述放置槽的内底壁转动连接有控制齿轮(502)，所述控制齿轮(502)的一侧固定连接有连接杆(504)，所述连接杆(504)的一端贯穿真空箱(1)的内顶壁并延伸至外部。3.根据权利要求2所述的一种多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于，所述控制齿轮(502)的表面啮合连接有齿板(503)，所述齿板(503)的数量为四个，四个所述齿板(503)呈对称分布于控制齿轮(502)的表面，所述齿板(503)的一端固定连接有密封板(505)，所述连接杆(504)的一端固定连接有把手，所述挡板(501)的一侧固定连接有极阴板(10)。4.根据权利要求1所述的一种多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于，所述传动组件(7)包括电机箱，所述电机箱固定连接于传动筒(6)的下表面，所述电机箱的内底壁固定连接有传动电机(701)，所述传动电机(701)的输出端固定连接有传动齿轮(702)。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：张春峰，
申请(专利权)人：深圳市杰能达实业有限公司，
类型：新型
国别省市：