PVD镀膜转架机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD镀膜转架机构，包括转架，转架顶部和底部中心位置固定有转架轴，转架中部位置沿圆周方向分布有若干与转架转动连接的挂架轴，挂架轴上装配有镀件挂具，在底部的转架轴上固定有主动传动轮，挂架轴向下穿过转架，并对应主动传动轮在挂架轴底部安装有从动传动轮，从动传动轮沿圆周方向依次传动连接后与主动传动轮传动连接，形成环状的间接传输结构。本实用新型专利技术的PVD镀膜转架机构，底部通过间接传动方式，以减小传动齿轮大小，降低成本和转移难度。低成本和转移难度。低成本和转移难度。

【技术实现步骤摘要】
PVD镀膜转架机构


[0001]本技术涉及PVD镀膜设备
，尤其涉及一种PVD镀膜转架机构。

技术介绍

[0002]物理气相沉积(PVD)是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气相沉积镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。
[0003]其中，对于真空离子镀膜，是借助于惰性气体辉光放电，使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化，离子经电场加速，以较高能量轰击工件表面，形成镀层。
[0004]一般待加工的工件是挂设在镀膜挂架(镀膜杆)上，挂架则安设在转架上。镀膜过程中，转架旋转带动被镀工件在镀膜腔体内旋转，旋转的工件绕经靶材附近时，靶材粒子沉积到工件表面进行镀膜。期间挂架也会自转，以使得镀件在经过靶材时，能够镀膜更为均匀。
[0005]但是一般转架采用行星齿轮结构进行自转并驱动挂架转动，采用行星齿轮结构一般行星太阳齿轮直径较大，尤其是对于大型转架来说，对齿轮要求更高，成本也会相对更高。同时，底部设置行星齿轮，会占用底部大量空间，也不利于转架后续从镀膜腔室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD镀膜转架机构，包括转架，转架顶部和底部中心位置固定有转架轴，转架中部位置沿圆周方向分布有若干与转架转动连接的挂架轴，挂架轴上装配有镀件挂具，其特征在于：在底部的转架轴上固定有主动传动轮，挂架轴向下穿过转架，并对应主动传动轮在挂架轴底部安装有从动传动轮，从动传动轮沿圆周方向依次传动连接后与主动传动轮传动连接，形成环状的间接传输结构。2.根据权利要求1所述的PVD镀膜转架机构，其特征在于：主动传动轮和从动传动轮为齿轮、皮带轮或链轮。3.根据权利要求1所述的PVD镀膜转架机构，其特征在于：在转架底部两侧对称安装有轨道轮。4.根据权利要求3所述的PVD镀膜转架机构，其特征在于：转架轴端部设置为异形状。5.根据权利要求4所述的PV...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭苏红，廖勇，祝恒，
申请(专利权)人：浙江海量纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：