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本实用新型公开了一种PVD镀膜转架机构,包括转架,转架顶部和底部中心位置固定有转架轴,转架中部位置沿圆周方向分布有若干与转架转动连接的挂架轴,挂架轴上装配有镀件挂具,在底部的转架轴上固定有主动传动轮,挂架轴向下穿过转架,并对应主动传动轮在挂...该专利属于浙江海量纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江海量纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种PVD镀膜转架机构,包括转架,转架顶部和底部中心位置固定有转架轴,转架中部位置沿圆周方向分布有若干与转架转动连接的挂架轴,挂架轴上装配有镀件挂具,在底部的转架轴上固定有主动传动轮,挂架轴向下穿过转架,并对应主动传动轮在挂...