下载一种磁场强度可调节的条形离子源结构的技术资料

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本技术公开了一种磁场强度可调节的条形离子源结构,属于真空镀膜机设备技术领域,目的在于解决传统的条形离子源磁场强度不合适的时候很难调整的问题。其包括真空箱体、阴极基板、磁铁组件、绝缘法兰、垫高法兰、冷却铜板、阳极基板,阴极基板安装于真空箱体上...
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