【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种门板检测系统、方法和装载机。
技术介绍
1、半导体器件加工过程中需要与之对应的存储和转移的装置，比如晶圆盒(foup)是晶圆制造过程中必不可少的、用于存储和转移晶圆的装置。在晶圆制造过程中，需要多次将晶圆从晶圆盒中取出并送往加工位，加工完成之后再送入晶圆盒中进行存储或转移，晶圆盒包括晶圆盒门板和晶圆盒本体。
2、晶圆装载机(loadport)，在半导体生产过程中，晶圆需要经常在洁净与超洁净环境间转换，转换过程中为保证晶圆不受微粒子附着，需要使用晶圆装载机作为环境转换的输入输出端口，晶圆装载机主要用来装载和卸载晶圆盒。在装载时打开晶圆盒门板，使用mapping(映射定位)功能定位晶圆盒内晶圆位置以及是否偏位，卸载时晶圆装载机会触发晶圆盒门板的锁结构，将晶圆盒的门板与晶圆盒本体锁在一起，之后将晶圆盒退出到取放料位置，随后使用天车等物流设备将晶圆盒运走。
3、目前的晶圆装载机仅具备晶圆盒门板锁住功能，不具备检测晶圆盒门板是否锁牢的功能，随着半导体行业降本增效，越来越多种类的晶圆盒被应用在集成电路的生产制造过程中，种类繁多的晶圆盒产品质量参差不齐，门板因为未锁住而掉落的情况经常发生，造成经济损失的同时也存在很大的安全隐患。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种门板检测系统、方法和装载机，用以解决现有技术中种类繁多的晶圆盒产品质量参差不齐，门板因为未锁住而掉落的情况经常发生，造成经济损失的同时也存在很大的安全隐患的缺陷。
3、所述吸附机构用于吸附待检测目标的门板；
4、所述驱动机构用于在所述门板被吸附后，带动所述待检测目标移动；
5、所述传感器机构用于根据所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置，得到检测状态信息；
6、所述控制机构用于根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果。
7、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述控制机构还用于获取所述驱动机构对应的移动开始时间和移动停止时间，对应的，所述根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果，包括：
8、若所述检测状态信息发生变化，得到状态变化时间，并根据所述移动开始时间和所述状态变化时间，确定检测时间，否则，根据所述移动开始时间和所述移动停止时间，确定所述检测时间；
9、根据所述检测时间和预设的检测阈值之间的对比结果，确定所述门板的检测结果。
10、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述传感器机构包括第一传感器机构和第二传感器机构，对应的，所述若所述检测状态信息发生变化，得到状态变化时间，并根据所述移动开始时间和所述状态变化时间，确定检测时间，包括：
11、若所述第一传感器机构获取的第一检测状态信息和所述第二传感器机构获取的第二检测状态信息发生变化，得到第一状态变化时间和第二状态变化时间，并根据所述移动开始时间以及所述第一状态变化时间和所述第二状态变化时间，确定所述检测时间。
12、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述根据所述检测时间和预设的检测阈值之间的对比结果，确定所述门板的检测结果，包括：
13、若所述检测时间小于等于所述检测阈值，确定所述门板的检测结果为正常，否则所述门板的检测结果为异常；
14、其中，所述检测阈值基于基准检测时间和预设的阈值参数确定，所述基准检测时间为正常的检测目标对应的检测时间。
15、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述传感器机构包括传感器支架和检测传感器，所述传感器支架用于固定所述检测传感器，所述检测传感器用于通过对射光或反射光确定所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置。
16、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述检测传感器的投光部和受光部中的至少一个设有遮光片以减少光的散射。
17、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述吸附机构包括吸盘和吸盘控制单元，所述吸盘控制单元用于根据所述控制机构发送的吸附控制指令控制所述吸盘以吸附所述门板的预设部位。
18、根据本专利技术提供的一种门板检测系统，所述控制机构包括多通道数据采集单元和数据处理单元，所述多通道数据采集单元分别与所述吸附机构、所述驱动机构、所述传感器机构连接，所述数据处理单元与所述多通道数据采集单元连接。
19、本专利技术还提供了一种门板检测方法，包括：
20、吸附待检测目标的门板并带动所述待检测目标移动；
21、根据所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置，得到检测状态信息；
22、根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果。
23、本专利技术还提供了一种装载机，包括任一项所述的门板检测系统。
24、本专利技术提供的门板检测系统、方法和装载机，包括至少一传感器机构、至少一吸附机构、驱动机构和控制机构；所述吸附机构用于吸附待检测目标的门板；所述驱动机构用于在所述门板被吸附后，带动所述待检测目标移动；所述传感器机构用于根据所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置，得到检测状态信息；所述控制机构用于根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果。本专利技术对待检测目标的门板进行检测，确保门板牢固不会掉落，避免因门板掉落造成的半导体器件破损，消除了安全隐患。
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1.一种门板检测系统，其特征在于，包括至少一传感器机构、至少一吸附机构、驱动机构和控制机构；
2.根据权利要求1所述的门板检测系统，其特征在于，所述控制机构还用于获取所述驱动机构对应的移动开始时间和移动停止时间，对应的，所述根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果，包括：
3.根据权利要求2所述的门板检测系统，其特征在于，所述传感器机构包括第一传感器机构和第二传感器机构，对应的，所述若所述检测状态信息发生变化，得到状态变化时间，并根据所述移动开始时间和所述状态变化时间，确定检测时间，包括：
4.根据权利要求2所述的门板检测系统，其特征在于，所述根据所述检测时间和预设的检测阈值之间的对比结果，确定所述门板的检测结果，包括：
5.根据权利要求1-4任一项所述的门板检测系统，其特征在于，所述传感器机构包括传感器支架和检测传感器，所述传感器支架用于固定所述检测传感器，所述检测传感器用于通过对射光或反射光确定所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置。
6.根据权利要求5所述的门板检测系统，其特征在于，所述检测传感器的投光部和受
7.根据权利要求1所述的门板检测系统，其特征在于，所述吸附机构包括吸盘和吸盘控制单元，所述吸盘控制单元用于根据所述控制机构发送的吸附控制指令控制所述吸盘以吸附所述门板的预设部位。
8.根据权利要求1所述的门板检测系统，其特征在于，所述控制机构包括多通道数据采集单元和数据处理单元，所述多通道数据采集单元分别与所述吸附机构、所述驱动机构、所述传感器机构连接，所述数据处理单元与所述多通道数据采集单元连接。
9.一种门板检测方法，其特征在于，包括：
10.一种装载机，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的门板检测系统。
...【技术特征摘要】
1.一种门板检测系统，其特征在于，包括至少一传感器机构、至少一吸附机构、驱动机构和控制机构；
2.根据权利要求1所述的门板检测系统，其特征在于，所述控制机构还用于获取所述驱动机构对应的移动开始时间和移动停止时间，对应的，所述根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果，包括：
3.根据权利要求2所述的门板检测系统，其特征在于，所述传感器机构包括第一传感器机构和第二传感器机构，对应的，所述若所述检测状态信息发生变化，得到状态变化时间，并根据所述移动开始时间和所述状态变化时间，确定检测时间，包括：
4.根据权利要求2所述的门板检测系统，其特征在于，所述根据所述检测时间和预设的检测阈值之间的对比结果，确定所述门板的检测结果，包括：
5.根据权利要求1-4任一项所述的门板检测系统，其特征在于，所述传感器机构包括传感器支架和检测传感器，所述传感器支架用于固...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵佳强，郝瀚，丁金龙，张昱翀，毛焕，吕维迪，邓博雅，杨森元，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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