【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及搬运小车设计，具体而言，涉及一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车。
技术介绍
1、晶圆盒是半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，在半导体生产过程中进行转运时，工作人员会将晶圆放入晶圆盒内部，再将晶圆盒放到搬运小车上进行运输。
2、经专利技术人检索发现，由于晶圆非常易损，因此在运输过程中需要对晶圆盒进行有效固定，而现有的搬运车往往没有较好的全自动固定结构，大多需要手动通过绳子或者螺栓件等外在设备进行逐一固定，效率较低且拆装麻烦，例如在专利号为cn109436042a公开的一种新型电子元器件搬运车，虽然加装了边缘防护，但是没有单个固定结构使得晶圆盒之间的碰撞也会造成损坏，又例如专利号cn219584806u公开的一种半导体电子专用材料生产过程中使用的转运装置，该方案虽然通过对每个物体上下面进行夹持具有一定的防护作用，但任存在一定不足和改进空间，该方案没有对物品四侧进行有效夹持固定，导致定位不够全面，物品一旦发生水平偏移很容易导致半导体损坏，同时该装置使用了大量的电推杆，这就使得操作起来十分不便，在定位时往往需要逐个操作，无法做到一次性固定所有物件，降低工作效率，并且生产维护成本过高。
3、因此，专利技术人特别需要设计一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供
3、优选的，所述推动套杆在外观上为条形杆设计，且推动套杆在与盒槽连通的矩形滑孔中滑动。
4、优选的，所述压板的压固面以及盒槽内壁均粘接有对应的橡胶垫，且橡胶垫在夹持完成后与圆晶盒两侧紧压。
5、优选的，所述齿条b长度短于齿条a，所述齿条b和齿条a在槽位板完全收纳后分别与两处齿轮处于啮合状态；
6、所述槽位板上靠近车箱内端的齿轮通过与齿条a和齿条b的啮合完成夹持，而槽位板上靠近车箱开口的齿轮通过与齿条a的啮合完成夹持。
7、优选的，所述盖板组件包括在车箱内部开口滑道中滑动的压缩块，所述压缩块一端与滑道连接有弹簧a，所述压缩块一端固定有拉绳，所述拉绳穿过车箱内部绳道连接压板顶部，所述压板顶部固定有四根穿过车箱顶部滑孔的导向杆，且压板在槽位板完全推入车箱内部后与槽位板顶面贴合。
8、优选的，所述压板底部设有四处压块，所述压块在压板与槽位板顶面贴合时与圆晶盒顶面贴合，且压块底面同样粘接有一块橡胶垫。
9、优选的，所述车箱顶部设有四处螺纹槽，且螺纹槽将导向杆围在内部，并且螺纹槽外部螺纹连接有防护筒。
10、优选的，所述锁定组件包括转动连接在车箱外侧的限位板，所述限位板与槽位板外壁贴合，所述槽位板开口中滑动有圆头块，所述圆头块插入限位板的插口，且圆头块与槽位板开口内壁连接有弹簧b。
11、优选的，所述限位板上通过橡胶绳连接有橡胶塞，且橡胶塞对圆头块插入的插口进行封堵。
12、本专利技术的有益效果是：
13、1、本专利技术将槽位板的四处盒槽放好圆晶盒后推入车箱内部，此时内里的齿轮会与齿条a和齿条b完成啮合，而外端的齿轮会与齿条a完成啮合，并且在锁定后齿条a和齿条b对齿轮进行位置限定，那么在推入过程中齿轮转动会带动螺杆转动，使得推动套杆位移带动压板压住盒子一面，同时推动套杆位移时使得驱动杆推动活塞杆在气道内部滑行，使得气道内部气体进入气囊，气囊膨胀对盒子另外两面进行夹持，如此一来在推入过程中完成了全自动化夹持，有效避免圆晶盒因为水平晃动发生损坏，并且没有使用额外电子设备，有效降低生产维护成本和自身重量。
14、2、本专利技术通过盖板组件，在槽位板通过滑动推入内部后会挤压压缩块使其往所在的滑道内部滑动，并使得拉绳松动，继而导致压板通过四根导向杆的限位滑动往下移动，当槽位板收纳完成后压板刚好与槽位板顶面贴合，同时四处压块与圆晶盒顶面贴合，从而完成了对圆晶盒顶面的固定，如此一来圆晶盒四侧和顶面都完成了自动化固定，非常便捷且安全性较高，同时压块底面的橡胶垫同样起到防护作用，而弹簧a在槽位板拉出时自动复位带动压板抬升，非常好用。
15、3、本专利技术通过锁定组件，这样在完成收纳后需要对槽位板进行限位，此时将限位板转动与并使得圆头块先被压缩，再通过弹簧b的复位弹出进入限位板的插口对限位板完成固定，此时槽位板在限位板限位下无法拉出，十分稳定，而橡胶塞对圆头块插入的插口进行封堵起到防护作用。
16、4.本专利技术在设定上两处齿轮规格相同，而靠近内里端与齿条a和齿条b两处啮合才能完成夹持的齿轮所对接的夹板离圆晶盒的距离是大于外端夹板离圆晶盒的距离的，从而使得两处齿轮在完成夹持后都能形成一个限位状态，避免夹持松动。
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1.一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，
3.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，
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5.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，
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【技术特征摘要】
1.一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，
3.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，
4.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，其特征在于，
5.如权利要求1所述的一种具有自动夹持的多槽位...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭士维，吴楷浚，郭启彬，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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