【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆传送盒输送，具体涉及一种foup转弯输送机。
技术介绍
1、晶圆传送盒(front opening unifiedpod，foup)是一种装载有多个晶圆的盒体装置。在晶圆的制造过程中，需要将半成品的晶圆放入晶圆传送盒中，在不同的工艺生产区域中交叉穿梭的流动。为了提高生产效率和生产稳定性，工艺工程师通常会在每个生产区域内设置一个用于放置晶圆传送盒的存储货柜，晶圆传送盒从工艺设备上流出后，会先被搬运至存储货柜的存放口，再由存储货柜内的机械臂将一一摆放至对应的柜口内。
2、由于晶圆传送盒从工艺设备内流出的方向与放入存储货柜的存放口的流入方向不在同一直线上，由此，目前对于晶圆传动盒的搬运通常采用人工或搬运机器人往返工艺设备和存储货柜之间逐个搬运，影响晶圆传送盒的搬运效率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种foup转弯输送机，解决现有技术中涉及到晶圆传送盒转向输送不便的问题。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种foup转弯输送机，包括第一输送部、第二输送部和转向输送部，所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向呈夹角设置；所述第一输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第一输送单元；所述第二输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第二输送单元；所述转向输送部包括转向输送单元和转向驱动机构，所述转向驱动机构能够调整所述转向输送单元输送方向使其与第一输送单元或第二输送单元衔接输送foup。
4、作为本技术进一步的方案
5、作为本技术进一步的方案：所述转向输送单元、第一输送单元和第二输送单元具有相同的驱动输送结构，所述驱动输送结构包括平行设置的两块导流板、设于所述导流板相对内侧且呈直线间隔分布的数个输送滚轮以及用于驱动所述输送滚轮转动的驱动装置。
6、作为本技术进一步的方案：所述输送滚轮靠近对应所述导流板的一端均设有限位环，所述限位环具有远离所述导流板渐缩的外锥面。
7、作为本技术进一步的方案：所述驱动装置采用微型伺服电机，所述驱动装置安装在所述导流板相对外侧并与所述输送滚轮一一对应设置，各所述输送滚轮安装在对应所述驱动装置的驱动轴端。
8、作为本技术进一步的方案：所述转向输送单元、第一输送单元和第二输送单元的输送长度一致。
9、作为本技术进一步的方案：所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向相互垂直。
10、作为本技术进一步的方案：所述第一输送部远离所述转向输送部的一端设有对接输送部，所述对接输送部与所述第一输送部之间设有升降输送部，所述升降输送部包括水平输送单元和升降驱动机构，所述升降驱动机构用于驱动所述水平输送单元升降使其与所述对接输送部或第一输送部衔接。
11、作为本技术进一步的方案：所述第一输送部设有若干组，各所述第一输送部沿竖直方向上下分布，所述对接输送部、所述第二输送部以及所述转向输送部均与所述第一输送部对应设置。
12、作为本技术进一步的方案：所述第一输送部、第二输送部和对接输送部分别安装在相互独立的机架上。
13、本技术的有益效果：本申请中通过转向驱动机构调整转向输送单元输送方向使其与第一输送单元或第二输送单元衔接输送晶圆传送盒，实现晶圆传送盒的转向输送，避免人工搬运，提高搬运的效率和稳定性。
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1.一种FOUP转弯输送机，其特征在于，包括第一输送部、第二输送部和转向输送部，所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向呈夹角设置；所述第一输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第一输送单元；所述第二输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第二输送单元；所述转向输送部包括转向输送单元和转向驱动机构，所述转向驱动机构能够调整所述转向输送单元输送方向使其与第一输送单元或第二输送单元衔接输送FOUP。
2.根据权利要求1所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述转向驱动机构采用旋转电机，所述转向驱动机构上设有托板，所述转向输送单元固定安装在所述托板上，所述转向驱动机构通过驱动所述托板旋转，使所述托板带动所述转向输送单元旋转。
3.根据权利要求1所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述转向输送单元、第一输送单元和第二输送单元具有相同的驱动输送结构，所述驱动输送结构包括平行设置的两块导流板、设于所述导流板相对内侧且呈直线间隔分布的数个输送滚轮以及用于驱动所述输送滚轮转动的驱动装置。
4.根据权利要求3所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述输送滚轮靠近对应
5.根据权利要求3所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述驱动装置采用微型伺服电机，所述驱动装置安装在所述导流板相对外侧并与所述输送滚轮一一对应设置，各所述输送滚轮安装在对应所述驱动装置的驱动轴端。
6.根据权利要求1所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述转向输送单元、第一输送单元和第二输送单元的输送长度一致。
7.根据权利要求1所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向相互垂直。
8.根据权利要求1-7任一项所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述第一输送部远离所述转向输送部的一端设有对接输送部，所述对接输送部与所述第一输送部之间设有升降输送部，所述升降输送部包括水平输送单元和升降驱动机构，所述升降驱动机构用于驱动所述水平输送单元升降使其与所述对接输送部或第一输送部衔接。
9.根据权利要求8所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述第一输送部设有若干组，各所述第一输送部沿竖直方向上下分布，所述对接输送部、所述第二输送部以及所述转向输送部均与所述第一输送部对应设置。
10.根据权利要求8所述的FOUP转弯输送机,其特征在于，所述第一输送部、第二输送部和对接输送部分别安装在相互独立的机架上。
...【技术特征摘要】
1.一种foup转弯输送机，其特征在于，包括第一输送部、第二输送部和转向输送部，所述第一输送部和所述第二输送部的输送方向呈夹角设置；所述第一输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第一输送单元；所述第二输送部包括沿其输送方向依次衔接的多个第二输送单元；所述转向输送部包括转向输送单元和转向驱动机构，所述转向驱动机构能够调整所述转向输送单元输送方向使其与第一输送单元或第二输送单元衔接输送foup。
2.根据权利要求1所述的foup转弯输送机,其特征在于，所述转向驱动机构采用旋转电机，所述转向驱动机构上设有托板，所述转向输送单元固定安装在所述托板上，所述转向驱动机构通过驱动所述托板旋转，使所述托板带动所述转向输送单元旋转。
3.根据权利要求1所述的foup转弯输送机,其特征在于，所述转向输送单元、第一输送单元和第二输送单元具有相同的驱动输送结构，所述驱动输送结构包括平行设置的两块导流板、设于所述导流板相对内侧且呈直线间隔分布的数个输送滚轮以及用于驱动所述输送滚轮转动的驱动装置。
4.根据权利要求3所述的foup转弯输送机,其特征在于，所述输送滚轮靠近对应所述导流板的一端均设有限位环，所述限位环具有远离所述导流板渐缩的外锥面。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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