【技术实现步骤摘要】
本技术涉及货架,具体涉及一种可旋转货架。
技术介绍
1、传统货架采用固定摆放模式,晶圆盒摆放到货架上后无法被调整方向,由于晶圆盒分正反两面,机械臂只能从晶圆盒的正面对其进行夹取,当机械臂位于晶圆盒反面时,由于机械臂的伸展方向限制较多,无法自由的从晶圆盒正面绕至反面,此时,只能通过移动货架或搬运机械臂才可使机械臂对晶圆盒进行夹持,十分不便,由此,需要设计一款可对晶圆盒进行转向的货架。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种可旋转货架,解决现有技术中晶圆盒被放置在货架上后无法转动方向的问题。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现:
3、一种可旋转货架,包括架体,所述架体上设有多层台面,各所述台面上分别设有若干承载台,各所述承载台均包括设于所述台面上的支撑板以及设于所述支撑板底部用于驱动所述支撑板旋转的旋转驱动,所述支撑板上设有用于对晶圆盒进行限位的限位部件、用于感应晶圆盒是否在所述支撑板上的在席传感器以及用于感应晶圆盒在位状态是否正常的在位传感器。
4、作为本技术进一步的方案:所述架体底部安装有万向轮以及调节地脚。
5、作为本技术进一步的方案:所述旋转驱动采用旋转气缸。
6、作为本技术进一步的方案:所述架体顶部设有用于显示所述架体上摆放的晶圆盒数量的显示屏。
7、作为本技术进一步的方案:所述架体顶部固定安装有一支架,所述显示屏背面设有一与所述支架通过螺栓铰接的铰接叶片。
8、作为本技术进一步的方
9、作为本技术进一步的方案:各所述支撑板上均设有用以辅助智能机器人识别和抓取晶圆盒的机械臂定位标签。
10、作为本技术进一步的方案:所述限位部件包括支撑座和定位柱,所述支撑座设有多个且沿所述支撑板边缘周向设置,每个所述支撑座上设置挡块,所述定位柱设有多个用于对应晶圆盒上的定位孔。
11、本技术的有益效果:通过在席传感器和在位传感器可检测晶圆盒是否摆放在支撑板上设定的位置,当晶圆盒位置摆放正确后,可通过旋转驱动带动支撑板旋转,以调整晶圆盒正面的摆放朝向,便于后续机械臂夹取晶圆盒。
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1.一种可旋转货架,其特征在于,包括架体,所述架体上设有多层台面,各所述台面上分别设有若干承载台,各所述承载台均包括设于所述台面上的支撑板以及设于所述支撑板底部用于驱动所述支撑板旋转的旋转驱动,所述支撑板上设有用于对晶圆盒进行限位的限位部件、用于感应晶圆盒是否在所述支撑板上的在席传感器以及用于感应晶圆盒在位状态是否正常的在位传感器。
2.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述架体底部安装有万向轮以及调节地脚。
3.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述旋转驱动采用旋转气缸。
4.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述架体顶部设有用于显示所述架体上摆放的晶圆盒数量的显示屏。
5.根据权利要求4所述的可旋转货架,其特征在于,所述架体顶部固定安装有一支架,所述显示屏背面设有一与所述支架通过螺栓铰接的铰接叶片。
6.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述架体底部设有接地链。
7.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,各所述支撑板上均设有用以辅助智能机器人识别和抓取晶圆盒的
8.根据权利要求1-7任一项所述的可旋转货架,其特征在于,所述限位部件包括支撑座和定位柱,所述支撑座设有多个且沿所述支撑板边缘周向设置,每个所述支撑座上设置挡块,所述定位柱设有多个用于对应晶圆盒上的定位孔。
...【技术特征摘要】
1.一种可旋转货架,其特征在于,包括架体,所述架体上设有多层台面,各所述台面上分别设有若干承载台,各所述承载台均包括设于所述台面上的支撑板以及设于所述支撑板底部用于驱动所述支撑板旋转的旋转驱动,所述支撑板上设有用于对晶圆盒进行限位的限位部件、用于感应晶圆盒是否在所述支撑板上的在席传感器以及用于感应晶圆盒在位状态是否正常的在位传感器。
2.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述架体底部安装有万向轮以及调节地脚。
3.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述旋转驱动采用旋转气缸。
4.根据权利要求1所述的可旋转货架,其特征在于,所述架体顶部设有用于显示所述架体...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐伟峰,郭启彬,
申请(专利权)人:捷螺智能设备苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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