【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆盒存储，具体是一种晶圆存储盒转运车体。
技术介绍
1、晶圆存储盒转运是半导体制造过程中至关重要的步骤，需要高度的稳定性和精确度，以确保最终芯片的质量和性能，目前，晶圆储存盒运输转移时，通常会用到专用的转运车以及承载台，现有技术中的转运车虽然能够通过载板从晶圆存储盒底部进行取拿载放，但这个过程通常会出现意外情况，如晶圆存储盒取拿不平稳、未能将晶圆存储盒中心定位在载板上等，导致晶圆存储盒意外摔落。因此，有必要提供一种晶圆存储盒转运车体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆存储盒转运车体，其包括：车座底盘，其上方固定有电控箱，所述车座底盘的一侧固定有安装架，所述安装架上竖直对称设置有两个导轨架，所述导轨架上滑动设置有载物机构，所述安装架上设置有驱动杆，所述驱动杆的伸缩端与所述载物机构相连接；
2、所述载物机构包括：载板，其上下排列设置有多个滚轴，各所述滚轴可相对滚动的嵌入设置在载板内，所述载板上开设有多个横、纵排列分布的安装孔位，所述安装孔位内均转动设置有转运轮组件；
3、横、纵排列的所述安装孔位交错分布，使得相邻所述安装孔位呈十字形排布；
4、所述转运轮组件包括：
5、导轮，转动设置在安装孔位内；
6、固定架，左右垂直固定在载板的下方，所述固定架之间通过轴承转动设置有联杆，所述联杆上固定有多个伞齿轮；
7、双头齿轮，竖直转动设置在载板上并
8、控制电机，固定在载板上，所述控制电机的输出端与所述联杆相固定；
9、所述导轮的中部设有环腔，且所述导轮内周向设置有多个内腔，所述内腔与所述环腔相连通，所述内腔内滑动设置有柱塞杆，所述柱塞杆的一端固定有撑件；所述导轮外套接有橡胶圈，所述撑件与橡胶圈相抵靠接触。
10、进一步，作为优选，各横、纵排列的所述导轮能够进行正反向同步转动。
11、进一步，作为优选，所述导轮在转动配合中控制晶圆存储盒进行直线、斜线或转向运输。
12、进一步，作为优选，所述导轮的一侧均同轴转动设置有气流罩，所述气流罩与所述环腔相密封连接，所述气流罩外连接有气管。
13、进一步，作为优选，所述撑件能够在柱塞杆同步驱动下橡胶圈进行弹性扩张，使得使得处于载板上的晶圆存储盒底部能够对应抬高。
14、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
15、本技术中主要通过载板对晶圆存储盒进行取放，其中设置的转运轮组件能够通过横、纵排列的导轮能够控制晶圆存储盒进行多方向运输，安全性高。
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1.一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：其包括：车座底盘(1)，其上方固定有电控箱(11)，所述车座底盘(1)的一侧固定有安装架(2)，所述安装架(2)上竖直对称设置有两个导轨架(21)，所述导轨架(21)上滑动设置有载物机构(3)，所述安装架(2)上设置有驱动杆(22)，所述驱动杆(22)的伸缩端与所述载物机构(3)相连接；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：各横、纵排列的所述导轮(41)能够进行正反向同步转动。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：所述导轮(41)在转动配合中控制晶圆存储盒进行直线、斜线或转向运输。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：所述导轮(41)的一侧均同轴转动设置有气流罩(46)，所述气流罩(46)与所述环腔相密封连接，所述气流罩(46)外连接有气管(47)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：所述撑件(52)能够在柱塞杆(51)同步驱动下橡胶圈进行弹性扩张，使得处于载板(31)上的晶圆存储盒底部能够对应抬
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：其包括：车座底盘(1)，其上方固定有电控箱(11)，所述车座底盘(1)的一侧固定有安装架(2)，所述安装架(2)上竖直对称设置有两个导轨架(21)，所述导轨架(21)上滑动设置有载物机构(3)，所述安装架(2)上设置有驱动杆(22)，所述驱动杆(22)的伸缩端与所述载物机构(3)相连接；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆存储盒转运车体，其特征在于：各横、纵排列的所述导轮(41)能够进行正反向同步转动。
3.根据权利要求1所述的一种晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐伟峰，郭士维，张振义，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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