温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种具有自动夹持的多槽位晶圆盒搬运小车，包括：车箱，所述车箱内壁固定有一处插板，所述插板表面靠近箱口处设有齿条A，所述插板表面靠近车箱内端处设有齿条B，槽位板。本发明将槽位板的四处盒槽放好圆晶盒后推入车箱内部，此时内里的齿轮会与齿...
该专利属于捷螺智能设备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷螺智能设备（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。