传感器构件制造技术

本发明专利技术提供一种破损风险小的传感器构件。传感器构件(2)是具有膜(3)、覆盖所述膜(3)的一部分的保护膜(4)、以及与所述膜(3)连接的电极部(5)的传感器构件(2)，所述电极部(5)覆盖所述保护膜(4)的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于例如压力传感器等的传感器构件。

技术介绍

1、如专利文献1所示，已知具有应变电阻膜的膜状的传感器。在这样的传感器中，为了保护应变电阻膜，以覆盖应变电阻膜的方式形成有保护膜。

2、但是，在保护膜中存在紧贴性差的部分，存在产生剥离不良的风险。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2005-249520号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的技术问题

2、本专利技术鉴于上述的实际情况而完成，其目的在于提供一种破损风险小的传感器构件。

3、用于解决问题的技术方案

4、为了达成上述目的，本专利技术的传感器构件具有：膜(membrane)；保护膜，其覆盖所述膜的一部分；以及电极部，其与所述膜连接，所述电极部覆盖所述保护膜的至少一部分。

5、在这样的结构中，由于在保护膜上形成有电极，因此可以防止由于像从保护膜的端剥离这样的剥离不良和冲击而引起的破损。

6、优选地，所述电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种传感器构件，其中，

2.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

3.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

4.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

5.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

6.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

7.根据权利要求6所述的传感器构件，其中，

8.根据权利要求6所述的传感器构件，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的传感器构件，其中，

【技术特征摘要】

1.一种传感器构件，其中，

2.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

3.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

4.根据权利要求1所述的传感器构件，其中，

5.根据权利要求1所述的传感器构件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林正典，海野健，笹原哲也，波多彻雄，L·韦德拉奥果，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：